【技術實現步驟摘要】
本技術涉及光伏設備，具體涉及一種真空鍍膜設備及其噴淋組件。
技術介紹
1、在半導體真空鍍膜設備中，頂蓋的下方設置有噴淋電極板，噴淋電極板用于將工藝氣體噴淋至真空腔體內，噴淋電極板通過等高螺釘懸掛在分氣板下方并緊固。而噴淋電極板和等高螺釘之間緊固后摩擦力較大，噴淋電極板受熱變形后，摩擦力導致噴淋電極板不易滑動，熱變形無法釋放，容易導致噴淋電極板損壞。
技術實現思路
1、因此，本技術要解決的技術問題在于克服現有技術中的真空鍍膜設備中噴淋盤受熱后容易損壞的缺陷，從而提供一種真空鍍膜設備及其噴淋組件。
2、為了解決上述問題，本技術提供了一種真空鍍膜設備的噴淋組件，包括：分氣結構；噴淋電極板，設置在分氣結構的下方；連接組件，連接組件的上端連接在分氣結構上，連接組件的下端連接在噴淋電極板上，連接組件的下端與噴淋電極板的接觸面上設置有滾動結構。
3、可選地，連接組件上設置有安裝槽，滾動結構設置在安裝槽內，安裝槽上蓋設有限位板，限位板上設置有避讓口，滾動結構通過避讓口凸出于限位板。
4、可選地，滾動結構包括球形滾子或者圓柱滾子。
5、可選地，滾動結構為多個，多個滾動結構沿周向間隔設置。
6、可選地，噴淋電極板上設置有安裝孔，連接組件包括：金屬連接件，金屬連接件的上端與分氣結構連接；絕緣連接件，絕緣連接件與金屬連接件連接，并位于噴淋電極板的上方；連接螺釘，穿過安裝孔后與絕緣連接件連接，滾動結構設置在連接螺釘的螺釘頭的朝向絕緣連接件的表面上。
7、可選地，絕緣連接件的上表面設置有第一開口，絕緣連接件的下表面設置有連接孔，第一開口與連接孔連通，連接螺釘穿過連接孔并伸入至第一開口內，連接組件還包括緊固螺栓，緊固螺栓位于第一開口內并套設在連接螺釘外。
8、可選地，金屬連接件的下表面設置有第二開口，金屬連接件通過第二開口套設在絕緣連接件外。
9、可選地，絕緣連接件的外側壁上設置有限位凸邊，金屬連接件的下端與限位凸邊抵接。
10、可選地，連接組件還包括絕緣套，絕緣套套設在金屬連接件外。
11、本技術還提供了一種真空鍍膜設備，包括頂蓋以及設置在頂蓋下方的噴淋組件，噴淋組件為上述的噴淋組件。
12、本技術具有以下優點：
13、利用本技術的技術方案，連接組件的下端與噴淋電極板的接觸面上設置有滾動結構，因此能夠減小噴淋電極板和連接組件之間的摩擦力，并使摩擦形式為滾動摩擦。當噴淋電極板受熱變形時，噴淋電極板更容易相對于連接組件發生滑動位移，從而釋放熱變形，使得噴淋電極板不容易發生損壞。因此本技術的技術方案解決了現有技術中的真空鍍膜設備中噴淋盤受熱后容易損壞的缺陷。
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1.一種真空鍍膜設備的噴淋組件，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的噴淋組件，其特征在于，所述連接組件(30)上設置有安裝槽，所述滾動結構(40)設置在所述安裝槽內，所述安裝槽上蓋設有限位板(50)，所述限位板(50)上設置有避讓口(51)，所述滾動結構(40)通過所述避讓口(51)凸出于所述限位板(50)。
3.根據權利要求1所述的噴淋組件，其特征在于，所述滾動結構(40)包括球形滾子或者圓柱滾子。
4.根據權利要求1所述的噴淋組件，其特征在于，所述滾動結構(40)為多個，多個所述滾動結構(40)沿周向間隔設置。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的噴淋組件，其特征在于，所述噴淋電極板(20)上設置有安裝孔(21)，所述連接組件(30)包括：
6.根據權利要求5所述的噴淋組件，其特征在于，所述絕緣連接件(32)的上表面設置有第一開口(321)，所述絕緣連接件(32)的下表面設置有連接孔(322)，所述第一開口(321)與所述連接孔(322)連通，所述連接螺釘(33)穿過所述連接孔(322)并伸入至所述第一開口(
7.根據權利要求5所述的噴淋組件，其特征在于，所述金屬連接件(31)的下表面設置有第二開口(311)，所述金屬連接件(31)通過所述第二開口(311)套設在所述絕緣連接件(32)外。
8.根據權利要求7所述的噴淋組件，其特征在于，所述絕緣連接件(32)的外側壁上設置有限位凸邊(323)，所述金屬連接件(31)的下端與限位凸邊(323)抵接。
9.根據權利要求5所述的噴淋組件，其特征在于，所述連接組件(30)還包括絕緣套(35)，所述絕緣套(35)套設在所述金屬連接件(31)外。
10.一種真空鍍膜設備，其特征在于，包括頂蓋(100)以及設置在所述頂蓋(100)下方的噴淋組件，所述噴淋組件為權利要求1至9中任一項所述的噴淋組件。
...【技術特征摘要】
1.一種真空鍍膜設備的噴淋組件，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的噴淋組件，其特征在于，所述連接組件(30)上設置有安裝槽，所述滾動結構(40)設置在所述安裝槽內，所述安裝槽上蓋設有限位板(50)，所述限位板(50)上設置有避讓口(51)，所述滾動結構(40)通過所述避讓口(51)凸出于所述限位板(50)。
3.根據權利要求1所述的噴淋組件，其特征在于，所述滾動結構(40)包括球形滾子或者圓柱滾子。
4.根據權利要求1所述的噴淋組件，其特征在于，所述滾動結構(40)為多個，多個所述滾動結構(40)沿周向間隔設置。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的噴淋組件，其特征在于，所述噴淋電極板(20)上設置有安裝孔(21)，所述連接組件(30)包括：
6.根據權利要求5所述的噴淋組件，其特征在于，所述絕緣連接件(32)的上表面設置有第一開口(321)，所述絕緣連接件(32)的下表面設置有連接孔(322)，所述第一開口(321)與所述連...
【專利技術屬性】
技術研發人員：石鵬飛，
申請(專利權)人：株洲三一硅能技術有限公司，
類型：新型
國別省市：
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