【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及單晶硅生長爐領(lǐng)域，更具體的，涉及一種能夠高效觀察爐內(nèi)空間的單晶硅生長爐。
技術(shù)介紹
1、單晶硅生長爐是一種用于生產(chǎn)單晶硅的制造設(shè)備。單晶硅生長爐采用直拉法生長單晶，容易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制，生產(chǎn)效率高。單晶硅生長爐在半導(dǎo)體、光伏等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。
2、現(xiàn)有的單晶硅生長爐通常配備有視頻采集單元，用于實(shí)時(shí)監(jiān)測爐內(nèi)單晶硅的生長情況。然而，由于視頻采集單元的安裝位置固定，其位置和角度不便輕易調(diào)節(jié)，視頻采集單元往往只能覆蓋爐內(nèi)空間的有限區(qū)域，無法全面觀察到爐內(nèi)更多重要的生長區(qū)域。這種視角的局限性使得操作人員無法準(zhǔn)確判斷單晶硅生長的整體情況，特別是在一些關(guān)鍵的生長階段，可能遺漏重要的生長信息，進(jìn)而影響單晶硅的質(zhì)量和產(chǎn)量。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本技術(shù)旨在克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種能夠高效觀察爐內(nèi)空間的單晶硅生長爐。
2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本技術(shù)提供如下技術(shù)方案：一種單晶硅生長爐，包括基座、下爐體、上爐體、爐蓋、連接爐體、轉(zhuǎn)移爐體、用于驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)移爐體的轉(zhuǎn)移爐體驅(qū)動(dòng)單元、加熱單元、坩堝、用于驅(qū)動(dòng)坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)的坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元、氬氣供應(yīng)單元以及用于提拉硅棒的硅棒提拉單元，所述爐蓋處具有觀察窗，所述觀察窗處具有觀察窗蓋，所述觀察窗蓋具有多個(gè)呈環(huán)形等間距分布的插套，所述觀察窗蓋處安裝有安裝架，所述安裝架包括兩個(gè)插桿以及連接兩個(gè)插桿的弧形桿，所述插桿能夠插入插套，插套具有能夠抵緊插桿的抵緊螺栓，所述插桿處安裝有第一滑塊，第一滑塊處具有能夠固定滑塊與插桿相對(duì)位置的第一鎖死螺栓，兩個(gè)
3、進(jìn)一步地，所述安裝部包括第一安裝板、與第一安裝板連接的第二安裝板以及與第二安裝板連接的第三安裝板，所述視頻采集單元安裝于第三安裝板處，所述第一安裝板連接有限位單元，所述限位單元包括固定板、與固定板連接的弧形板以及與弧形板連接的限位插板，所述第二安裝板包括矩形板以及與矩形板連接的半圓形板，所述矩形板具有螺柱，所述螺柱穿過第一安裝板并通過螺母固定，所述半圓形板具有多個(gè)與限位插板配合的限位插槽。
4、通過限位單元與不同的限位插槽配合，可以調(diào)整視頻采集單元的安裝角度，從而進(jìn)一步擴(kuò)大視頻采集的角度，并且通過螺柱和螺母的配合以及限位單元的限位，從而固定效果好。
5、進(jìn)一步地，多個(gè)限位插槽呈弧形等間距分布。
6、進(jìn)一步地，所述第一安裝板具有與螺柱配合的安裝通孔。
7、從而便于固定連接第二安裝板和第一安裝板。
8、進(jìn)一步地，所述插套具有8個(gè)，兩個(gè)插桿之間具有兩個(gè)插套。
9、從而安裝架位置調(diào)節(jié)的選擇更多。
10、進(jìn)一步地，所述連接爐體與爐蓋固定連接，所述轉(zhuǎn)移爐體位于爐蓋上方，所述上爐體處具有用于驅(qū)動(dòng)上爐體升降的第一升降驅(qū)動(dòng)單元。
11、從而單晶硅在生長完成后可以方便地從爐內(nèi)轉(zhuǎn)移到外部進(jìn)行處理。
12、進(jìn)一步地，所述爐蓋處具有用于驅(qū)動(dòng)爐蓋升降的第二升降驅(qū)動(dòng)單元。
13、從而方便驅(qū)動(dòng)爐蓋升降進(jìn)行操作。
14、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)具有的有益效果是：
15、1、本申請(qǐng)的單晶硅生長爐，通過選擇安裝的插套以及第一、二滑塊的位置，從而視頻采集的角度選擇大，從而能夠更加高效地觀察爐內(nèi)空間，從而更好地監(jiān)控單晶硅的生長過程。
16、2、本申請(qǐng)的單晶硅生長爐，通過限位單元與不同的限位插槽配合，可以調(diào)整視頻采集單元的安裝角度，從而進(jìn)一步擴(kuò)大視頻采集的角度。
17、3、本申請(qǐng)的單晶硅生長爐，通過螺柱和螺母的配合以及限位單元和限位插槽的配合，從而對(duì)視頻采集單元進(jìn)行限位，從而固定效果好。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種能夠高效觀察爐內(nèi)空間的單晶硅生長爐，其特征在于，包括基座、下爐體、上爐體、爐蓋、連接爐體、轉(zhuǎn)移爐體、用于驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)移爐體的轉(zhuǎn)移爐體驅(qū)動(dòng)單元、加熱單元、坩堝、用于驅(qū)動(dòng)坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)的坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元、氬氣供應(yīng)單元以及用于提拉硅棒的硅棒提拉單元，所述爐蓋處具有觀察窗，所述觀察窗處具有觀察窗蓋，所述觀察窗蓋具有多個(gè)呈環(huán)形等間距分布的插套，所述觀察窗蓋處安裝有安裝架，所述安裝架包括兩個(gè)插桿以及連接兩個(gè)插桿的弧形桿，所述插桿能夠插入插套，插套具有能夠抵緊插桿的抵緊螺栓，所述插桿處安裝有第一滑塊，第一滑塊處具有能夠固定滑塊與插桿相對(duì)位置的第一鎖死螺栓，兩個(gè)第一滑塊之間連接有兩個(gè)導(dǎo)桿，兩個(gè)導(dǎo)桿之間安裝有第二滑塊，所述第二滑塊具有兩個(gè)與導(dǎo)桿配合的導(dǎo)孔，第二滑塊具有能夠固定導(dǎo)桿與第二滑塊相對(duì)位置的第二鎖死螺栓，所述第二滑塊連接有安裝部，所述安裝部安裝有視頻采集單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠高效觀察爐內(nèi)空間的單晶硅生長爐，其特征在于，所述安裝部包括第一安裝板、與第一安裝板連接的第二安裝板以及與第二安裝板連接的第三安裝板，所述視頻采集單元安裝于第三安裝板處，所述第一安裝板連接有限位單元
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的能夠高效觀察爐內(nèi)空間的單晶硅生長爐，其特征在于，多個(gè)限位插槽呈弧形等間距分布。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的能夠高效觀察爐內(nèi)空間的單晶硅生長爐，其特征在于，所述第一安裝板具有與螺柱配合的安裝通孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠高效觀察爐內(nèi)空間的單晶硅生長爐，其特征在于，所述插套具有8個(gè)，兩個(gè)插桿之間具有兩個(gè)插套。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠高效觀察爐內(nèi)空間的單晶硅生長爐，其特征在于，所述連接爐體與爐蓋固定連接，所述轉(zhuǎn)移爐體位于爐蓋上方，所述上爐體處具有用于驅(qū)動(dòng)上爐體升降的第一升降驅(qū)動(dòng)單元。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠高效觀察爐內(nèi)空間的單晶硅生長爐，其特征在于，所述爐蓋處具有用于驅(qū)動(dòng)爐蓋升降的第二升降驅(qū)動(dòng)單元。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種能夠高效觀察爐內(nèi)空間的單晶硅生長爐，其特征在于，包括基座、下爐體、上爐體、爐蓋、連接爐體、轉(zhuǎn)移爐體、用于驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)移爐體的轉(zhuǎn)移爐體驅(qū)動(dòng)單元、加熱單元、坩堝、用于驅(qū)動(dòng)坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)的坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)單元、氬氣供應(yīng)單元以及用于提拉硅棒的硅棒提拉單元，所述爐蓋處具有觀察窗，所述觀察窗處具有觀察窗蓋，所述觀察窗蓋具有多個(gè)呈環(huán)形等間距分布的插套，所述觀察窗蓋處安裝有安裝架，所述安裝架包括兩個(gè)插桿以及連接兩個(gè)插桿的弧形桿，所述插桿能夠插入插套，插套具有能夠抵緊插桿的抵緊螺栓，所述插桿處安裝有第一滑塊，第一滑塊處具有能夠固定滑塊與插桿相對(duì)位置的第一鎖死螺栓，兩個(gè)第一滑塊之間連接有兩個(gè)導(dǎo)桿，兩個(gè)導(dǎo)桿之間安裝有第二滑塊，所述第二滑塊具有兩個(gè)與導(dǎo)桿配合的導(dǎo)孔，第二滑塊具有能夠固定導(dǎo)桿與第二滑塊相對(duì)位置的第二鎖死螺栓，所述第二滑塊連接有安裝部，所述安裝部安裝有視頻采集單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠高效觀察爐內(nèi)空間的單晶硅生長爐，其特征在于，所述安裝部包括第一安裝板、與第一安裝板連接的第二安裝板以及與第二安裝板連接的第三安裝板，所述視頻采集單元安裝于第三安裝板處...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陳春成，戚建靜，徐芳，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：江蘇晶品新能源股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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