【技術實現步驟摘要】
本專利技術的實施方式涉及顯示裝置及其制造方法。
技術介紹
1、近年來，作為顯示元件適用了有機發光二極管(oled)的顯示裝置得以實用化。該顯示元件具備包含薄膜晶體管的像素電路、與像素電路連接的下電極、覆蓋下電極的有機層和覆蓋有機層的上電極。
2、在制造這樣的顯示元件的過程中，需要抑制可靠性的降低的技術。
技術實現思路
1、實施方式的目的在于，提供可抑制可靠性的降低的顯示裝置及其制造方法。
2、根據一個實施方式，顯示裝置的制造方法為，
3、在基板的上方形成下電極，形成覆蓋前述下電極的無機絕緣層，在前述無機絕緣層之上依次形成下部層及上部層，在前述上部層之上形成圖案化了的第1抗蝕劑，進行將前述第1抗蝕劑作為掩模的蝕刻，依次除去從前述第1抗蝕劑露出的前述上部層及前述下部層，在除去前述第1抗蝕劑后，形成覆蓋前述下部層及前述上部層且露出前述無機絕緣層的第2抗蝕劑，進行將前述第2抗蝕劑作為掩模的蝕刻，在前述無機絕緣層形成與前述下電極重疊的開口，在除去前述第2抗蝕劑后，進行前述下部層的蝕刻，形成具有位于前述無機絕緣層之上的下部和位于前述下部之上且從前述下部的側面突出的上部的隔壁，進行將前述隔壁作為掩模的蒸鍍，在前述開口中，在前述下電極之上形成包含有機層及上電極的層疊膜。
4、根據一個實施方式，顯示裝置的制造方法為，
5、在基板的上方形成下電極，形成覆蓋前述下電極的無機絕緣層，在前述無機絕緣層之上依次形成下部層及上部層，在前述上部層之上形成
6、根據一個實施方式，顯示裝置具備：
7、基板；下電極，其配置于前述基板的上方；無機絕緣層，其覆蓋前述下電極的周緣部；隔壁，其具有配置于前述無機絕緣層之上的下部和配置于前述下部之上的上部；有機層，其配置于前述下電極之上，并包含發光層；和上電極，其配置于前述有機層之上，并與前述下部接觸，其中，前述下部具有覆蓋前述無機絕緣層的上表面的第1導電層和配置于前述第1導電層之上的第2導電層，前述第1導電層及前述上部從前述第2導電層的側面突出。
8、根據實施方式，能夠提供可抑制可靠性的降低的顯示裝置及其制造方法。
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1.一種顯示裝置的制造方法，其中，
2.一種顯示裝置的制造方法，其中，
3.如權利要求1或2所述的顯示裝置的制造方法，其中，
4.如權利要求3所述的顯示裝置的制造方法，其中，
5.如權利要求4所述的顯示裝置的制造方法，其中，
6.如權利要求5所述的顯示裝置的制造方法，其中，
7.如權利要求3所述的顯示裝置的制造方法，其中，
8.如權利要求1或2所述的顯示裝置的制造方法，其中，
9.如權利要求8所述的顯示裝置的制造方法，其中，
10.如權利要求8所述的顯示裝置的制造方法，其中，
11.如權利要求1或2所述的顯示裝置的制造方法，其中，
12.如權利要求11所述的顯示裝置的制造方法，其中，
13.如權利要求1或2所述的顯示裝置的制造方法，其中，
14.一種顯示裝置，其具備：
15.如權利要求14所述的顯示裝置，其中，
16.如權利要求14所述的顯示裝置，其還具備：
17.如權利要求14所述的顯示裝
18.如權利要求17所述的顯示裝置，其中，
19.如權利要求14所述的顯示裝置，其中，
20.如權利要求14所述的顯示裝置，其中，
...【技術特征摘要】
1.一種顯示裝置的制造方法，其中，
2.一種顯示裝置的制造方法，其中，
3.如權利要求1或2所述的顯示裝置的制造方法，其中，
4.如權利要求3所述的顯示裝置的制造方法，其中，
5.如權利要求4所述的顯示裝置的制造方法，其中，
6.如權利要求5所述的顯示裝置的制造方法，其中，
7.如權利要求3所述的顯示裝置的制造方法，其中，
8.如權利要求1或2所述的顯示裝置的制造方法，其中，
9.如權利要求8所述的顯示裝置的制造方法，其中，
10.如權利要求8所述的顯示裝置的制造方法，其中...
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