【技術實現步驟摘要】
本申請涉及晶體制備設備,尤其涉及一種復投裝置及單晶爐。
技術介紹
1、單晶爐對單晶硅熔融加工時需要進行多次復投料。目前,現有的復投料加料器在投料過程中存在以下問題:
2、(一)硅料在加料器內的下降速度較快,從而導致硅料在下落過程中四散,并容易掉入坩堝外側。當硅料掉入堝邦與加熱器之間時,會造成打火,進而出現安全事故。
3、(二)硅料下降速度較快會對石英錐造成較大的沖擊,進而導致石英錐易損壞。
技術實現思路
1、為克服現有技術中的不足,本申請提供一種復投裝置及單晶爐。
2、本申請提供如下技術方案:
3、一種復投裝置,包括:
4、復投筒,一端具有出料口;
5、托盤組件,包括石英錐和調節桿;所述石英錐設于所述出料口處;所述調節桿可移動地設于所述復投筒內,并且所述調節桿的一端與所述石英錐連接;
6、緩沖件,傾斜地設于所述復投筒內,且所述緩沖件朝向所述出料口;所述緩沖件與所述調節桿滑動配合。
7、在一種可能的實施方式中,所述復投裝置包括多個所述緩沖件;多個所述緩沖件沿所述復投筒的軸向方向錯位排布。
8、在一種可能的實施方式中,相鄰兩個所述緩沖件沿所述復投筒軸向方向上的投影具有重合區域。
9、在一種可能的實施方式中,所述復投筒還包括固定組件;所述固定組件包括限位件和卡環;所述限位件固定于所述復投筒的內壁上;所述卡環的一側與所述限位件連接,所述卡環遠離所述限位件的一側與所述緩沖件
10、在一種可能的實施方式中,所述限位件沿所述復投筒徑向方向的厚度,由所述限位件遠離所述出料口的一端向所述限位件靠近所述出料口的一端逐漸遞增。
11、在一種可能的實施方式中,所述緩沖件靠近所述復投筒內壁的一側,設于所述限位件遠離所述出料口的一端上。
12、在一種可能的實施方式中,所述復投筒包括依次可拆卸連接的第一筒體、第二筒體及第三筒體;所述出料口開設于所述第三筒體遠離所述第二筒體的一端;所述復投裝置包括多個所述緩沖件,所述第一筒體、所述第二筒體及所述第三筒體內均設有至少一個所述緩沖件。
13、在一種可能的實施方式中,所述復投裝置還包括第一連接件和第二連接件;所述第一連接件設于所述第二筒體遠離所述第三筒體的一端,所述第一筒體的一端與所述第一連接件可拆卸連接;所述第二連接件設于所述第三筒體遠離所述出料口的一端,所述第二筒體遠離所述第一筒體的一端與所述第二連接件可拆卸連接。
14、在一種可能的實施方式中,所述緩沖件上開設有配合槽;所述調節桿沿所述復投筒的軸向方向,可移動地設于所述配合槽內。
15、第二方面,本申請還提供了一種單晶爐,包括上述復投裝置。
16、相比現有技術,本申請的有益效果:
17、本申請提供的復投料裝置,通過控制調節桿在復投筒內的升降,從而可以控制石英錐封堵出料口。通過在復投筒內設置傾斜的緩沖件,當出料口打開,復投筒內的物料下落時,緩沖件能夠降低物料的下落速度,從而有效防止物料在下落過程中四散,保證物料落點準確;并減小物料對石英錐的沖擊力,增加石英錐的使用壽命。緩沖件與調節桿滑動配合,以避免調節桿在復投筒內升降時與緩沖件發生干涉。
18、為使本申請的上述目的、特征和優點能更明顯和易懂,下文特舉較佳實施例,并配合所附附圖,做詳細說明如下。
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1.一種復投裝置,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的復投裝置,其特征在于,所述復投裝置包括多個所述緩沖件;多個所述緩沖件沿所述復投筒的軸向方向錯位排布。
3.根據權利要求2所述的復投裝置,其特征在于,相鄰兩個所述緩沖件沿所述復投筒軸向方向上的投影具有重合區域。
4.根據權利要求1-3中任意一項所述的復投裝置,其特征在于,所述復投筒還包括固定組件;所述固定組件包括限位件和卡環;所述限位件固定于所述復投筒的內壁上;所述卡環的一側與所述限位件連接,所述卡環遠離所述限位件的一側與所述緩沖件連接。
5.根據權利要求4所述的復投裝置,其特征在于,所述限位件沿所述復投筒徑向方向的厚度,由所述限位件遠離所述出料口的一端向所述限位件靠近所述出料口的一端逐漸遞增。
6.根據權利要求5所述的復投裝置,其特征在于,所述緩沖件靠近所述復投筒內壁的一側,設于所述限位件遠離所述出料口的一端上。
7.根據權利要求1-3中任意一項所述的復投裝置,其特征在于,所述復投筒包括依次可拆卸連接的第一筒體、第二筒體及第三筒體;所述出料口開設于
8.根據權利要求7所述的復投裝置,其特征在于,所述復投裝置還包括第一連接件和第二連接件;所述第一連接件設于所述第二筒體遠離所述第三筒體的一端,所述第一筒體的一端與所述第一連接件可拆卸連接;所述第二連接件設于所述第三筒體遠離所述出料口的一端,所述第二筒體遠離所述第一筒體的一端與所述第二連接件可拆卸連接。
9.根據權利要求1-3中任意一項所述的復投裝置,其特征在于,所述緩沖件上開設有配合槽;所述調節桿沿所述復投筒的軸向方向,可移動地設于所述配合槽內。
10.一種單晶爐,其特征在于,包括權利要求1-9中任意一項所述的復投裝置。
...【技術特征摘要】
1.一種復投裝置,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的復投裝置,其特征在于,所述復投裝置包括多個所述緩沖件;多個所述緩沖件沿所述復投筒的軸向方向錯位排布。
3.根據權利要求2所述的復投裝置,其特征在于,相鄰兩個所述緩沖件沿所述復投筒軸向方向上的投影具有重合區域。
4.根據權利要求1-3中任意一項所述的復投裝置,其特征在于,所述復投筒還包括固定組件;所述固定組件包括限位件和卡環;所述限位件固定于所述復投筒的內壁上;所述卡環的一側與所述限位件連接,所述卡環遠離所述限位件的一側與所述緩沖件連接。
5.根據權利要求4所述的復投裝置,其特征在于,所述限位件沿所述復投筒徑向方向的厚度,由所述限位件遠離所述出料口的一端向所述限位件靠近所述出料口的一端逐漸遞增。
6.根據權利要求5所述的復投裝置,其特征在于,所述緩沖件靠近所述復投筒內壁的一側,設于所述限位件遠離所述出料口的一端上。
【專利技術屬性】
技術研發人員:鄒凱,莫磊,張國宏,張德林,周文東,杜明,田棟東,李長營,
申請(專利權)人:甘肅瓜州寶豐硅材料開發有限公司,
類型:新型
國別省市:
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