【技術實現步驟摘要】
本技術涉及半導體，具體而言，涉及一種長晶爐的溫度檢測裝置。
技術介紹
1、碳化硅(sic)作為新興的第三代半導體核心材料，具有寬禁帶、高臨界擊穿電場強度、高電子遷移率以及良好的抗輻照性和化學穩定性等優異性，這使其成為一種廣泛應用的重要襯底晶片材料，在航空器件、新能源汽車、軌道交通和家用電器等領域展現了良好的應用前景，長晶爐是生長碳化硅晶體的重要裝置。
2、經專利技術人研究發現，現有的一些長晶爐在測溫時一般由人工使用測溫儀站在機臺上以對長晶爐進行測溫，作業人員走上機臺上會使機臺由抖動的風險，從而影響長晶爐內的長晶質量。
技術實現思路
1、本技術的目的在于提供一種長晶爐的溫度檢測裝置，其能夠避免人工走上機臺對長晶爐進行測溫，從而減少長晶爐由于抖動影響長晶質量的情況發生。
2、本技術的實施例是這樣實現的：
3、第一方面，本技術提供一種長晶爐的溫度檢測裝置，包括：
4、移動小車，所述移動小車用于配置于所述長晶爐的一側且能繞所述長晶爐的周向移動；
5、機架，所述機架設置于所述移動小車，所述機架沿豎直方向延伸；
6、支架，所述支架與所述機架連接，所述支架能相對所述機架沿所述豎直方向運動，所述支架沿第一方向延伸；
7、配合件，所述配合件設置于所述支架且能在支架上沿所述第一方向移動，所述配合件安裝有溫度檢測件且所述溫度檢測件用于被配置于所述長晶爐上方，所述配合件用于帶動所述溫度檢測件沿所述第一方向和/或預設方向運動
8、在可選的實施方式中，所述配合件包括設置于支架上的傳送裝置，所述配合件與所述傳送裝置連接，所述傳送裝置用于驅動所述配合件在所述第一方向上運動。
9、在可選的實施方式中，所述傳送裝置包括設置于所述支架上的支架導軌及第一驅動件，所述支架導軌沿所述第一方向延伸，所述配合件與支架導軌連接，所述配合件與所述支架導軌滑動或滾動配合，所述第一驅動件用于驅動所述配合件在所述支架導軌上移動。
10、在可選的實施方式中，所述配合件包括第二驅動件及連接件，所述第二驅動件的驅動端與所述連接件連接，所述連接件用于安裝所述溫度檢測件，所述第二驅動件用于驅動所述連接件沿所述預設方向運動。
11、在可選的實施方式中，所述配合件還包括第三驅動件，所述第三驅動件設置于所述支架，所述第三驅動件的驅動端與所述第二驅動件連接，所述第二驅動件的驅動端與所述連接件連接，所述第三驅動件用于驅動所述第二驅動件沿所述第一方向運動，所述第二驅動件用于驅動所述連接件沿所述預設方向運動，所述第三驅動件與所述第二驅動件為驅動氣缸或驅動電缸，所述預設方向、所述第一方向及所述豎直方向兩兩垂直。
12、在可選的實施方式中，所述移動小車與所述機架可拆卸連接。
13、在可選的實施方式中，所述機架沿豎直方向上間隔設置有多個連接部，所述支架設置有與所述連接部連接的配合部。
14、在可選的實施方式中，所述長晶爐的溫度檢測裝置還包括預設導軌，所述預設導軌用于配置于長晶爐的一側，所述移動小車設置于所述預設導軌，所述移動小車能在所述預設導軌上運動。
15、在可選的實施方式中，所述長晶爐的溫度檢測裝置還包括工控機，所述工控機與所述溫度檢測件及配合件通訊連接，溫度檢測件配置有監控攝像頭，工控機用于獲取所述溫度檢測件檢測得到的溫度數據及監控數據。
16、在可選的實施方式中，所述預設方向、所述第一方向及所述豎直方向兩兩相互垂直。
17、本技術實施例的有益效果是：本技術實施例提供的一種長晶爐的溫度檢測裝置包括移動小車、機架、支架及配合件。移動小車用于配置于長晶爐的外側且能繞長晶爐的周向移動，機架設置于移動小車，機架沿豎直方向延伸，支架與機架連接，支架能相對機架沿豎直方向運動，支架沿第一方向延伸且用于配置于長晶爐上方，配合件設置于支架，配合件安裝于溫度檢測件，配合件能驅動溫度檢測件沿預設方向運動，第一方向及預設方向與豎直方向垂直，預設方向與第一方向垂直或平行，通過支架與配合件的設置，能夠避免人工走上機臺對長晶爐進行測溫，從而減少長晶爐由于抖動影響長晶質量的情況發生。
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1.一種長晶爐的溫度檢測裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的長晶爐的溫度檢測裝置，其特征在于：
3.根據權利要求2所述的長晶爐的溫度檢測裝置，其特征在于：
4.根據權利要求1所述的長晶爐的溫度檢測裝置，其特征在于：
5.根據權利要求4所述的長晶爐的溫度檢測裝置，其特征在于：
6.根據權利要求1所述的長晶爐的溫度檢測裝置，其特征在于：
7.根據權利要求1所述的長晶爐的溫度檢測裝置，其特征在于：
8.根據權利要求1所述的長晶爐的溫度檢測裝置，其特征在于：
9.根據權利要求1所述的長晶爐的溫度檢測裝置，其特征在于：
10.根據權利要求1所述的長晶爐的溫度檢測裝置，其特征在于：
【技術特征摘要】
1.一種長晶爐的溫度檢測裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的長晶爐的溫度檢測裝置，其特征在于：
3.根據權利要求2所述的長晶爐的溫度檢測裝置，其特征在于：
4.根據權利要求1所述的長晶爐的溫度檢測裝置，其特征在于：
5.根據權利要求4所述的長晶爐的溫度檢測裝置，其特征在于：
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