【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專(zhuān)利技術(shù)有關(guān)一種光罩盒，特別是指一種提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒。
技術(shù)介紹
1、目前極紫外光(euv)微影制程中，主要使用雙層盒(dual?pod)保護(hù)光罩。現(xiàn)有雙層盒包括外盒(eop)與內(nèi)盒(eip)。其中，光罩是收容于內(nèi)盒中，內(nèi)盒則收容于外盒中。
2、雙層盒于曝光機(jī)內(nèi)運(yùn)行時(shí)，內(nèi)盒和外盒被打開(kāi)以暴露光罩后，通過(guò)機(jī)械手臂來(lái)取出光罩。在機(jī)械手臂放回光罩的過(guò)程中，若機(jī)械手臂因某些原因而使光罩呈非水平狀態(tài)，即光罩四個(gè)角實(shí)質(zhì)上不在同一水平面上，則光罩可能僅以單個(gè)角落首先接觸基座的其中一個(gè)支撐件。此時(shí)，倘若機(jī)械手臂沒(méi)有提供調(diào)整或緩沖機(jī)制，導(dǎo)致支撐件的反向力過(guò)度集中在光罩的單個(gè)角落，使光罩的角落和對(duì)應(yīng)的支撐件產(chǎn)生嚴(yán)重碰撞和摩擦，進(jìn)而產(chǎn)生粒子，還會(huì)導(dǎo)致光罩的損壞以及污染。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、有鑒于前述問(wèn)題，本專(zhuān)利技術(shù)提供一種提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，支撐件能夠在光罩被取放時(shí)，吸收過(guò)多的負(fù)荷來(lái)避免光罩和對(duì)應(yīng)的支撐件產(chǎn)生碰撞和摩擦，以避免光罩或支撐件的磨損以及污染。
2、本專(zhuān)利技術(shù)目的在于提供一種提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，該光罩盒包含一基座及配置于該基座上的至少一光罩支撐件。該光罩支撐件用于承載一光罩且具有一彈性手段；當(dāng)該光罩支撐件承受的一下壓力小于或等于一臨界值時(shí)，該光罩支撐件的一高度維持在一預(yù)定高度；當(dāng)該光罩支撐件承受的一下壓力大于該臨界值時(shí)，該光罩支撐件通過(guò)變形來(lái)吸收下壓力，直到該下壓力分散至其他光罩支撐件，該光罩支撐件才恢復(fù)成該預(yù)定
3、在一具體實(shí)施例中，該彈性手段為一彈性材質(zhì)、一彈簧或一中空結(jié)構(gòu)，該臨界值是根據(jù)該彈性手段所決定。
4、在一具體實(shí)施例中，該光罩支撐件具有一凸起，該凸起具有一彈性材質(zhì)，使該凸起能夠與一光罩形成彈性接觸，該彈性材質(zhì)為橡膠或熱塑性材料。
5、在一具體實(shí)施例中，該光罩支撐件是通過(guò)該彈性材質(zhì)的壓縮變形的方式來(lái)吸收下壓力。
6、在一具體實(shí)施例中，該光罩支撐件的底部提供有一彈性元件，使該光罩支撐件通過(guò)該彈性元件與該光罩盒的該基座形成彈性連接。
7、在一具體實(shí)施例中，該彈性元件承受大于該臨界值的下壓力，并相應(yīng)形變下沉與吸收該下壓力。
8、在一具體實(shí)施例中，該彈性元件為一彈簧，該光罩支撐件通過(guò)該彈簧連接至該基座。
9、在一具體實(shí)施例中，該彈性元件為多個(gè)彈性墊片，該光罩支撐件通過(guò)該彈性墊片連接至該基座。
10、在一具體實(shí)施例中，多個(gè)該彈性墊片是與該光罩支撐件的多個(gè)鎖固件配合，使該光罩支撐件固定至該基座。
11、在一具體實(shí)施例中，該光罩支撐件具有一凸起和位于該凸起兩側(cè)的兩個(gè)邊緣限制，多個(gè)該彈性墊片是設(shè)置在該光罩支撐件的該凸起和該兩個(gè)邊緣限制的下方。
12、在一具體實(shí)施例中，該光罩的重量介于320g至330g，所述臨界值大于或等于3.14n。
13、在一具體實(shí)施例中，該預(yù)定高度介于0.17mm至0.23mm。
14、本專(zhuān)利技術(shù)提出的提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，支撐件能夠在光罩被取放時(shí)，吸收過(guò)多的負(fù)荷來(lái)避免光罩和對(duì)應(yīng)的支撐件產(chǎn)生碰撞和摩擦，以避免光罩或支撐件的磨損以及污染。
本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，該光罩盒包含一基座及配置于該基座上的至少一光罩支撐件，其特征在于：
2.如權(quán)利要求1所述的提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，其特征在于，該彈性手段為一彈性材質(zhì)、一彈簧或一中空結(jié)構(gòu)，該臨界值是根據(jù)該彈性手段所決定。
3.如權(quán)利要求1所述的提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，其特征在于，該光罩支撐件具有一凸起，該凸起具有一彈性材質(zhì)，使該凸起能夠與該光罩形成彈性接觸，該彈性材質(zhì)為橡膠或熱塑性材料。
4.如權(quán)利要求3所述的提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，其特征在于，該光罩支撐件是通過(guò)該彈性材質(zhì)的壓縮變形的方式來(lái)吸收下壓力。
5.如權(quán)利要求1所述的提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，其特征在于，該光罩支撐件的底部提供有一彈性元件，使該光罩支撐件通過(guò)該彈性元件與該基座形成彈性連接。
6.如權(quán)利要求5所述的提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，其特征在于，該彈性元件承受大于該臨界值的下壓力，并相應(yīng)形變下沉與吸收該下壓力。
7.如權(quán)利要求5所述的提供有吸收下壓力的光
8.如權(quán)利要求5所述的提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，其特征在于，該彈性元件為多個(gè)彈性墊片，該光罩支撐件通過(guò)該彈性墊片連接至該基座。
9.如權(quán)利要求8所述的提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，其特征在于，多個(gè)該彈性墊片是與多個(gè)鎖固件配合，使該光罩支撐件固定至該基座。
10.如權(quán)利要求8所述的提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，其特征在于，該光罩支撐件具有一凸起和位于該凸起兩側(cè)的兩個(gè)邊緣限制，多個(gè)該彈性墊片是設(shè)置在該光罩支撐件的該凸起和該兩個(gè)邊緣限制的下方。
11.如權(quán)利要求1所述的提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，其特征在于，該光罩的重量介于320g至330g，所述臨界值大于或等于3.14N。
12.如權(quán)利要求1所述的提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，其特征在于，該預(yù)定高度介于0.17mm至0.23mm。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，該光罩盒包含一基座及配置于該基座上的至少一光罩支撐件，其特征在于：
2.如權(quán)利要求1所述的提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，其特征在于，該彈性手段為一彈性材質(zhì)、一彈簧或一中空結(jié)構(gòu)，該臨界值是根據(jù)該彈性手段所決定。
3.如權(quán)利要求1所述的提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，其特征在于，該光罩支撐件具有一凸起，該凸起具有一彈性材質(zhì)，使該凸起能夠與該光罩形成彈性接觸，該彈性材質(zhì)為橡膠或熱塑性材料。
4.如權(quán)利要求3所述的提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，其特征在于，該光罩支撐件是通過(guò)該彈性材質(zhì)的壓縮變形的方式來(lái)吸收下壓力。
5.如權(quán)利要求1所述的提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，其特征在于，該光罩支撐件的底部提供有一彈性元件，使該光罩支撐件通過(guò)該彈性元件與該基座形成彈性連接。
6.如權(quán)利要求5所述的提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，其特征在于，該彈性元件承受大于該臨界值的下壓力，并相應(yīng)形變下沉與吸收該下壓力。...
【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：邱銘乾，莊家和，薛新民，劉昌達(dá)，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：家登精密工業(yè)股份有限公司，
類(lèi)型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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