本發(fā)明專利技術公開的屬于安裝調(diào)試技術領域，具體為一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺，其包括底板和安裝調(diào)試臺，所述底板的正上方設有安裝調(diào)試臺，還包括：用于對安裝調(diào)試臺的位置進行調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)組件，且調(diào)節(jié)組件設在底板和安裝調(diào)試臺之間；所述調(diào)節(jié)組件包括：用于帶動安裝調(diào)試臺進行旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)組件，且旋轉(zhuǎn)組件設在底板的頂部上；用于帶動安裝調(diào)試臺進行升降的升降組件，且升降組件設在旋轉(zhuǎn)組件上，本發(fā)明專利技術具有能夠?qū)崿F(xiàn)在對干法刻蝕機安裝調(diào)試時，無需人員圍繞干法刻蝕機進行走動，不僅提高了便捷性，還在一定程度上降低了人員的勞動強度。
【技術實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術涉及安裝調(diào)試，具體為一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺。
技術介紹
1、干法刻蝕機是一種用于材料表面處理的設備，主要用于半導體制造和微電子
干法刻蝕機通過等離子體技術實現(xiàn)材料的刻蝕，具有高精度和高效率的特點。目前在干法刻蝕機投入使用時，通常會將其放置在安裝調(diào)試平臺上進行安裝調(diào)試，以確保干法刻蝕機能夠正常使用。
2、但是現(xiàn)有的安裝調(diào)試平臺無法對干法刻蝕機的位置進行調(diào)節(jié)，這就導致在對干法刻蝕機進行安裝調(diào)試時，需要人員圍繞安裝調(diào)試平臺進行走動，從而會在一定程度上提高人員的勞動強度，便捷性低。因此，專利技術一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺。
技術實現(xiàn)思路
1、鑒于上述和/或現(xiàn)有一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺中存在的問題，提出了本專利技術。
2、因此，本專利技術的目的是提供一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺，能夠解決上述提出現(xiàn)有的問題。
3、為解決上述技術問題，根據(jù)本專利技術的一個方面，本專利技術提供了如下技術方案：
4、一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺，其包括底板和安裝調(diào)試臺，所述底板的正上方設有安裝調(diào)試臺，還包括：
5、用于對安裝調(diào)試臺的位置進行調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)組件，且調(diào)節(jié)組件設在底板和安裝調(diào)試臺之間；
6、所述調(diào)節(jié)組件包括：
7、用于帶動安裝調(diào)試臺進行旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)組件，且旋轉(zhuǎn)組件設在底板的頂部上；
8、用于帶動安裝調(diào)試臺進行升降的升降組件，且升降組件設在旋轉(zhuǎn)組件上。
9、作為本專利技術所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺的一種優(yōu)選方案，其中：所述旋轉(zhuǎn)組件包括：
10、第一箱體，所述第一箱體固定安裝在底板的頂部左側(cè)上；
11、第一伺服電機，所述第一伺服電機固定安裝在第一箱體中。
12、作為本專利技術所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺的一種優(yōu)選方案，其中：所述旋轉(zhuǎn)組件還包括：
13、支撐板，所述第一伺服電機的輸出軸固定安裝支撐板；
14、環(huán)形板，所述環(huán)形板固定安裝在底板的頂部左側(cè)上，且環(huán)形板與支撐板相接觸。
15、作為本專利技術所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺的一種優(yōu)選方案，其中：所述升降組件包括：
16、第一側(cè)板，所述支撐板和所述安裝調(diào)試臺的相對端兩側(cè)均固定安裝兩組第一側(cè)板；
17、第一螺桿，所述第一螺桿通過軸承轉(zhuǎn)動連接在兩組第一側(cè)板之間，且第一螺桿自中部開始其兩端的螺紋方向設置成相反；
18、第一滑塊，所述第一螺桿的兩端均螺紋連接第一滑塊；
19、x形桿，四組所述第一滑塊之間設有x形桿。
20、作為本專利技術所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺的一種優(yōu)選方案，其中：所述升降組件還包括：
21、第一導向桿，所述第一導向桿固定安裝在兩組第一側(cè)板之間，且第一滑塊滑動連接在第一導向桿上；
22、第一步進電機，所述第一步進電機固定安裝在一組第一側(cè)板上，且第一步進電機的輸出軸與第一螺桿固定連接。
23、作為本專利技術所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺的一種優(yōu)選方案，其中：所述x形桿是由兩組活動桿呈x形排列組成的，兩組所述活動桿的中部通過銷軸轉(zhuǎn)動連接在一起，且活動桿的端部活動連接在第一滑塊上。
24、作為本專利技術所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺的一種優(yōu)選方案，其中：還包括：
25、用于將干法刻蝕機固定在安裝調(diào)試臺上的夾持組件，且夾持組件設在安裝調(diào)試臺的頂部上。
26、作為本專利技術所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺的一種優(yōu)選方案，其中：所述夾持組件包括：
27、第二側(cè)板，所述安裝調(diào)試臺的頂部兩端均固定安裝兩組第二側(cè)板；
28、第二螺桿，所述第二螺桿通過軸承轉(zhuǎn)動連接在兩組第二側(cè)板之間，且第二螺桿自中部開始其兩端的螺紋方向設置成相反；
29、第二滑塊，所述第二螺桿的兩端均螺紋連接第二滑塊；
30、第二導向桿，所述第二導向桿固定安裝在兩組第二側(cè)板之間，且第二滑塊滑動連接在第二導向桿上；
31、第二步進電機，所述第二步進電機固定安裝在一組第二側(cè)板上，且第二步進電機的輸出軸與第二螺桿固定連接；
32、盒體，所述盒體固定安裝在第二滑塊的側(cè)面上；
33、氣缸，所述氣缸固定安裝在盒體中；
34、擠壓板，所述氣缸通過活塞桿固定安裝擠壓板。
35、作為本專利技術所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺的一種優(yōu)選方案，其中：還包括：
36、便于將干法刻蝕機置于安裝調(diào)試臺上的支架，且支架設在底板的頂部右側(cè)上。
37、作為本專利技術所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺的一種優(yōu)選方案，其中：所述支架包括：
38、方板，所述底板的頂部右側(cè)兩端均固定安裝方板；
39、轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸通過軸承轉(zhuǎn)動連接在兩組方板之間；
40、承載板，所述承載板固定安裝在轉(zhuǎn)軸上；
41、球形槽，所述承載板的頂端開設有若干球形槽；
42、鋼球，所述鋼球活動連接在球形槽中，且鋼球的頂端位于承載板的上方；
43、第二箱體，所述第二箱體固定安裝在一組方板上；
44、第二伺服電機，所述第二伺服電機固定安裝在第二箱體中，且第二伺服電機的輸出軸與轉(zhuǎn)軸固定連接。
45、與現(xiàn)有技術相比：
46、1.通過設置調(diào)節(jié)組件，具有能夠?qū)崿F(xiàn)對安裝調(diào)試臺的位置進行調(diào)節(jié)的作用，通過對安裝調(diào)試臺的位置進行調(diào)節(jié)，進而能夠?qū)崿F(xiàn)在對干法刻蝕機安裝調(diào)試時，無需人員圍繞干法刻蝕機進行走動，不僅提高了便捷性，還在一定程度上降低了人員的勞動強度；
47、2.通過設置夾持組件，具有能夠?qū)崿F(xiàn)將干法刻蝕機固定在安裝調(diào)試臺上的作用，通過將干法刻蝕機固定在安裝調(diào)試臺上，進而能夠避免干法刻蝕機出現(xiàn)掉落等現(xiàn)象，在一定程度上提高了安全性，此外，所設置的夾持組件，還能夠?qū)Χ喾N尺寸的干法刻蝕機進行固定；
48、3.通過設置支架，具有能夠?qū)崿F(xiàn)便于將干法刻蝕機置于安裝調(diào)試臺上的作用，通過便于將干法刻蝕機置于安裝調(diào)試臺上，進而能夠在一定程度上降低人員的勞動強度。
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【技術保護點】
1.一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺，包括底板(10)和安裝調(diào)試臺(20)，所述底板(10)的正上方設有安裝調(diào)試臺(20)，其特征在于，還包括：
2.根據(jù)權利要求1所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)組件包括：
3.根據(jù)權利要求2所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)組件還包括：
4.根據(jù)權利要求3所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺，其特征在于，所述升降組件包括：
5.根據(jù)權利要求4所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺，其特征在于，所述升降組件還包括：
6.根據(jù)權利要求5所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺，其特征在于，所述X形桿(45)是由兩組活動桿呈X形排列組成的，兩組所述活動桿的中部通過銷軸轉(zhuǎn)動連接在一起，且活動桿的端部活動連接在第一滑塊(42)上。
7.根據(jù)權利要求1所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺，其特征在于，還包括：
8.根據(jù)權利要求7所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺，其特征在于，所述夾持組件包括：>
9.根據(jù)權利要求1所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺，其特征在于，還包括：
10.根據(jù)權利要求9所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺，其特征在于，所述支架包括：
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【技術特征摘要】
1.一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺，包括底板(10)和安裝調(diào)試臺(20)，所述底板(10)的正上方設有安裝調(diào)試臺(20)，其特征在于，還包括：
2.根據(jù)權利要求1所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)組件包括：
3.根據(jù)權利要求2所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)組件還包括：
4.根據(jù)權利要求3所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺，其特征在于，所述升降組件包括：
5.根據(jù)權利要求4所述的一種干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺，其特征在于，所述升降組件還包括：
6.根據(jù)權利...
【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：魏鳴峰，沈勛，邵帥帥，宗慶超，雷偉，
申請(專利權)人：合肥英仕博精密裝備有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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