【技術實現步驟摘要】
本技術涉及化學氣相沉積，特別是涉及一種碳沉積尾氣處理裝置。
技術介紹
1、碳/碳復合材料與傳統石墨材料相比斷裂韌性高、強度高、耐沖擊性強，因此廣泛用于光伏領域晶體生長設備，在熱場坩堝、導流筒、保溫筒產品中滲透率較高，已成為單晶熱場系統主流材料；其主要制備方法是化學氣相沉積工藝，該工藝是以碳氫化合物氣體為氣源,在一定的溫度和氣流條件下進行熱解和沉積的過程，一部分大分子量熱解產物附著在碳纖維上脫氫行程熱解碳，另一部分熱解產物作為尾氣排出；尾氣排出過程中會形成焦油、固體顆粒等副產物，這些副產物容易附著在排氣管道形成堵塞，甚至進入真空泵，造成真空系統故障，因此需要一種可以對尾氣進行處理的碳沉積尾氣處理裝置，通過碳沉積尾氣處理裝置將碳沉積尾氣冷凝、過濾以及除塵，從而去除碳沉積尾氣中的焦油、固體顆粒。
技術實現思路
1、本技術就是為了解決提供一種可以幫助去除碳沉積尾氣中的焦油、固體顆粒的碳沉積尾氣處理裝置技術問題。
2、為解決上述技術問題，本技術一種碳沉積尾氣處理裝置的技術解決方案為：
3、碳沉積爐上開設有出氣口，還包括冷凝罐、過濾罐、油膜除塵器以及真空泵；所述冷凝罐、過濾罐、油膜除塵器以及真空泵上皆設有進氣口與出氣口；所述冷凝罐的進氣口開設于冷凝罐下方，冷凝罐的出氣口開設于冷凝罐上方；所述過濾罐的進氣口開設于過濾罐的下方，過濾罐的出氣口開設于過濾罐的上方；所述油膜除塵器的進氣口開設于油膜除塵器下方，油膜除塵器的出氣口開設于油膜除塵器上方；所述碳沉積爐的出氣口通過管道連
4、所述冷凝罐底部開設有焦油排泄口；所述焦油排泄口上安裝有閥門。
5、所述過濾罐以及油膜除塵器底部皆開設有固體粉塵排泄口；所述固體粉塵排泄口上皆安裝有閥門。
6、所述油膜除塵器包括筒體、循環油泵以及多個噴嘴；所述筒體下方側壁通過管道與循環油泵連接，循環油泵則通過管道分別與多個噴嘴連接；多個所述噴嘴的噴口皆位于筒體內，且在筒體內旋轉分布，；所述噴嘴沿著筒體內壁噴淋，且噴嘴將油順切噴至筒壁上使筒體內壁形成一層旋轉向下流動的油膜；所述筒體進氣口的進氣方向為由筒體下部順切向引入從而旋轉上升。
7、所述油膜除塵器包括四個噴嘴；四個所述噴嘴旋轉均勻分布于筒體內壁上方。
8、所述筒體其通過管道連接循環油泵，該管道與筒體的連接處安裝有過濾器。
9、本技術可以達到的技術效果是：本技術一種碳沉積尾氣處理裝置設有冷凝罐、過濾罐、油膜除塵器，碳沉積爐產生的碳沉積尾氣依次通過冷凝罐、過濾罐以及油膜除塵器，在碳沉積尾氣進入冷凝罐后，碳沉積尾氣通過與冷凝罐的循環水冷裝置換熱，碳沉積尾氣中的焦油冷凝成液體從而受重力滴落于冷凝罐的底壁上，接著進入過濾罐，碳沉積尾氣進入過濾罐后，過濾罐通過過濾絲網對碳沉積尾氣的固體顆粒進行過濾從而除去碳沉積尾氣中大部分的固體顆粒，在過濾完成后再進入油膜除塵器，通過油膜除塵器對碳沉積尾氣進行進一步的除塵，除去更多的焦油以及固體顆粒，碳沉積尾氣經過上述處理最后才進入真空泵，其不易對真空泵的真空系統造成故障。
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1.一種碳沉積尾氣處理裝置，碳沉積爐（1）上開設有出氣口，其特征在于：還包括冷凝罐（2）、過濾罐（3）、油膜除塵器（4）以及真空泵（5）；所述冷凝罐（2）、過濾罐（3）、油膜除塵器（4）以及真空泵（5）上皆設有進氣口與出氣口；所述冷凝罐（2）的進氣口開設于冷凝罐（2）下方，冷凝罐（2）的出氣口開設于冷凝罐（2）上方；所述過濾罐（3）的進氣口開設于過濾罐（3）的下方，過濾罐（3）的出氣口開設于過濾罐（3）的上方；所述油膜除塵器（4）的進氣口開設于油膜除塵器（4）下方，油膜除塵器（4）的出氣口開設于油膜除塵器（4）上方；所述碳沉積爐（1）的出氣口通過管道連接冷凝罐（2）的進氣口；所述冷凝罐（2）的出氣口通過管道連接過濾罐（3）的進氣口；所述過濾罐（3）的出氣口通過管道連接油膜除塵器（4）的進氣口；所述油膜除塵器（4）的出氣口通過管道連接真空泵（5）；所述碳沉積爐（1）產生的碳沉積尾氣依次通過冷凝罐（2）的冷凝、過濾罐（3）的過濾以及油膜除塵器（4）的除塵從而進入真空泵（5）內；所述冷凝罐（2）內連接有循環水冷裝置（21）；所述過濾罐（3）內設置有過濾絲網（31）；所述過濾絲網（31）
2.根據權利要求1所述的一種碳沉積尾氣處理裝置，其特征在于：所述冷凝罐（2）底部開設有焦油排泄口（6）；所述焦油排泄口（6）上安裝有閥門。
3.根據權利要求1所述的一種碳沉積尾氣處理裝置，其特征在于：所述過濾罐（3）以及油膜除塵器（4）底部皆開設有固體粉塵排泄口（7）；所述固體粉塵排泄口（7）上皆安裝有閥門。
4.根據權利要求1所述的一種碳沉積尾氣處理裝置，其特征在于：所述油膜除塵器（4）包括筒體（41）、循環油泵（42）以及多個噴嘴（43）；所述筒體（41）下方側壁通過管道與循環油泵（42）連接，循環油泵（42）則通過管道分別與多個噴嘴（43）連接；多個所述噴嘴（43）的噴口皆位于筒體（41）內，且在筒體（41）內旋轉分布；所述噴嘴（43）沿著筒體（41）內壁噴淋，且噴嘴（43）將油順切噴至筒壁上使筒體（41）內壁形成一層旋轉向下流動的油膜；所述筒體（41）進氣口的進氣方向為由筒體（41）下部順切向引入從而旋轉上升。
5.根據權利要求4所述的一種碳沉積尾氣處理裝置，其特征在于：所述油膜除塵器（4）包括四個噴嘴（43）；四個所述噴嘴（43）旋轉均勻分布于筒體（41）內壁上方。
6.根據權利要求4所述的一種碳沉積尾氣處理裝置，其特征在于：所述筒體（41）其通過管道連接循環油泵（42），該管道與筒體（41）的連接處安裝有過濾器（44）。
...【技術特征摘要】
1.一種碳沉積尾氣處理裝置，碳沉積爐（1）上開設有出氣口，其特征在于：還包括冷凝罐（2）、過濾罐（3）、油膜除塵器（4）以及真空泵（5）；所述冷凝罐（2）、過濾罐（3）、油膜除塵器（4）以及真空泵（5）上皆設有進氣口與出氣口；所述冷凝罐（2）的進氣口開設于冷凝罐（2）下方，冷凝罐（2）的出氣口開設于冷凝罐（2）上方；所述過濾罐（3）的進氣口開設于過濾罐（3）的下方，過濾罐（3）的出氣口開設于過濾罐（3）的上方；所述油膜除塵器（4）的進氣口開設于油膜除塵器（4）下方，油膜除塵器（4）的出氣口開設于油膜除塵器（4）上方；所述碳沉積爐（1）的出氣口通過管道連接冷凝罐（2）的進氣口；所述冷凝罐（2）的出氣口通過管道連接過濾罐（3）的進氣口；所述過濾罐（3）的出氣口通過管道連接油膜除塵器（4）的進氣口；所述油膜除塵器（4）的出氣口通過管道連接真空泵（5）；所述碳沉積爐（1）產生的碳沉積尾氣依次通過冷凝罐（2）的冷凝、過濾罐（3）的過濾以及油膜除塵器（4）的除塵從而進入真空泵（5）內；所述冷凝罐（2）內連接有循環水冷裝置（21）；所述過濾罐（3）內設置有過濾絲網（31）；所述過濾絲網（31）位于過濾罐（3）進氣口上方。
2.根據權利要求1所述的一種碳沉積尾氣處理裝置，其特征在于：所述冷凝罐（2）底部開...
【專利技術屬性】
技術研發人員：李照謙，涂建新，王閆鋒，傅肖琳，謝鋼，李愛軍，
申請(專利權)人：浙江精工集成科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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