本發(fā)明專利技術(shù)提供一種映射裝置，其檢測(cè)能夠沿著第一方向以規(guī)定間隔容納對(duì)象物的容器內(nèi)的對(duì)象物的容納狀態(tài)，其中，具有：映射框架，其沿上述第一方向及第二方向移動(dòng)；第一檢測(cè)部，其具有一對(duì)第一凸部和第一傳感器部，上述一對(duì)第一凸部在上述第二方向上從上述映射框架突出第一長(zhǎng)度，且在第三方向上隔開(kāi)第一間隔而配置，上述第一傳感器部設(shè)置于上述一對(duì)第一凸部的各前端附近；第二檢測(cè)部，其具有一對(duì)第二凸部和第二傳感器部，且配置于相對(duì)于上述第一檢測(cè)部以規(guī)定距離而不同的位置，上述一對(duì)第二凸部從上述映射框架突出比上述第一長(zhǎng)度長(zhǎng)的第二長(zhǎng)度突出，且在上述第三方向上配置于與上述第一凸部相同的位置，上述第二傳感器部設(shè)置于上述一對(duì)第二凸部的各前端附近。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本公開(kāi)涉及映射裝置及裝載端口裝置。
技術(shù)介紹
1、在如裝載端口裝置那樣交接基板等板狀對(duì)象物的裝置中，具備檢測(cè)容納于容器的對(duì)象物的容納狀態(tài)的映射裝置。映射裝置檢測(cè)容納在容器內(nèi)的對(duì)象物的數(shù)量、位置，并且檢測(cè)對(duì)象物是否正常地容納在容器內(nèi)(參照專利文獻(xiàn)1)。由映射裝置檢測(cè)的對(duì)象物除了硅基板或?qū)ζ鋵?shí)施了處理的部件以外，還包含玻璃基板等薄板狀的材料。
2、另一方面，隨著在半導(dǎo)體處理工廠中輸送的對(duì)象物的大型化或薄型化，容器及容器容納的對(duì)象物的多樣化進(jìn)展。例如，容納200mm(8英寸)的硅晶圓的容器和容納300mm(12英寸)的硅晶圓的容器有時(shí)同時(shí)在半導(dǎo)體處理工廠中流轉(zhuǎn)，兩種容器切換交替，被送到規(guī)定的裝載端口裝置。在該情況下，作為裝載端口所具備的映射裝置，要求與200mm的硅晶圓和300mm的硅晶圓雙方對(duì)應(yīng)的映射裝置。
3、然而，如果想要將與容納200mm的硅晶圓的容器對(duì)應(yīng)的以往的映射裝置應(yīng)用于容納300mm的硅晶圓的容器，則在存在從若干容器突出的300mm的硅晶圓的情況下，即使其突出量在假設(shè)為200mm的硅晶圓所容許的范圍內(nèi)，也可能會(huì)產(chǎn)生映射裝置的檢測(cè)部和硅晶圓碰撞的問(wèn)題。其原因在于，在與容納200mm的硅晶圓的容器對(duì)應(yīng)的以往的映射裝置中，在應(yīng)用于300mm的硅晶圓的情況下，能夠容許硅晶圓的突出的容許范圍變小。
4、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
5、專利文獻(xiàn)
6、專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2011-35384號(hào)公報(bào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、專利技術(shù)所要解決的問(wèn)題</p>2、本公開(kāi)涉及即使在應(yīng)用于大小不同的多個(gè)對(duì)象物的情況下，也能夠防止對(duì)象物和傳感器的碰撞的映射裝置及裝載端口裝置。
3、用于解決問(wèn)題的技術(shù)方案
4、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本公開(kāi)的第一觀點(diǎn)提供一種映射裝置，其檢測(cè)能夠沿著第一方向以規(guī)定間隔容納多個(gè)對(duì)象物的容器內(nèi)的所述對(duì)象物的容納狀態(tài)，其中，具有：
5、映射框架，其沿所述第一方向及與所述第一方向大致垂直的第二方向移動(dòng)；
6、第一檢測(cè)部，其具有一對(duì)第一凸部和第一傳感器部，所述一對(duì)第一凸部在所述第二方向上從所述映射框架突出第一長(zhǎng)度，且在與所述第一方向及所述第二方向大致垂直的第三方向上隔開(kāi)第一間隔而配置；第一傳感器部，其設(shè)置于所述一對(duì)第一凸部的各前端附近；以及
7、第二檢測(cè)部，其具有一對(duì)第二凸部和第二傳感器部，且在所述第一方向上配置于相對(duì)于所述第一檢測(cè)部以規(guī)定距離而不同的位置，所述一對(duì)第二凸部在所述第二方向上從所述映射框架突出比所述第一長(zhǎng)度長(zhǎng)的第二長(zhǎng)度，且在所述第三方向上配置于與所述第一凸部相同的位置，所述第二傳感器部設(shè)置于所述一對(duì)第二凸部的各前端附近。
8、本公開(kāi)的第一觀點(diǎn)的映射裝置具有相對(duì)于對(duì)象物的重疊方向即第一方向配置于以規(guī)定距離而不同的位置的第一檢測(cè)部和第二檢測(cè)部，第二凸部的突出長(zhǎng)度(第二長(zhǎng)度)比第一凸部的突出長(zhǎng)度(第一長(zhǎng)度)長(zhǎng)。第一檢測(cè)部因?yàn)橥怀鲩L(zhǎng)度短，所以能夠避免與從容器突出的對(duì)象物的接觸并且檢測(cè)可能與突出長(zhǎng)度長(zhǎng)的第二檢測(cè)部碰撞的對(duì)象物，并通過(guò)映射框架等的適當(dāng)?shù)膭?dòng)作，防止對(duì)象物和第二檢測(cè)部的碰撞。另外，通過(guò)使第一凸部和第二凸部在第三方向上的位置相同，能夠最大限度地運(yùn)用尺寸小的對(duì)象物的容器的開(kāi)口寬度來(lái)擴(kuò)大第二凸部的間隔，能夠擴(kuò)大對(duì)象物的突出容許范圍。
9、另外，例如，本公開(kāi)的第二觀點(diǎn)提供一種映射裝置，其檢測(cè)能夠沿著第一方向以規(guī)定間隔容納多個(gè)對(duì)象物的容器內(nèi)的所述對(duì)象物的容納狀態(tài)，其中，具有：
10、映射框架，其能夠沿與所述第一方向及所述第一方向大致垂直的第二方向移動(dòng)；
11、第一檢測(cè)部，其具有一對(duì)第一凸部和第一傳感器部，所述一對(duì)第一凸部在所述第二方向上從所述映射框架突出第一長(zhǎng)度，且在與所述第一方向及所述第二方向大致垂直的第三方向上隔開(kāi)第一間隔而配置，所述第一傳感器部設(shè)置于所述一對(duì)第一凸部的各前端附近；以及
12、第二檢測(cè)部，其具有一對(duì)第二凸部和第二傳感器部，且在所述第一方向上配置于相對(duì)于所述第一檢測(cè)部以規(guī)定距離而不同的位置，所述一對(duì)第二凸部在所述第二方向上從所述映射框架突出比所述第一長(zhǎng)度長(zhǎng)的第二長(zhǎng)度，且在所述第三方向上隔開(kāi)比第一間隔窄的第二間隔而配置，所述第二傳感器部設(shè)置于所述一對(duì)第二凸部的各前端附近。
13、本公開(kāi)的第二觀點(diǎn)的映射裝置與第一觀點(diǎn)的映射裝置同樣，具有相對(duì)于對(duì)象物的重疊方向即第一方向配置于以規(guī)定距離而不同的位置的第一檢測(cè)部和第二檢測(cè)部，第二凸部的突出長(zhǎng)度(第二長(zhǎng)度)比第一凸部的突出長(zhǎng)度(第一長(zhǎng)度)長(zhǎng)。第一檢測(cè)部因?yàn)橥怀鲩L(zhǎng)度短，所以能夠避免與從容器突出的對(duì)象物的接觸并且檢測(cè)可能與突出長(zhǎng)度長(zhǎng)的第二檢測(cè)部碰撞的對(duì)象物，并通過(guò)映射框架等的適當(dāng)?shù)膭?dòng)作，防止對(duì)象物和第二檢測(cè)部的碰撞。另外，通過(guò)使第二凸部的第二間隔比第一凸部的第一間隔窄，避免容納尺寸小的對(duì)象物的容器的第一方向上表面和第一凸部的從上方觀察時(shí)的重復(fù)，第二凸部能夠沿上下方向通過(guò)容器的上表面，能夠?qū)⒂成淇蚣艿囊苿?dòng)簡(jiǎn)化。
14、另外，例如也可以是，所述第一方向?yàn)橄路较颍龅谝粰z測(cè)部配置于比所述第二檢測(cè)部以所述規(guī)定距離靠下方，
15、也可以是，所述第一方向?yàn)樯戏较颍龅谝粰z測(cè)部配置于比所述第二檢測(cè)部以所述規(guī)定距離靠上方。
16、在本公開(kāi)的映射裝置中，第一方向能夠設(shè)為任意的方向，但例如能夠適宜地應(yīng)用于檢測(cè)時(shí)的映射框架的移動(dòng)方向即第一方向?yàn)橄路较蚧蛏戏较虻挠成溲b置。
17、另外，例如也可以是，本公開(kāi)的映射裝置具有存儲(chǔ)部，所述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)由所述第二檢測(cè)部進(jìn)行的所述對(duì)象物的檢測(cè)結(jié)果。
18、第二檢測(cè)部能夠檢測(cè)容納在容器內(nèi)的對(duì)象物的數(shù)量、位置等，并且檢測(cè)對(duì)象物是否正常地容納在容器內(nèi)，因此，通過(guò)具有存儲(chǔ)其檢測(cè)結(jié)果的存儲(chǔ)部，裝載端口裝置等裝置能夠在檢測(cè)后容易地利用第二檢測(cè)部的檢測(cè)結(jié)果。
19、另外，例如也可以是，本公開(kāi)的映射裝置具有移動(dòng)控制部，所述移動(dòng)控制部在輸入有所述對(duì)象物的由所述第一檢測(cè)部進(jìn)行的檢測(cè)結(jié)果即第一檢測(cè)結(jié)果，且所述第一檢測(cè)結(jié)果表示由所述第一傳感器部進(jìn)行的所述對(duì)象物的檢測(cè)的情況下，從由所述第一傳感器部進(jìn)行的所述對(duì)象物的檢測(cè)時(shí)起算并在所述映射框架移動(dòng)所述規(guī)定距離之前，停止所述映射框架的移動(dòng)。
20、通過(guò)這樣的移動(dòng)控制部的動(dòng)作，即使在容納的對(duì)象物大的容器中存在突出量大的對(duì)象物的情況下，也可以在第二檢測(cè)部與對(duì)象物碰撞之前阻止映射框架的移動(dòng)。此外，除了阻止映射框架的移動(dòng)的移動(dòng)控制部以外，還考慮將映射框架的移動(dòng)低速化、或改變移動(dòng)方法方向的移動(dòng)控制部。
21、另外，例如也可以是，本公開(kāi)的映射裝置具有第三檢測(cè)部，所述第三檢測(cè)部從所述容器的與所述第一方向平行的容器中心軸至檢測(cè)位置的最短距離比第一檢測(cè)部及第二檢測(cè)部長(zhǎng)。
22、這樣的映射裝置在假設(shè)存在以大到甚至可能與第一檢測(cè)部碰撞的程度突出的對(duì)象物的情況下，通過(guò)第三檢測(cè)部檢測(cè)該對(duì)象物，并控制映射框架的移動(dòng)，能夠防止對(duì)象物和第一及第二檢測(cè)部的碰撞。
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【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種映射裝置，其中，
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的映射裝置，其中，
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的映射裝置，其中，
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的映射裝置，其中，
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的映射裝置，其中，
6.一種裝載端口裝置，其中，
7.一種映射裝置，其中，
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的映射裝置，其中，
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的映射裝置，其中，
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的映射裝置，其中，
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的映射裝置，其中，
12.一種裝載端口裝置，其中，
【技術(shù)特征摘要】
1.一種映射裝置，其中，
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的映射裝置，其中，
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的映射裝置，其中，
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的映射裝置，其中，
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的映射裝置，其中，
6.一種裝載端口裝置，其中，
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【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：小番達(dá)裕，菅原城，阿部知史，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：TDK株式會(huì)社，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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