【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及石英坩堝制備，具體為一種石英坩堝成型模具。
技術(shù)介紹
1、石英坩堝是發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可缺的一種一次性熔料載具，其對半導(dǎo)體的發(fā)展提供了更加有效幫助，因此為了提高單晶硅的制備效率，石英坩堝便需要在特制的模具內(nèi)加工。
2、由于石英坩堝的加工技術(shù)區(qū)域成熟，當(dāng)石英砂被填充至模具內(nèi)部后，模具需要再電弧爐體內(nèi)進(jìn)行熱融，直至石英砂呈熔融狀并在模具內(nèi)腔中壓制成型，但是在上述成型過程中，模具內(nèi)填充的石英砂從固體轉(zhuǎn)變?yōu)槿廴跔顟B(tài)期間，模具內(nèi)會出現(xiàn)空氣，同時(shí)模具內(nèi)深層石英砂為間接受熱，因而外層石英砂熱熔后深層石英砂便會下墜，進(jìn)而會促使模具內(nèi)壁出現(xiàn)氣泡，大部分氣泡在壓制過程中會被擠出，但是少部分氣泡會附著在模具內(nèi)壁上，進(jìn)而會導(dǎo)致固化成型后石英坩堝的表面出現(xiàn)不規(guī)則的凹坑和凸點(diǎn)，同時(shí)因凹坑和凸點(diǎn)干擾而導(dǎo)致石英坩堝脫模的困難。
3、鑒于此，便設(shè)計(jì)了一種石英坩堝成型模具，以解決上述問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本專利技術(shù)旨在解決現(xiàn)有技術(shù)或相關(guān)技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。
2、為此，本專利技術(shù)所采用的技術(shù)方案為：
3、一種石英坩堝成型模具，包括安裝在爐蓋上的傳動機(jī)構(gòu)，活動安裝在爐蓋頂部孔洞內(nèi)的懸吊助轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、設(shè)置在懸吊助轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)內(nèi)的承壓機(jī)構(gòu)、設(shè)置在承壓機(jī)構(gòu)上的多組懸臂機(jī)構(gòu)、設(shè)置在懸臂機(jī)構(gòu)上的推進(jìn)機(jī)構(gòu)、設(shè)置在懸臂機(jī)構(gòu)上的模制機(jī)構(gòu)以及設(shè)置在模制機(jī)構(gòu)內(nèi)的限位桿；所述承壓機(jī)構(gòu)包括豎軸，所述豎軸外壁的頂部開設(shè)有均布的豎槽，且豎軸外壁的底部開設(shè)有均布的滑槽，而豎槽內(nèi)設(shè)置有滑
4、本專利技術(shù)在一較佳示例中可以進(jìn)一步配置為：所述推進(jìn)機(jī)構(gòu)包括安裝在拉桿中部的底座、安裝在底座頂部和底部柱頭內(nèi)的兩個(gè)檔桿、活動安裝在其中一個(gè)檔桿外部的第一滑架、活動安裝在另一個(gè)檔桿外部的第二滑架以及安裝在第一滑架和第二滑架內(nèi)的兩個(gè)插銷；
5、所述第一滑架兩個(gè)端頭上連接有兩個(gè)第一力臂，且兩個(gè)第一力臂的頂部安裝有第一軸桿和第一夾具；
6、所述第二滑架兩個(gè)端頭上連接有兩個(gè)第二力臂，且兩個(gè)第二力臂的頂?shù)撞堪惭b有第二軸桿和第二夾具；
7、所述第一夾具用于固定上模，所述第二夾具用于固定下模。
8、本專利技術(shù)在一較佳示例中可以進(jìn)一步配置為：所述懸吊助轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括安裝在豎軸外部的墊環(huán)、安裝在墊環(huán)頂部的抗壓套管、安裝在墊環(huán)底部的端管以及設(shè)置在墊環(huán)外部孔洞內(nèi)的隔熱塞頭；
9、所述端管的底部安裝有芯柱；
10、所述芯柱由墊和豎桿組成，且豎桿設(shè)置在豎軸的內(nèi)部，而豎桿頂部的螺紋段上設(shè)置有控位螺套；
11、所述控位螺套底端的環(huán)槽中活動安裝有舉升外套，且舉升外套通過螺栓安裝在多個(gè)滑塊外。
12、本專利技術(shù)在一較佳示例中可以進(jìn)一步配置為：所述傳動機(jī)構(gòu)由散熱機(jī)箱、電機(jī)以及安裝在電機(jī)傳動軸底端的齒輪組成，且散熱機(jī)箱安裝在爐蓋頂部遠(yuǎn)離孔洞的位置上，且齒輪適配嚙合于抗壓套管頂端的環(huán)齒；
13、所述抗壓套管的外壁開設(shè)有疏導(dǎo)拉索的槽口。
14、本專利技術(shù)在一較佳示例中可以進(jìn)一步配置為：所述懸吊助轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還包括活動安裝在抗壓套管頂部端頭外的兩個(gè)夾座，且兩個(gè)夾座安裝在爐蓋的頂部。
15、本專利技術(shù)在一較佳示例中可以進(jìn)一步配置為：所述基座由u形撐架和l形支腿組成，且l形支腿的內(nèi)部開設(shè)有斜槽；
16、所述拉索適配貫穿至斜槽內(nèi)，且拉索的底端安裝有環(huán)扣；
17、所述梁桿靠近基座的桿體上安裝有夾板，且環(huán)扣連接在夾板內(nèi)。
18、本專利技術(shù)在一較佳示例中可以進(jìn)一步配置為：所述第一滑架和第二滑架的端板內(nèi)均開設(shè)有橢圓形的凹槽，且第一滑架和第二滑架的中部均設(shè)置有矩形套管；
19、所述插銷適配貫穿至矩形套管內(nèi)。
20、本專利技術(shù)在一較佳示例中可以進(jìn)一步配置為：所述底座的頂端安裝有第一控位板，且底座的底端安裝有第二控位板，且兩個(gè)控位板內(nèi)均開設(shè)有均布的插孔；
21、兩個(gè)所述插銷適配于插孔并為第一滑架和第二滑架進(jìn)行控距調(diào)節(jié)。
22、本專利技術(shù)在一較佳示例中可以進(jìn)一步配置為：所述上模的端頭內(nèi)開設(shè)有環(huán)形滑道，且環(huán)形滑道內(nèi)設(shè)置有輔壓鎖頭；
23、所述輔壓鎖頭的底端開設(shè)有半圓環(huán)形槽口，且半圓環(huán)形槽口用于為石英坩堝頂端進(jìn)行塑形。
24、本專利技術(shù)在一較佳示例中可以進(jìn)一步配置為：所述限位桿由柱形導(dǎo)桿、長方桿以及短方桿組成，且長方桿的頂部安裝有主防滑端頭，而短方桿的底部安裝有副防滑端頭；
25、所述第一夾具活動安裝在長方桿上，所述第二夾具活動安裝在短方桿上。
26、通過采用上述技術(shù)方案，本專利技術(shù)所取得的有益效果為：
27、1.本專利技術(shù)通過設(shè)置自由拼接的三段式模具，當(dāng)下模和模套內(nèi)填充有合適的石英砂后，得到上模壓制的石英砂便會在u形模腔內(nèi)均布，而設(shè)置在上模內(nèi)的輔壓鎖頭便可對u形模腔頂端進(jìn)行密封，隨著三段式模具處于離心轉(zhuǎn)動，深層的固體石英砂便會在熔料內(nèi)受壓而與模具內(nèi)壁充分接觸，而反復(fù)下墜的固體石英砂便可對模具內(nèi)壁進(jìn)行沖刷，而受壓下墜的輔壓鎖頭便可持續(xù)對u形模腔漸變擠壓，在離心旋轉(zhuǎn)下直至冷卻的石英坩堝便可得到無損制備。
28、2.本專利技術(shù)通過對模套進(jìn)行定距固定，當(dāng)上述石英坩堝冷卻固化后，上模和下模的反向施壓，與石英坩堝底部接觸面積最小的下模便可得到快速剝離，同時(shí)輔壓鎖頭在模套和上模之間可自由滑動，因而石英坩堝頂端也可快速裸露，此時(shí)石英坩堝便可在完全冷卻后從模套內(nèi)快速取出，從而有效的提高坩堝的快速取出，并降低模具對制成的坩堝造成磨損。
29、3.本專利技術(shù)通過在電弧爐體的中部設(shè)置懸吊助轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，當(dāng)抗壓套管控制多個(gè)滑塊下降或者上升后連接在滑塊上的拉索便會控梁桿與基座的傾角，與此同時(shí)拉桿便可與梁桿形成相應(yīng)的夾角，而安裝在拉桿上的多端模具便可在離心旋轉(zhuǎn)下將熔料的離心力朝向進(jìn)行改變，同時(shí)可以對模具離心的轉(zhuǎn)速進(jìn)行選定。
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1.一種石英坩堝成型模具，包括安裝在爐蓋上的傳動機(jī)構(gòu)（100），其特征在于，還包括活動安裝在爐蓋頂部孔洞內(nèi)的懸吊助轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)（200）、設(shè)置在懸吊助轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)（200）內(nèi)的承壓機(jī)構(gòu)（300）、設(shè)置在承壓機(jī)構(gòu)（300）上的多組懸臂機(jī)構(gòu)（400）、設(shè)置在懸臂機(jī)構(gòu)（400）上的推進(jìn)機(jī)構(gòu)（500）、設(shè)置在懸臂機(jī)構(gòu)（400）上的模制機(jī)構(gòu)（600）以及設(shè)置在模制機(jī)構(gòu)（600）內(nèi)的限位桿（700）；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英坩堝成型模具，其特征在于，所述懸臂機(jī)構(gòu)（400）包括設(shè)置在滑槽內(nèi)的基座（410）、活動安裝在基座（410）內(nèi)的梁桿（420）以及活動安裝在梁桿（420）另一端的拉桿（440）；
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英坩堝成型模具，其特征在于，所述推進(jìn)機(jī)構(gòu)（500）包括安裝在拉桿（440）中部的底座（510）、安裝在底座（510）頂部和底部柱頭內(nèi)的兩個(gè)檔桿（520）、活動安裝在其中一個(gè)檔桿（520）外部的第一滑架（530）、活動安裝在另一個(gè)檔桿（520）外部的第二滑架（540）以及安裝在第一滑架（530）和第二滑架（540）內(nèi)的兩個(gè)插銷（550）；
<...【技術(shù)特征摘要】
1.一種石英坩堝成型模具，包括安裝在爐蓋上的傳動機(jī)構(gòu)（100），其特征在于，還包括活動安裝在爐蓋頂部孔洞內(nèi)的懸吊助轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)（200）、設(shè)置在懸吊助轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)（200）內(nèi)的承壓機(jī)構(gòu)（300）、設(shè)置在承壓機(jī)構(gòu)（300）上的多組懸臂機(jī)構(gòu)（400）、設(shè)置在懸臂機(jī)構(gòu)（400）上的推進(jìn)機(jī)構(gòu)（500）、設(shè)置在懸臂機(jī)構(gòu)（400）上的模制機(jī)構(gòu)（600）以及設(shè)置在模制機(jī)構(gòu)（600）內(nèi)的限位桿（700）；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英坩堝成型模具，其特征在于，所述懸臂機(jī)構(gòu)（400）包括設(shè)置在滑槽內(nèi)的基座（410）、活動安裝在基座（410）內(nèi)的梁桿（420）以及活動安裝在梁桿（420）另一端的拉桿（440）；
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英坩堝成型模具，其特征在于，所述推進(jìn)機(jī)構(gòu)（500）包括安裝在拉桿（440）中部的底座（510）、安裝在底座（510）頂部和底部柱頭內(nèi)的兩個(gè)檔桿（520）、活動安裝在其中一個(gè)檔桿（520）外部的第一滑架（530）、活動安裝在另一個(gè)檔桿（520）外部的第二滑架（540）以及安裝在第一滑架（530）和第二滑架（540）內(nèi)的兩個(gè)插銷（550）；
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英坩堝成型模具，其特征在于，所述模制機(jī)構(gòu)（600）包括安裝在拉桿（440）底部的第三夾具（680）、安裝在第三夾具（680）內(nèi)的模套（690）、設(shè)置在模套（690）底部的下模（670）以及設(shè)置在模套（690）頂部的上模（630）；<...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：姚波，唐惠東，薛俊良，
申請(專利權(quán))人：常州裕能石英科技有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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