【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
一個(gè)或多個(gè)實(shí)施方式涉及一種裝置，并且更具體地，涉及一種沉積模塊和一種顯示設(shè)備制造裝置。
技術(shù)介紹
1、近來(lái)，電子設(shè)備已被廣泛使用。電子設(shè)備以各種方式被使用，諸如移動(dòng)電子設(shè)備和固定電子設(shè)備。這類(lèi)電子設(shè)備包括向用戶(hù)提供諸如圖像或視頻的可視信息以支持各種功能的顯示設(shè)備。
2、顯示設(shè)備配置為可視地顯示數(shù)據(jù)，并且通過(guò)沉積諸如有機(jī)層和金屬層的各種層來(lái)制造。沉積材料可以被沉積以形成顯示設(shè)備的多個(gè)層。也就是說(shuō)，沉積材料從沉積源噴射并且通過(guò)掩模組件沉積在襯底上。
3、
技術(shù)介紹
是專(zhuān)利技術(shù)人所擁有的用于推導(dǎo)本公開(kāi)的技術(shù)信息或在推導(dǎo)本公開(kāi)期間獲得的技術(shù)信息，并且不一定是在提交本公開(kāi)之前公開(kāi)給公眾的已知技術(shù)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、根據(jù)實(shí)施方式，沉積材料在沉積工藝期間不會(huì)通過(guò)坩堝部分和噴嘴部分之間的間隙泄漏，并且當(dāng)沉積工藝完成時(shí)，坩堝部分容易與噴嘴部分分離。
2、然而，這僅僅是示例，本公開(kāi)要解決的技術(shù)問(wèn)題不限于此。
3、附加的方面將在隨后的描述中部分地闡述，并且將部分地從描述中顯而易見(jiàn)，或者可以通過(guò)本公開(kāi)的所呈現(xiàn)的實(shí)施方式的實(shí)踐來(lái)習(xí)得。
4、根據(jù)一個(gè)或多個(gè)實(shí)施方式，顯示設(shè)備制造裝置包括：掩模組件；以及沉積源，包括沉積模塊，沉積模塊配置為朝向掩模組件提供沉積材料。沉積模塊包括沉積框架、噴射部分、加熱器和緊密接觸部分。沉積框架具有內(nèi)部空間。噴射部分容納在內(nèi)部空間中并且包括坩堝部分和噴嘴部分，坩堝部分配置為提供用于存儲(chǔ)沉積材料的存儲(chǔ)空間，噴嘴部分連接到坩堝部
5、在本實(shí)施方式中，坩堝部分和噴嘴部分中的至少一個(gè)可以具有比緊密接觸部分的熱膨脹系數(shù)高的熱膨脹系數(shù)。
6、在本實(shí)施方式中，坩堝部分可以包括碳材料，并且噴嘴部分可以包括金屬材料。
7、在本實(shí)施方式中，在第一狀態(tài)中，緊密接觸部分可以能夠從噴射部分拆卸。
8、在本實(shí)施方式中，坩堝部分可以包括：第一坩堝部分，配置為存儲(chǔ)沉積材料并且具有在朝向噴嘴部分的第一方向上的縱向方向；以及第二坩堝部分，在與第一方向交叉的第二方向上從第一坩堝部分突出。噴嘴部分可以包括：第一噴嘴部分，與坩堝部分接觸；以及第二噴嘴部分，配置為排出沉積材料并且在第一方向上從第一噴嘴部分突出。緊密接觸部分可以配置為在第二狀態(tài)中按壓在第二坩堝部分和第一噴嘴部分上。
9、在本實(shí)施方式中，第一容納槽可以設(shè)置在第二坩堝部分的下表面中，并且緊密接觸部分的第一端部分可以容納在第一容納槽中。
10、在本實(shí)施方式中，緊密接觸部分可以進(jìn)一步配置為在第二狀態(tài)中按壓在第一噴嘴部分的上表面上。
11、在本實(shí)施方式中，第二容納槽可以設(shè)置在第一噴嘴部分的上表面中，并且緊密接觸部分的第二端部分可以容納在第二容納槽中。
12、在本實(shí)施方式中，第二容納槽可以設(shè)置在第一噴嘴部分的側(cè)表面中，并且緊密接觸部分的第二端部分可以設(shè)置在第二容納槽中，并且配置為在第二狀態(tài)中按壓在噴嘴部分上。
13、在本實(shí)施方式中，顯示設(shè)備制造裝置還可以包括支承部分，支承部分配置為從沉積框架支承噴射部分，其中，緊密接觸部分可以固定到支承部分，并且按壓表面可以面向噴嘴部分的一個(gè)表面。
14、在本實(shí)施方式中，緊密接觸部分可以包括：緊密接觸框架，固定到支承部分；以及多個(gè)按壓部分，從緊密接觸框架朝向噴嘴部分的一個(gè)表面突出。多個(gè)按壓部分包括多個(gè)按壓表面，并且多個(gè)按壓部分的多個(gè)按壓表面可以彼此間隔開(kāi)。
15、在本實(shí)施方式中，配置為將多個(gè)按壓部分中的至少兩個(gè)按壓部分彼此分離的分離開(kāi)口可以布置在緊密接觸框架中。
16、在本實(shí)施方式中，在第二狀態(tài)中，多個(gè)按壓部分中的至少兩個(gè)按壓部分可以具有不同的高度。
17、在本實(shí)施方式中，分離開(kāi)口可以包括：第一分離開(kāi)口，具有縱向方向；以及第二分離開(kāi)口，連接到第一分離開(kāi)口的端部分并且具有圓形平面形狀。
18、在本實(shí)施方式中，坩堝部分和緊密接觸部分可以包括相同的材料。
19、根據(jù)一個(gè)或多個(gè)實(shí)施方式，沉積模塊包括沉積框架、噴射部分、加熱器和緊密接觸部分。沉積框架具有內(nèi)部空間。噴射部分容納在內(nèi)部空間中并且包括坩堝部分和噴嘴部分，坩堝部分具有用于存儲(chǔ)沉積材料的存儲(chǔ)空間，噴嘴部分連接到坩堝部分并且配置為噴射存儲(chǔ)在存儲(chǔ)空間中的沉積材料。加熱器容納在內(nèi)部空間中，以加熱噴嘴部分，并且配置為能夠在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間切換，第二狀態(tài)的熱值高于第一狀態(tài)的熱值。緊密接觸部分容納在沉積框架的內(nèi)部空間中以使坩堝部分和噴嘴部分彼此緊密接觸。緊密接觸部分包括在第一狀態(tài)中與噴射部分間隔開(kāi)并且配置為在第二狀態(tài)中按壓在噴射部分上的按壓表面。
20、在本實(shí)施方式中，坩堝部分和噴嘴部分中的至少一個(gè)可以具有比緊密接觸部分的熱膨脹系數(shù)高的熱膨脹系數(shù)。
21、在本實(shí)施方式中，坩堝部分可以包括碳材料，并且噴嘴部分可以包括金屬材料。
22、在本實(shí)施方式中，緊密接觸部分可以在第一狀態(tài)中能夠從噴射部分拆卸。
23、在本實(shí)施方式中，緊密接觸部分可以設(shè)置成夾具的形式。
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1.顯示設(shè)備制造裝置，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，所述坩堝部分和所述噴嘴部分中的至少一個(gè)具有比所述緊密接觸部分的熱膨脹系數(shù)高的熱膨脹系數(shù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，所述坩堝部分包括碳材料，并且所述噴嘴部分包括金屬材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，在所述第一狀態(tài)中，所述緊密接觸部分能夠從所述噴射部分拆卸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，所述坩堝部分包括：
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，在所述第二坩堝部分的下表面中設(shè)置有第一容納槽，以及
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，所述緊密接觸部分進(jìn)一步配置為在所述第二狀態(tài)中按壓在所述第一噴嘴部分的上表面上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，在所述第一噴嘴部分的所述上表面中設(shè)置有第二容納槽，以及
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，在所述第一噴嘴部分的側(cè)表面中設(shè)置有第二容納槽，以及
10.
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，所述緊密接觸部分包括：
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，配置為將所述多個(gè)按壓部分中的至少兩個(gè)按壓部分彼此分離的分離開(kāi)口布置在所述緊密接觸框架中。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，在所述第二狀態(tài)中，所述多個(gè)按壓部分中的所述至少兩個(gè)按壓部分具有不同的高度。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，所述分離開(kāi)口包括：
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，所述坩堝部分和所述緊密接觸部分包括相同的材料。
16.沉積模塊，包括：
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的沉積模塊，其中，所述坩堝部分和所述噴嘴部分中的至少一個(gè)具有比所述緊密接觸部分的熱膨脹系數(shù)高的熱膨脹系數(shù)。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的沉積模塊，其中，所述坩堝部分包括碳材料，并且所述噴嘴部分包括金屬材料。
19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的沉積模塊，其中，所述緊密接觸部分在所述第一狀態(tài)中能夠從所述噴射部分拆卸。
20.根據(jù)權(quán)利要求16所述的沉積模塊，其中，所述緊密接觸部分設(shè)置成夾具的形式。
...【技術(shù)特征摘要】
1.顯示設(shè)備制造裝置，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，所述坩堝部分和所述噴嘴部分中的至少一個(gè)具有比所述緊密接觸部分的熱膨脹系數(shù)高的熱膨脹系數(shù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，所述坩堝部分包括碳材料，并且所述噴嘴部分包括金屬材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，在所述第一狀態(tài)中，所述緊密接觸部分能夠從所述噴射部分拆卸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，所述坩堝部分包括：
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，在所述第二坩堝部分的下表面中設(shè)置有第一容納槽，以及
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，所述緊密接觸部分進(jìn)一步配置為在所述第二狀態(tài)中按壓在所述第一噴嘴部分的上表面上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，在所述第一噴嘴部分的所述上表面中設(shè)置有第二容納槽，以及
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯示設(shè)備制造裝置，其中，在所述第一噴嘴部分的側(cè)表面中設(shè)置有第二容納槽，以及
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示設(shè)備制造裝置，還包括支承部分，所述支承部分配置為從所述沉積框架支承所述...
【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：鄭和平，徐敏逵，程相慜，樸簡(jiǎn)永，尹鐘建，李京員，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：三星顯示有限公司，
類(lèi)型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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