【技術實現(xiàn)步驟摘要】
技術介紹
1、本公開涉及一種帶電粒子儀器，諸如透射電子顯微鏡(tem)、掃描透射電子顯微鏡(stem)、掃描電子顯微鏡(sem)和/或聚焦離子束(fib)儀器等。該儀器典型地具有試樣室，試樣在操作(例如，成像、銑削等)期間被設置在該試樣室中。帶電粒子(諸如電子)被引導到試樣以對試樣執(zhí)行操作。儀器的性能可能受到該儀器所位于的環(huán)境的影響。
技術實現(xiàn)思路
1、帶電粒子儀器是高度敏感的，并且儀器的性能可能受到環(huán)境方面的影響。例如，儀器附近的周圍噪聲和溫度波動可能影響儀器。大多數(shù)儀器位于調整房間內(nèi)以控制溫度和周圍噪聲。然而，精確地調整整個房間的溫度可能是昂貴的。因此，本公開提供一種用于減少溫度波動對帶電粒子儀器的影響的結構，從而允許放寬房間溫度控制要求和/或提高帶電粒子儀器的性能。
2、在一個實施方式中，帶電粒子儀器系統(tǒng)包括帶電粒子儀器、儀器外殼和熱調節(jié)系統(tǒng)。該帶電粒子儀器包括真空外殼和設置在真空外殼內(nèi)的帶電粒子源。帶電粒子源被配置為產(chǎn)生帶電粒子束，該帶電粒子束沿著軸傳播并且與試樣相互作用。儀器外殼限定內(nèi)部體積并且被配置為在其中接收帶電粒子儀器的至少一部分。熱調節(jié)系統(tǒng)包括溫度調整器，該溫度調整器與帶電粒子儀器熱連通以調整帶電粒子儀器的溫度，并且與儀器外殼熱連通以調整儀器外殼的內(nèi)部體積內(nèi)的空氣的溫度。
3、在另一實施方式中，帶電粒子儀器系統(tǒng)包括帶電粒子儀器、被配置為接收帶電粒子儀器的至少一部分的儀器外殼和熱調節(jié)系統(tǒng)。帶電粒子儀器包括真空外殼、設置在真空外殼內(nèi)的帶電粒子
4、在又一實施方式中，用于與具有熱調節(jié)系統(tǒng)的帶電粒子儀器一起使用的儀器外殼包括多個表面，該多個表面限定儀器外殼的內(nèi)部體積，該內(nèi)部體積被配置為在其中接收儀器的至少一部分。熱交換器被設置在內(nèi)部體積內(nèi)。該熱交換器被配置為流體地被耦合到帶電粒子儀器的熱調節(jié)系統(tǒng)，使得帶電粒子儀器的熱調節(jié)系統(tǒng)被配置為調整內(nèi)部體積內(nèi)的空氣的溫度。
5、考慮到具體實施方式和附圖，本公開的其他方面將變得明顯。
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1.一種帶電粒子儀器系統(tǒng)，所述帶電粒子儀器系統(tǒng)包括：
2.根據(jù)權利要求1所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，所述帶電粒子儀器系統(tǒng)進一步包括電子控制器，所述電子控制器被配置為控制帶電粒子儀器的操作，其中，所述電子控制器被熱耦合到所述溫度調整器以由所述溫度調整器冷卻。
3.根據(jù)權利要求1所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，其中，所述外殼是被配置為減小周圍噪聲對所述帶電粒子儀器的影響的聲學外殼。
4.根據(jù)權利要求1所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，其中，所述熱調節(jié)系統(tǒng)使工作流體在所述溫度調整器、設置在所述儀器外殼內(nèi)的熱交換器和所述帶電粒子儀器之間循環(huán)。
5.根據(jù)權利要求4所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，其中，所述熱調節(jié)系統(tǒng)包括控制器，所述控制器被配置為基于所述儀器外殼內(nèi)的空氣的期望溫度和外殼內(nèi)的空氣的檢測溫度來調整所述工作流體的溫度。
6.根據(jù)權利要求4所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，其中，所述工作流體是水。
7.根據(jù)權利要求4所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，其中，所述儀器外殼內(nèi)的熱交換器包括翅片管熱交換器。
8.一種帶電粒子儀器系統(tǒng)，所述帶電粒子儀器系統(tǒng)包括
9.根據(jù)權利要求8所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，其中，所述熱調節(jié)系統(tǒng)包括：
10.根據(jù)權利要求9所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，其中，所述冷卻器獨立于所述儀器外殼內(nèi)的空氣的溫度被控制。
11.根據(jù)權利要求9所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，其中，設置在所述儀器外殼內(nèi)的所述熱交換器包括翅片管熱交換器。
12.根據(jù)權利要求9所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，其中，所述熱交換器是多個熱交換器中的第一熱交換器。
13.根據(jù)權利要求9所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，其中，所述工作流體包括水。
14.根據(jù)權利要求9所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，其中，設置在所述儀器外殼內(nèi)的所述熱交換器被設置在所述真空外殼的外部。
15.根據(jù)權利要求9所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，其中，所述熱調節(jié)系統(tǒng)限定熱回路，所述工作流體通過所述熱回路在所述冷卻器、設置在所述儀器外殼內(nèi)的所述熱交換器和所述磁性組件之間流動，并且其中設置在所述儀器外殼內(nèi)的所述熱交換器和所述磁性組件并聯(lián)地被設置在所述熱回路內(nèi)。
16.根據(jù)權利要求9所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，其中，所述儀器是透射型顯微鏡。
17.一種用于與帶電粒子儀器一起使用的儀器外殼，所述帶電粒子儀器具有熱調節(jié)系統(tǒng)，所述儀器外殼包括：
18.根據(jù)權利要求17所述的儀器外殼，其中，所述熱交換器包括翅片管熱交換器。
19.根據(jù)權利要求17所述的儀器外殼，所述儀器外殼進一步包括被配置為減小周圍噪聲對所述帶電粒子儀器的影響的聲音阻尼。
20.根據(jù)權利要求17所述的儀器外殼，其中，所述儀器外殼能改裝到所述帶電粒子儀器上。
...【技術特征摘要】
1.一種帶電粒子儀器系統(tǒng)，所述帶電粒子儀器系統(tǒng)包括：
2.根據(jù)權利要求1所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，所述帶電粒子儀器系統(tǒng)進一步包括電子控制器，所述電子控制器被配置為控制帶電粒子儀器的操作，其中，所述電子控制器被熱耦合到所述溫度調整器以由所述溫度調整器冷卻。
3.根據(jù)權利要求1所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，其中，所述外殼是被配置為減小周圍噪聲對所述帶電粒子儀器的影響的聲學外殼。
4.根據(jù)權利要求1所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，其中，所述熱調節(jié)系統(tǒng)使工作流體在所述溫度調整器、設置在所述儀器外殼內(nèi)的熱交換器和所述帶電粒子儀器之間循環(huán)。
5.根據(jù)權利要求4所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，其中，所述熱調節(jié)系統(tǒng)包括控制器，所述控制器被配置為基于所述儀器外殼內(nèi)的空氣的期望溫度和外殼內(nèi)的空氣的檢測溫度來調整所述工作流體的溫度。
6.根據(jù)權利要求4所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，其中，所述工作流體是水。
7.根據(jù)權利要求4所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，其中，所述儀器外殼內(nèi)的熱交換器包括翅片管熱交換器。
8.一種帶電粒子儀器系統(tǒng)，所述帶電粒子儀器系統(tǒng)包括：
9.根據(jù)權利要求8所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，其中，所述熱調節(jié)系統(tǒng)包括：
10.根據(jù)權利要求9所述的帶電粒子儀器系統(tǒng)，其中，所述冷卻器獨立于所述儀器外殼內(nèi)的空氣的溫度被控制。
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【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：R·范阿勒貝克，R·拉默斯，
申請(專利權)人：FEI公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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