【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及有機電致發光，尤其涉及一種有機電致發光器件的薄膜沉積方法及裝置。
技術介紹
1、有機電致發光器件是一種重要的顯示技術，其核心是具有高發光效率和穩定性的有機薄膜。傳統的有機薄膜沉積方法如旋涂、涂布等，存在薄膜均勻性差、沉積速率慢等問題。
技術實現思路
1、本專利技術提供一種有機電致發光器件的薄膜沉積方法及裝置，用以解決現有技術中傳統的有機薄膜沉積方法如旋涂、涂布等，存在薄膜均勻性差、沉積速率慢的缺陷。
2、一方面，本專利技術提供一種有機電致發光器件的薄膜沉積方法，包括：
3、步驟1：按照有機電致發光器件的使用需求，選擇合適的有機前驅體材料，將有機前驅體材料溶解在溶劑中，形成前驅體溶液；
4、步驟2：將反應室抽真空至規定壓力，向反應室中注入一定量的運載氣體；
5、步驟3：通過反應室內部的等離子體激發裝置使反應室內部產生等離子體；
6、步驟4：通過噴霧裝置對前驅體溶液進行噴霧產生前驅體噴霧，同時噴入惰性氣體，使前驅體噴霧與惰性氣體混合，產生氣相混合物，通過氣相混合物與等離子體發生反應，生成有機薄膜；
7、步驟5：將基板放置在反應室內，通過物理吸附方式使有機薄膜沉積在基板表面；
8、步驟6：通過檢測裝置檢測薄膜沉積效果；
9、步驟7：對沉積完成的薄膜進行退火處理。
10、優選的，運載氣體包括：氧氣、氮氣、氬氣和氫氣。
11、優選的，反應室抽真空后的工作壓力的
12、另一方面，本專利技術還提供一種有機電致發光器件的薄膜沉積裝置，應用于上述的一種有機電致發光器件的薄膜沉積方法，包括反應箱，反應箱內底面固定連接有放置座，反應箱內側壁設置有若干微波發射器和若干熱電偶，反應箱側壁上設置有通氣管一和真空管，通氣管一的進氣口與運載氣體源連通，真空管與真空泵相連通，反應箱內頂面嵌入有下端開口的噴霧箱，噴霧箱內設置有若干組噴霧組件，噴霧組件與前驅體溶液箱和惰性氣體源連通，前驅體溶液箱內存儲有前驅體溶液。
13、優選的，噴霧組件包括密封護罩，密封護罩固定連接在噴霧箱內頂面上，密封護罩貫穿噴霧箱內頂面，密封護罩下端設置有開口，密封護罩頂端插入有供氣管和噴霧管，供氣管與惰性氣體源連通，噴霧管與前驅體溶液箱連通。
14、優選的，還包括控制系統，控制系統包括：
15、控制模塊，用于調節沉積參數；
16、反應監測模塊，用于實時監測沉積過程的反應情況。
17、優選的，控制模塊包括：
18、溫度調控單元，用于控制熱電偶的工作功率；
19、壓力調控單元，用于控制真空泵的工作功率；
20、第一流量調節單元，用于控制惰性氣體的輸出流量；
21、第二流量調節單元，用于控制前驅體溶液的輸出流量；
22、功率調節單元，用于控制微波發射器的工作功率。
23、優選的，反應監測模塊包括：
24、數據采集單元，用于采集反應室內部的監測參數，監測參數包括：反應室內部的實際溫度、實際壓力和等離子體激發裝置的實際電壓、實際電流；
25、參數計算單元，用于計算反應穩定性評估參數；
26、；其中，s為反應穩定性評估參數；為基板材料的導熱系數；為前驅體溶液的密度；c為前驅體溶液的比熱容；為玻爾茲曼常數；t為反應室內部的實際溫度；為前驅體噴霧的動力粘度；d為前驅體噴霧的氣體分子直徑；為反應室內部的實際壓強；m為單位摩爾；為薄膜材料的熔融態的吉布斯自由能；為薄膜材料的固態的吉布斯自由能；為前驅體噴霧的實際氣體流量；為微波發射器的實際電壓；為微波發射器的實際電流；為前驅體噴霧的氣體流量的設定值；為微波發射器的設定工作功率；為反應室內部的設定標準壓強；
27、當反應穩定性評估參數小于預設的穩定閾值，則判斷反應穩定性較差，需要對沉積裝置進行檢修，否則判斷反應穩定性良好，無需對沉積裝置進行檢修。
28、與現有技術對比，本專利技術具備以下有益效果：
29、通過本方法完成薄膜的沉積，可以在較低的溫度下進行薄膜的沉積，能夠減少基板在薄膜沉積過程中產生的熱應力和變形，適用于對溫度敏感的基板材料的薄膜沉積，通過等離子體控制薄膜沉積反應的進行，實現了對薄膜厚度和薄膜均勻度的精準控制，且較傳統的有機薄膜沉積方法，本方法可以有效的提高沉積速率，適用于多種有機材料的薄膜沉積，便于大規模生產的進行，對沉積完成的薄膜進行退火，提高了薄膜的穩定性。
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1.一種有機電致發光器件的薄膜沉積方法，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的一種有機電致發光器件的薄膜沉積方法，其特征在于，運載氣體包括：氧氣、氮氣、氬氣和氫氣。
3.根據權利要求1所述的一種有機電致發光器件的薄膜沉積方法，其特征在于，反應室抽真空后的工作壓力的允許范圍為13.3MPa-133MPa。
4.一種有機電致發光器件的薄膜沉積裝置，應用于如權利要求1-3任一項所述的一種有機電致發光器件的薄膜沉積方法，其特征在于，包括反應箱(1)，反應箱(1)內底面固定連接有放置座(2)，反應箱(1)內側壁設置有若干微波發射器(3)和若干熱電偶(4)，反應箱(1)側壁上設置有通氣管一(5)和真空管(6)，通氣管一(5)的進氣口與運載氣體源連通，真空管(6)與真空泵(7)相連通，反應箱(1)內頂面嵌入有下端開口的噴霧箱(8)，噴霧箱(8)內設置有若干組噴霧組件，噴霧組件與前驅體溶液箱和惰性氣體源連通，前驅體溶液箱內存儲有前驅體溶液。
5.根據權利要求4所述的一種有機電致發光器件的薄膜沉積裝置，其特征在于，噴霧組件包括密封護罩(9)，密
6.根據權利要求4所述的一種有機電致發光器件的薄膜沉積裝置，其特征在于，還包括控制系統，控制系統包括：
7.根據權利要求6所述的一種有機電致發光器件的薄膜沉積裝置，其特征在于，控制模塊包括：
8.根據權利要求6所述的一種有機電致發光器件的薄膜沉積裝置，其特征在于，反應監測模塊包括：
...【技術特征摘要】
1.一種有機電致發光器件的薄膜沉積方法，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的一種有機電致發光器件的薄膜沉積方法，其特征在于，運載氣體包括：氧氣、氮氣、氬氣和氫氣。
3.根據權利要求1所述的一種有機電致發光器件的薄膜沉積方法，其特征在于，反應室抽真空后的工作壓力的允許范圍為13.3mpa-133mpa。
4.一種有機電致發光器件的薄膜沉積裝置，應用于如權利要求1-3任一項所述的一種有機電致發光器件的薄膜沉積方法，其特征在于，包括反應箱(1)，反應箱(1)內底面固定連接有放置座(2)，反應箱(1)內側壁設置有若干微波發射器(3)和若干熱電偶(4)，反應箱(1)側壁上設置有通氣管一(5)和真空管(6)，通氣管一(5)的進氣口與運載氣體源連通，真空管(6)與真空泵(7)相連通，反應箱(1)內頂面嵌入有下端開口的噴霧箱(8)，噴霧...
【專利技術屬性】
技術研發人員：石超，李成明，楊少延，劉祥林，崔草香，朱瑞平，聶建林，郭柏君，陳兆顯，李曉東，
申請(專利權)人：國鯨合創青島科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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