【技術實現步驟摘要】
本說明書實施例涉及半導體制造，尤其涉及一種光罩吸具。
技術介紹
1、在半導體制造過程中，通過將光罩放置在光刻設備內部，進行曝光、光刻等工藝。
2、當光刻設備出現意外或者故障，無法正常工作時，通常由人工手動取出遺留在光刻設備內部的光罩。
3、然而，由于光刻設備內部空間狹小，難以容納人手操作，采用人工手動方式的效率低，且可能對光罩或其他零部件造成損傷。
技術實現思路
1、有鑒于此，本說明書實施例提供一種光罩吸具，能夠提高光罩的取出效率，且能避免損傷光罩或其他零部件。
2、本說明書實施例提供一種光罩吸具，包括：吸附組件和控制組件，其中：
3、所述控制組件，與所述吸附組件耦接，適于響應于吸附控制信號，抽吸所述吸附組件中的氣體，形成負壓環境；
4、所述吸附組件，適于在負壓環境下，吸附光罩。
5、可選地，所述控制組件，還適于響應于泄放控制信號，泄放從所述吸附組件中抽吸的氣體，形成常壓環境。
6、可選地，所述光罩吸具還包括：設置于所述控制組件和吸附組件之間的延長桿，所述延長桿內部形成有腔體。
7、可選地，控制組件包括：
8、底座；
9、抽吸件，容置于所述底座內，適于與電源電連接，并響應于所述吸附控制信號，抽吸氣體；以及響應于所述泄放控制信號，泄放氣體；
10、手持部，與所述底座連接，其上設置有控制開關，所述控制開關與所述抽吸件連接，具有第一狀態和第二狀態，當處于所述
11、真空管路，穿設于所述延長桿中的腔體，且其第一端與所述抽吸件連接，其第二端與所述吸附組件連接。
12、可選地，所述抽吸件為真空泵。
13、可選地，所述延長桿上設置有連接孔，所述連接孔靠近所述延長桿的第一端；
14、所述吸附組件包括第一支架和吸附部，其中：
15、所述第一支架，具有相對的第一表面和第二表面，所述第一表面與所述延長桿的第一端連接，所述第二表面與所述吸附部連接；
16、所述吸附部，通過所述連接孔與所述控制組件的真空管路連接，形成抽吸通道。
17、可選地，所述吸附部包括：第二支架，吸附件和連接件，其中：
18、所述第二支架，具有相對的第三表面和第四表面，所述第三表面與所述第一支架的第二表面連接；
19、所述吸附件，與所述第二支架固定連接，包括吸附面，所述吸附面上設置有吸附孔；
20、所述連接件，設置于所述吸附件上，且具有中空結構，以貫通所述吸附孔與所述真空管路。
21、可選地，所述吸附部還包括：多個連通管路和多個所述吸附件，多個所述吸附件相對設置于所述第二支架的兩側，其中同一側設置有至少兩個吸附件，位于所述第二支架不同側的吸附件分別通過相應的連通管路連接。
22、可選地，設置于所述第二支架同一側的吸附件沿延伸方向設置；
23、相對設置于所述第二支架兩側且處于對角位置的吸附件分別通過相應的連通管路連接。
24、可選地，所述光罩吸具還包括：彈性件，耦接于所述第一支架和所述第二支架之間。
25、可選地，所述光罩吸具還包括：多個密封件，設置于各吸附件的吸附面上。
26、可選地，所述光罩吸具還包括：位姿調節組件，穿設于所述延長桿的腔體，并與所述控制組件和抽吸組件可轉動連接，適于調節所述抽吸組件與所述延長桿的相對位姿。
27、可選地，所述位姿調節組件包括：傳動桿、連接件和轉動件，其中：
28、所述連接件，其第一端與所述傳動桿的第一端連接，其第二端與所述轉動件的第一端連接；
29、所述傳動桿，其第一端與所述底座固定連接，其第二端與所述連接件固定連接；
30、所述轉動件，其第二端與所述抽吸組件連接。
31、采用本說明書實施例提供的光罩吸具，響應于吸附控制信號，控制組件能夠抽吸吸附組件中的氣體，形成負壓環境，從而能夠在吸附組件和光罩之間產生吸附力，使得所述吸附組件能夠吸附光罩，能夠用于將所述光罩從光刻設備中取出，相較于人工手動方式，本說明實施例中的光罩吸具通過吸附組件，更易進入光刻設備內部空間，且操作簡便，從而能夠提高光罩的取出效率，并且光罩取出過程中，人手無須接觸光罩或其他零部件，能夠避免損傷光罩或其他零部件。
32、進一步地，由于控制組件還適于響應于泄放控制信號，泄放從所述吸附組件中抽吸的氣體，形成常壓環境；而吸附組件，還適于在常壓環境下，釋放所述光罩，因此，通過二者間的配合操作，能夠將光罩放置在合適的位置，避免光罩受到損傷。
33、進一步地，由于光罩吸具還可以包括設置于所述控制組件和吸附組件之間的延長桿，所述延長桿內部形成有腔體，因此通過所述延長桿，能夠調整光罩吸具的長度，增大控制組件和吸附組件間的距離，使得光罩吸具能夠適用于不同類型的光刻設備，普適性強。
34、進一步地，延長桿上設置有連接孔，所述連接孔靠近所述延長桿的第一端；吸附組件包括第一支架和吸附部，其中所述吸附部可以通過所述連接孔與所述控制組件的真空管路連接，形成抽吸通道。通過采用上述結構的吸附組件，通過第一支架連接吸附部與延長桿，能夠降低傳遞至吸附部的抖動力，使得吸附部始終處于穩定狀態，避免光罩從吸附部脫離，提高光罩取出過程中的穩定性，并且吸附部通過連接孔與真空管路形成抽吸通道可以位于腔體內，能夠保證氣體抽吸過程的連續性。
35、進一步地，由于所述吸附部還可以包括多個連通管路和多個所述吸附件，多個所述吸附件相對設置于所述第二支架的兩側，且同一側設置有至少兩個吸附件，位于所述第二支架不同側的吸附件分別通過相應的連通管路連接，能夠實現不同抽吸通道間的獨立運行，即使其中一個抽吸通道的工作狀態異常，處于對角位置的至少兩個吸附件也能夠在吸附面產生相對均勻的吸附力，仍能夠吸附光罩，因而能夠提高所述光罩吸具的可靠性。
36、進一步地，光罩吸具還可以包括：彈性件，耦接于所述第一支架和所述第二支架之間，由于所述彈性件起到緩沖作用，能夠降低光罩吸附過程中的震動，使得吸附件的吸附面能夠更加緊密的貼合光罩表面，進一步提高所述光罩吸具的可靠性。
37、進一步地，光罩吸具還可以包括：多個密封件，設置于各吸附件的吸附面上，通過多個密封件，能夠提高各吸附面的真空密閉性，增大各吸附面與光罩間的吸附力，使得光罩吸具具有更強的吸附性。
38、進一步地，由于光罩吸具還包括：位姿調節組件，穿設于所述延長桿的腔體，并與所述控制組件和抽吸組件可轉動連接，通過所述位姿調節組件，能夠調節所述抽吸組件與所述延長桿的相對位姿，因而使得光罩吸具能夠適應不同的使用環境或者具有復雜結構的光刻設備，具有更強的靈活性和普適性。
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1.一種光罩吸具，其特征在于，包括：吸附組件和控制組件，其中：
2.根據權利要求1所述的光罩吸具，其特征在于，所述控制組件，還適于響應于泄放控制信號，泄放從所述吸附組件中抽吸的氣體，形成常壓環境；
3.根據權利要求2所述的光罩吸具，其特征在于，還包括：設置于所述控制組件和吸附組件之間的延長桿，所述延長桿內部形成有腔體。
4.根據權利要求3所述的光罩吸具，其特征在于，所述控制組件包括：
5.根據權利要求4所述的光罩吸具，其特征在于，所述抽吸件為真空泵。
6.根據權利要求5所述的光罩吸具，其特征在于，所述延長桿上設置有連接孔，所述連接孔靠近所述延長桿的第一端；
7.根據權利要求6所述的光罩吸具，其特征在于，所述吸附部包括：第二支架，吸附件和連接件，其中：
8.根據權利要求7所述的光罩吸具，其特征在于，所述吸附部還包括：多個連通管路和多個所述吸附件，多個所述吸附件相對設置于所述第二支架的兩側，其中同一側設置有至少兩個吸附件，位于所述第二支架不同側的吸附件分別通過相應的連通管路連接。
9.根據
10.根據權利要求7-9任一項所述的光罩吸具，其特征在于，還包括：彈性件，耦接于所述第一支架和所述第二支架之間。
11.根據權利要求7-9任一項所述的光罩吸具，其特征在于，還包括：多個密封件，設置于各吸附件的吸附面上。
12.根據權利要求4所述的光罩吸具，其特征在于，還包括：位姿調節組件，穿設于所述延長桿的腔體，并與所述控制組件和抽吸組件可轉動連接，適于調節所述抽吸組件與所述延長桿的相對位姿。
13.根據權利要求12所述的光罩吸具，其特征在于，所述位姿調節組件包括：傳動桿、連接件和轉動件，其中：
...【技術特征摘要】
1.一種光罩吸具，其特征在于，包括：吸附組件和控制組件，其中：
2.根據權利要求1所述的光罩吸具，其特征在于，所述控制組件，還適于響應于泄放控制信號，泄放從所述吸附組件中抽吸的氣體，形成常壓環境；
3.根據權利要求2所述的光罩吸具，其特征在于，還包括：設置于所述控制組件和吸附組件之間的延長桿，所述延長桿內部形成有腔體。
4.根據權利要求3所述的光罩吸具，其特征在于，所述控制組件包括：
5.根據權利要求4所述的光罩吸具，其特征在于，所述抽吸件為真空泵。
6.根據權利要求5所述的光罩吸具，其特征在于，所述延長桿上設置有連接孔，所述連接孔靠近所述延長桿的第一端；
7.根據權利要求6所述的光罩吸具，其特征在于，所述吸附部包括：第二支架，吸附件和連接件，其中：
8.根據權利要求7所述的光罩吸具，其特征在于，所述吸附部還包括：多個連通...
【專利技術屬性】
技術研發人員：余先勇，李超，周國棟，楊佳斐，陳陽，張勇，
申請(專利權)人：浙江創芯集成電路有限公司，
類型：發明
國別省市：
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