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    高靜低動剛度特性的納米云臺制造技術(shù)

    技術(shù)編號:44407793 閱讀:6 留言:0更新日期:2025-02-25 10:20
    本發(fā)明專利技術(shù)公開了一種高靜低動剛度特性的納米云臺,納米云臺包括基架、輸出平臺、原子力顯微鏡探針和準(zhǔn)零剛度機(jī)構(gòu);輸出平臺沿豎直方向活動安裝在基架上;原子力顯微鏡探針安裝在輸出平臺上;準(zhǔn)零剛度機(jī)構(gòu)包括第一安裝塊、第二安裝塊和準(zhǔn)零剛度單元,準(zhǔn)零剛度單元安裝在第一安裝塊和第二安裝塊之間,第一安裝塊用于連接基架,第二安裝塊用于連接輸出平臺;準(zhǔn)零剛度單元包括正剛度機(jī)構(gòu)與負(fù)剛度機(jī)構(gòu),正剛度機(jī)構(gòu)用于向輸出平臺施加支持力,負(fù)剛度機(jī)構(gòu)沿水平方向設(shè)置且被配置為在正剛度機(jī)構(gòu)向輸出平臺施加支持力時抵消正剛度機(jī)構(gòu)在豎直方向上的剛度。在納米云臺中引入準(zhǔn)零剛度結(jié)構(gòu),納米云臺獲得更低的系統(tǒng)固有頻率。

    【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

    本專利技術(shù)涉及精密儀器減振,尤其涉及高靜低動剛度特性的納米云臺


    技術(shù)介紹

    1、主/被動抑振融合的納米云臺是一種結(jié)合了主動隔振和被動隔振技術(shù)的綜合性隔振平臺,旨在提供更高效、更全面的振動控制,以滿足對振動敏感設(shè)備或系統(tǒng)的嚴(yán)格要求。

    2、為了提高傳統(tǒng)的主/被動抑制融合納米云臺共振區(qū)域的減振能力,通常采用被動隔振系統(tǒng)中增加阻尼的方法,抑制共振頻率,提高帶寬。

    3、然而,增加阻尼的減振方法減弱了被動隔振裝置在高頻段抑制振動的特性。


    技術(shù)實現(xiàn)思路

    1、本專利技術(shù)旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此,本專利技術(shù)的一個目的在于提出一種高靜低動剛度特性的納米云臺,通過引入準(zhǔn)零剛度結(jié)構(gòu),來實現(xiàn)高靜剛度,低動剛度的特性,實現(xiàn)高靜低動剛度特性的納米云臺在不損失承載能力與穩(wěn)定性的同時,獲得更低的系統(tǒng)固有頻率,由此實現(xiàn)在共振區(qū)和高頻區(qū)的抑振效果。

    2、本專利技術(shù)提出了一種高靜低動剛度特性的納米云臺,納米云臺包括基架、輸出平臺、原子力顯微鏡探針和準(zhǔn)零剛度機(jī)構(gòu);所述輸出平臺沿豎直方向活動安裝在所述基架上;所述原子力顯微鏡探針安裝在所述輸出平臺上;準(zhǔn)零剛度機(jī)構(gòu)包括第一安裝塊、第二安裝塊和準(zhǔn)零剛度單元,所述準(zhǔn)零剛度單元安裝在所述第一安裝塊和所述第二安裝塊之間,所述第一安裝塊用于連接所述基架,所述第二安裝塊用于連接所述輸出平臺;所述準(zhǔn)零剛度單元包括正剛度機(jī)構(gòu)與負(fù)剛度機(jī)構(gòu),所述正剛度機(jī)構(gòu)用于向所述輸出平臺施加支持力,所述負(fù)剛度機(jī)構(gòu)沿水平方向設(shè)置且被配置為在所述正剛度機(jī)構(gòu)向所述輸出平臺施加支持力時抵消所述正剛度機(jī)構(gòu)在所述豎直方向上的剛度。

    3、在一些實施例中,所述第一安裝塊與所述第二安裝塊沿所述豎直方向排列設(shè)置;所述正剛度機(jī)構(gòu)包括首尾相連的四個正剛度彈性件,所述正剛度彈性件連接且依次形成第一交點、第二交點、第三交點和第四交點,每個所述正剛度彈性件被配置為相對于交點轉(zhuǎn)動;所述負(fù)剛度機(jī)構(gòu)包括負(fù)剛度彈性件,所述負(fù)剛度彈性件的一端連接于所述第一交點,所述負(fù)剛度彈性件的另一端連接于所述第三交點,所述第一交點與所述第三交點之間的連線平行于所述水平方向;所述第二交點固定于所述第一安裝塊,所述第四交點固定于所述第二安裝塊。

    4、在一些實施例中,所述第二交點與所述第四交點之間的連線平行于所述豎直方向。

    5、在一些實施例中,所述準(zhǔn)零剛度單元為一體件。

    6、在一些實施例中,所述第一安裝塊與所述第二安裝塊沿所述豎直方向排列設(shè)置;所述準(zhǔn)零剛度單元包括框架,所述框架包括首尾相連的四個桁桿,相鄰兩個所述桁桿之間可轉(zhuǎn)動設(shè)置;所述正剛度機(jī)構(gòu)包括正剛度彈性件,所述正剛度彈性件設(shè)于所述框架的一條對角線處,所述正剛度彈性件的一端鉸接于所述框架的第一框架交點,所述正剛度彈性件的另一端鉸接于所述框架的第三框架交點,所述第一框架交點與所述第一安裝塊相連,所述第三框架交點與所述第二安裝塊相連;所述負(fù)剛度機(jī)構(gòu)包括負(fù)剛度彈性件,所述負(fù)剛度彈性件設(shè)于所述框架的另一條對角線處,所述負(fù)剛度彈性件的一端鉸接于所述框架的第二框架交點,所述負(fù)剛度彈性件的另一端鉸接于所述框架的第四框架交點;所述正剛度彈性件平行于所述豎直方向設(shè)置,所述負(fù)剛度彈性件平行于所述水平方向設(shè)置。

    7、在一些實施例中,所述框架的不同對角線相交形成第五框架交點;所述正剛度彈性件為兩個,一個設(shè)于所述第一框架交點與所述第五框架交點之間,另一個設(shè)于所述第三框架交點與所述第五框架交點之間;所述負(fù)剛度彈性件為兩個,一個設(shè)于所述第二框架交點與所述第五框架交點之間,另一個設(shè)于所述第四框架交點與所述第五框架交點之間。

    8、在一些實施例中,納米云臺還包括柔性板簧件,所述柔性板簧件的一端連接所述基架,所述柔性板簧件的另一端連接所述輸出平臺,所述柔性板簧件用于向所述輸出平臺施加豎直方向上的彈性力。

    9、在一些實施例中,所述第一安裝塊與所述第二安裝塊沿所述水平方向排列設(shè)置;所述正剛度機(jī)構(gòu)包括柔性板簧件,所述柔性板簧件的一端連接于所述第一安裝塊,所述柔性板簧件的另一端連接于所述第二安裝塊,所述柔性板簧件偏轉(zhuǎn)變形以施加在所述豎直方向上的彈性力;所述負(fù)剛度機(jī)構(gòu)包括負(fù)剛度彈性件,其一端連接于第一安裝塊,其另一端連接于第二安裝塊。

    10、在一些實施例中,所述第一安裝塊與所述第二安裝塊沿所述豎直方向排列設(shè)置;所述第一安裝塊內(nèi)具有安裝槽,所述第二安裝塊沿豎直方向活動設(shè)于所述安裝槽內(nèi);所述正剛度機(jī)構(gòu)包括正剛度彈性件,所述正剛度彈性件的一端連接在所述安裝槽的槽底壁上,所述正剛度彈性件的另一端連接在所述第二安裝塊的頂壁上;所述負(fù)剛度機(jī)構(gòu)包括負(fù)剛度彈性件,所述負(fù)剛度彈性件為圍繞所述第一安裝塊間隔布置的多個,每個所述負(fù)剛度彈性件的一端連接在所述安裝槽的槽周壁上,每個所述負(fù)剛度彈性件的另一端所述第二安裝塊的側(cè)周壁上;所述負(fù)剛度彈性件的延長線交匯于所述正剛度彈性件所在的直線上。

    11、在一些實施例中,納米云臺還包括硬質(zhì)彈簧件,所述硬質(zhì)彈簧件的一端連接所述基架,所述硬質(zhì)彈簧件的另一端連接所述輸出平臺,所述硬質(zhì)彈簧件用于向所述輸出平臺施加豎直方向上的彈性力。

    12、結(jié)合技術(shù)方案可以看出,本專利技術(shù)提供的實施例具有以下優(yōu)點:第一安裝塊固定連接在基架上,第二安裝塊固定連接在輸出平臺上,準(zhǔn)零剛度單元包括正剛度機(jī)構(gòu)與負(fù)剛度機(jī)構(gòu),正剛度機(jī)構(gòu)可以向輸出平臺施加支持力,即正剛度機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的支持力方向平行于豎直方向且與輸出平臺所受的重力方向相反,因此正剛度機(jī)構(gòu)增加了承載能力,靜剛度維持在較高水平;負(fù)剛度機(jī)構(gòu)沿水平方向設(shè)置,并且在正剛度機(jī)構(gòu)向輸出平臺施加支持力時負(fù)剛度機(jī)構(gòu)抵消正剛度機(jī)構(gòu)在豎直方向上的剛度,即正剛度機(jī)構(gòu)與負(fù)剛度機(jī)構(gòu)的并聯(lián),其動剛度接近于零。這意味著準(zhǔn)零剛度單元在承受靜態(tài)載荷時表現(xiàn)出較強的承載能力,而在面對動態(tài)載荷時則展現(xiàn)出較低的剛度,有利于實現(xiàn)隔振和減振效果。

    本文檔來自技高網(wǎng)...

    【技術(shù)保護(hù)點】

    1.一種高靜低動剛度特性的納米云臺,其特征在于,包括:

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高靜低動剛度特性的納米云臺,其特征在于,所述第一安裝塊與所述第二安裝塊沿所述豎直方向排列設(shè)置;

    3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高靜低動剛度特性的納米云臺,其特征在于,所述第二交點與所述第四交點之間的連線平行于所述豎直方向。

    4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高靜低動剛度特性的納米云臺,其特征在于,所述準(zhǔn)零剛度單元為一體件。

    5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高靜低動剛度特性的納米云臺,其特征在于,所述第一安裝塊與所述第二安裝塊沿所述豎直方向排列設(shè)置;

    6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的高靜低動剛度特性的納米云臺,其特征在于,所述框架的不同對角線相交形成第五框架交點;

    7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項所述的高靜低動剛度特性的納米云臺,其特征在于,還包括柔性板簧件,所述柔性板簧件的一端連接所述基架,所述柔性板簧件的另一端連接所述輸出平臺,所述柔性板簧件用于向所述輸出平臺施加豎直方向上的彈性力。

    8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高靜低動剛度特性的納米云臺,其特征在于,所述第一安裝塊與所述第二安裝塊沿所述水平方向排列設(shè)置;

    9.根據(jù)權(quán)利要求1中任一項所述的高靜低動剛度特性的納米云臺,其特征在于,所述第一安裝塊與所述第二安裝塊沿所述豎直方向排列設(shè)置;

    10.根據(jù)權(quán)利要求1-6、8-9中任一項所述的高靜低動剛度特性的納米云臺,其特征在于,還包括硬質(zhì)彈簧件,所述硬質(zhì)彈簧件的一端連接所述基架,所述硬質(zhì)彈簧件的另一端連接所述輸出平臺,所述硬質(zhì)彈簧件用于向所述輸出平臺施加豎直方向上的彈性力。

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    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種高靜低動剛度特性的納米云臺,其特征在于,包括:

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高靜低動剛度特性的納米云臺,其特征在于,所述第一安裝塊與所述第二安裝塊沿所述豎直方向排列設(shè)置;

    3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高靜低動剛度特性的納米云臺,其特征在于,所述第二交點與所述第四交點之間的連線平行于所述豎直方向。

    4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高靜低動剛度特性的納米云臺,其特征在于,所述準(zhǔn)零剛度單元為一體件。

    5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高靜低動剛度特性的納米云臺,其特征在于,所述第一安裝塊與所述第二安裝塊沿所述豎直方向排列設(shè)置;

    6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的高靜低動剛度特性的納米云臺,其特征在于,所述框架的不同對角線相交形成第五框架交點;

    7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:湯暉潘子豪李晟熙林志杭黃成思蔡煥浩
    申請(專利權(quán))人:廣東工業(yè)大學(xué)
    類型:發(fā)明
    國別省市:

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