【技術實現步驟摘要】
本專利技術是有關于一種清潔滾輪軸心，特別是用于清洗半導體晶圓或電路基板表面異物等的泡棉刷輪的清潔滾輪軸心。
技術介紹
1、為了有效率地充分清除晶圓或電路基板表面因研磨拋光而產生的微粒或碎屑，業界現行已由先前使用大量去離子水及化學溶液沖洗的方式，轉變為一并搭配清潔滾輪進行刷洗以提高效率及減少用水量的清洗方法。在不刮傷待清潔物表面前提下，清潔滾輪與待清潔物表面接觸的部分須采用軟質泡棉材料。且欲達到充分清洗效果，清潔滾輪還需具備硬質軸心結構，方可承受對清潔滾輪所施加一定強度的下壓力、水壓以及轉速，而不致使清潔滾輪形變。
2、然而，隨著所欲清洗的晶圓等尺寸放大、或制程速度增加，對清潔滾輪的下壓力、沖洗水壓以及滾輪轉速亦須一并提升，清潔滾輪在至少500rpm轉速以上時，異質的泡棉材料與軸心結構界面的附著強度往往已難以承受而容易產生相對滑動或扭曲，使清潔滾輪無法服貼待清潔物表面，影響清洗效果甚至使待清潔物損傷。
3、由于清潔用的溶液，例如去離子水，往往由滾輪軸心的一端輸入，并通過滾輪軸心內部的流道和分布于滾輪軸心表面的連通孔均勻分散地通過泡棉材料到達待清潔物表面，故滾輪軸心結構須具備特定的流道設計。但為了配合既有機臺設備，通常清潔滾輪整體尺寸并無法大幅變動，若欲在滾輪軸心結構上增加用于泡棉材料的固定結構，可能會增加滾輪軸心整體設計及制造難度。
4、故需要一種清潔滾輪軸心，可在不影響軸心主要結構與設計下，增加泡棉材料與軸心結構界面間的附著強度，使清洗制程中即使采用高下壓力、水壓及轉速，泡棉材料與軸心結構間皆
技術實現思路
1、本專利技術提供一種清潔滾輪軸心，其包含一軸體及位于軸體內的一中空內流道，在該軸體的外壁表面上具有與該中空內流道相連通地分散設置的多個通孔；以及多條溝狀結構徑向設置并延伸環繞于該軸體的外壁表面上，且該些溝狀結構具有突出于軸體的外壁表面的突出端緣；其中，該些溝狀結構的徑向延伸方向與該軸體的一軸向方向的夾角介于-80°至80°間，且具有該些溝狀結構該軸體的外壁表面的展開表面面積比(sdr)是為300％至800％且算術平均高度(sa)是介于70μm至300μm。
2、在另一實施例的清潔滾輪軸心中，該些溝狀結構的突出端緣的最大高度(sp)為介于500μm至900μm間。
3、在另一實施態樣的清潔滾輪軸心中，該軸體外壁表面的該些溝狀結構是為平行排列延伸或交錯排列延伸。
4、在另一實施例的清潔滾輪軸心中，該軸體外壁表面的該些溝狀結構交錯排列延伸時，其交錯的夾角是介于10°至45°間。
5、在另一實施例的清潔滾輪軸心中，該軸體外壁表面的該些溝狀結構延伸方向的截面形狀是為三角形、四邊形或部分弧形。
6、在另一實施例的清潔滾輪軸心中，該軸體外壁表面的該些溝狀結構的開口寬度是介于0.1mm至0.9mm間。
7、在另一實施例的清潔滾輪軸心中，該些溝狀結構的深度是介于0.35mm至1.2mm間。
8、在另一實施例的清潔滾輪軸心中，該些溝狀結構是布滿該軸體的外壁表面。
9、在另一實施例的清潔滾輪軸心中，該軸體的該中空內流道的內徑是介于9mm至22mm間。
10、在另一實施例的清潔滾輪軸心中，該軸體的該些通孔的孔徑是介于2.5mm至6mm間。
11、在另一實施例的清潔滾輪軸心中，該軸體的該中空內流道具有相對設置的一封閉端與一入口端。
12、本專利技術的清潔滾輪軸心大幅增加軸體的表面面積，以提升泡棉材料與清潔滾輪軸心的接觸面積，強化泡棉材料與清潔滾輪軸心界面間的有效附著力，使軟質的泡棉材料不因提高滾輪下壓力、水壓及轉速等因素，造成局部受力不均扭曲的缺陷。以下將以實施方式對上述的說明作詳細的描述，并對本公開的技術方案提供更進一步的解釋。
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1.一種清潔滾輪軸心，其特征在于，包含：
2.如權利要求1所述的清潔滾輪軸心，其特征在于，所述多條溝狀結構的突出端緣的最大高度(Sp)為介于500μm至900μm間。
3.如權利要求1所述的清潔滾輪軸心，其特征在于，所述多條溝狀結構是為平行排列延伸或交錯排列延伸。
4.如權利要求3所述的清潔滾輪軸心，其特征在于，所述多條溝狀結構交錯排列延伸時，其交錯的夾角是介于10°至45°間。
5.如權利要求1所述的清潔滾輪軸心，其特征在于，所述多條溝狀結構延伸方向的截面形狀是為三角形、四邊形或部分弧形。
6.如權利要求5所述的清潔滾輪軸心，其特征在于，所述多條溝狀結構的開口寬度是介于0.1mm至0.9mm間。
7.如權利要求1所述的清潔滾輪軸心，其特征在于，所述多條溝狀結構的深度是介于0.35mm至1.2mm間。
8.如權利要求1所述的清潔滾輪軸心，其特征在于，所述多條溝狀結構是布滿該軸體的外壁表面。
9.如權利要求1所述的清潔滾輪軸心，其特征在于，該中空內流道的內徑是介于9mm至22mm。>
10.如權利要求1所述的清潔滾輪軸心，其特征在于，該軸體的所述多個通孔的孔徑是介于2.5mm至6mm。
11.如權利要求1所述的清潔滾輪軸心，其特征在于，該中空內流道具有相對設置的一封閉端與一入口端。
...【技術特征摘要】
1.一種清潔滾輪軸心，其特征在于，包含：
2.如權利要求1所述的清潔滾輪軸心，其特征在于，所述多條溝狀結構的突出端緣的最大高度(sp)為介于500μm至900μm間。
3.如權利要求1所述的清潔滾輪軸心，其特征在于，所述多條溝狀結構是為平行排列延伸或交錯排列延伸。
4.如權利要求3所述的清潔滾輪軸心，其特征在于，所述多條溝狀結構交錯排列延伸時，其交錯的夾角是介于10°至45°間。
5.如權利要求1所述的清潔滾輪軸心，其特征在于，所述多條溝狀結構延伸方向的截面形狀是為三角形、四邊形或部分弧形。
6.如權利要求5所述的清潔滾輪軸心，其特征在于，所...
【專利技術屬性】
技術研發人員：徐陳平，
申請(專利權)人：碩晨生醫股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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