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【技術實現(xiàn)步驟摘要】
本申請的實施例涉及光學器件及其制造方法。
技術介紹
1、電信號和處理是一種用于信號傳輸和處理的技術。近年來,特別是由于用于信號傳輸?shù)墓饫w相關應用的使用,光信號和處理在越來越多的應用中得到了使用。
2、光信號和處理通常與電信號和處理相結合,以提供全面的應用。例如,光纖可以用于長程信號傳輸,電信號可以用于短程信號傳輸以及處理和控制。因此,形成了集成長程光學組件和短程電子組件的器件,用于光信號和電信號之間的轉換,以及光信號和電信號的處理。因此,封裝件可以包括具有光學器件的光學(光子)管芯,和具有電子器件的電子管芯。
技術實現(xiàn)思路
1、根據(jù)本申請實施例的一個方面,提供了一種制造光學器件的方法,所述方法包括:形成第一光學封裝件;以及將所述第一光學封裝件接合至第一玻璃中介層。
2、根據(jù)本申請實施例的另一個方面,提供了一種制造光學器件的方法,所述方法包括:形成穿過中介層的玻璃材料的貫穿通孔;在所述玻璃材料上方形成第一再分布層,所述第一再分布層包括導電組件和光學組件;將第一光學器件接合至所述第一再分布層上;以及將激光器管芯接合至所述第一再分布層。
3、根據(jù)本申請實施例的又一個方面,提供了一種光學器件,包括:第一中介層,包括延伸穿過第一玻璃材料的貫穿通孔;以及第一光學器件,接合至所述第一中介層。
【技術保護點】
1.一種制造光學器件的方法,所述方法包括:
2.根據(jù)權利要求1所述的方法,還包括:將激光器管芯接合至所述第一玻璃中介層。
3.根據(jù)權利要求2所述的方法,其中,所述第一光學封裝件包括與所述激光器管芯的輸出對準的多芯邊緣耦合器。
4.根據(jù)權利要求2所述的方法,其中,所述激光器管芯通過所述第一玻璃中介層光學地耦合至所述第一光學封裝件。
5.一種制造光學器件的方法,所述方法包括:
6.根據(jù)權利要求5所述的方法,其中,所述接合所述第一光學器件包括電介質對電介質和金屬對金屬的接合工藝。
7.根據(jù)權利要求5所述的方法,其中,所述接合所述第一光學器件包括回流導電凸塊。
8.一種光學器件,包括:
9.根據(jù)權利要求8所述的光學器件,其中,所述第一光學器件是第一光學封裝件。
10.根據(jù)權利要求8所述的光學器件,還包括:激光器管芯,接合至所述第一中介層,所述激光器管芯通過所述第一中介層光學地連接至所述第一光學器件。
【技術特征摘要】
1.一種制造光學器件的方法,所述方法包括:
2.根據(jù)權利要求1所述的方法,還包括:將激光器管芯接合至所述第一玻璃中介層。
3.根據(jù)權利要求2所述的方法,其中,所述第一光學封裝件包括與所述激光器管芯的輸出對準的多芯邊緣耦合器。
4.根據(jù)權利要求2所述的方法,其中,所述激光器管芯通過所述第一玻璃中介層光學地耦合至所述第一光學封裝件。
5.一種制造光學器件的方法,所述方法包括:
6.根據(jù)權利要求5所...
【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員:余振華,夏興國,曾智偉,吳俊毅,巢瑞麟,
申請(專利權)人:臺灣積體電路制造股份有限公司,
類型:發(fā)明
國別省市:
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