【技術實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術涉及靜電卡盤，特別涉及一種靜電卡盤的制備方法。
技術介紹
1、目前的大多數(shù)靜電卡盤的吸附電極設計在陶瓷內(nèi)部，在制作完成后，對于電極部分的檢查僅限于電性能以及吸附功能性質(zhì)的檢測，無法對于電極層的厚度、外觀、寬度等數(shù)據(jù)進行準確的測量。
2、現(xiàn)有技術的主要缺陷在于：在陶瓷內(nèi)部的電極層，無法通過直接測量的手段確定是否有內(nèi)部缺陷，對于靜電吸盤的使用壽命以及重復批次的穩(wěn)定性進行精確的測量、篩選與控制。
技術實現(xiàn)思路
1、本專利技術要解決的技術問題是提供一種靜電卡盤的制備方法，以解決
技術介紹
中提出的問題。
2、為了解決上述技術問題，本專利技術的技術方案為：
3、一種靜電卡盤的制備方法，所述靜電卡盤為庫侖型靜電卡盤，所述制備方法包括：
4、s1：采用機加工的方式，制備靜電卡盤基座；
5、s2：以氧化鋁粉體作為原料，一次球磨加入分散劑、陶瓷混合粉、高純度氧化鋁球磨珠以及溶劑，其中溶劑為乙醇、甲苯、二甲苯三者中的任意一種或者任意兩者及以上的混合，球磨時間大于等于48h，球磨后加入增塑劑、粘結劑后進行預混，預混時間大于等于24h，混合后再次球磨24～48h，使得充分混合，將混合得到的陶瓷漿料進行流延成型，疊層分別得到兩個疊層體；
6、s3：將上述兩個疊層體進行排膠與燒結，排膠溫度為300～600℃，在n2氛圍下進行排膠，燒結的溫度為1400℃～1450℃，燒結氣氛為h2與n2混合氣，其中h2占比為40％～90％，高溫段燒結
7、s4：通過陶瓷cnc、拋光機、磨床對第一燒結體和第二燒結體進行切圓、打孔、平行度研磨、平面度研磨、粗糙度拋光加工；
8、s5：對加工后的第一燒結體進行絲網(wǎng)印刷，電極材料為鎢漿料，絲網(wǎng)印刷的金屬漿料中包括5％～25％的陶瓷配方粉料以適配收縮率，印刷后在40～70℃溫度的烘箱中進行烘干；
9、s6：對印刷好的第一燒結體進行第二次燒結，燒結溫度為1350℃～1450℃，燒結氣氛為h2、n2混合氣，其中h2占比為40％～90％，高溫段燒結時間為6～11h，得到第三燒結體；
10、s7：將第三燒結體與第二燒結體通過高熱導的膠水進行結合，得到結合體，再將結合體與靜電卡盤基座通過熱導率匹配的膠水進行結合。
11、優(yōu)選的，若所述靜電卡盤為jr型靜電卡盤，則所述制備方法包括：
12、s1：采用機加工的方式，制備靜電卡盤基座；
13、s2：以氧化鋁粉體為原料，添加二氧化鈦材料，二氧化鈦添加量為0.4％～2.5％，一次球磨加入分散劑、陶瓷混合粉、高純度氧化鋁球磨珠以及溶劑，其中溶劑為乙醇、甲苯、二甲苯中任意一種或者任意兩種及兩種的混合，球磨時間大于等于48h，球磨后加入增塑劑、粘結劑后進行預混，預混時間大于等于24h，混合后再進行24～48h的球磨，使內(nèi)容物充分混合，將得到的陶瓷漿料進行流延成型，疊層得到疊層體；
14、s3：將疊層體進行排膠與燒結，排膠溫度為300～600℃，在n2氛圍下進行排膠，燒結溫度為1400℃～1450℃，燒結氣氛為h2與n2混合氣，其中h2占比為40％～90％，高溫段燒結時間為6～11h，得到第四燒結體；
15、s4：將第四燒結體在借助治具進行架空的情況下進行二次燒結，燒結溫度提高到1580℃～1620℃，燒結氣氛h2、n2混合氣，h2占比大于等于80％，高溫段燒結時間為10～12h，得到第五燒結體；
16、s5：通過陶瓷cnc、拋光機與磨床對第五燒結體進行切圓、打孔、平行度研磨、平面度研磨、粗糙度拋光加工；
17、s6：對加工后的第五燒結體進行絲網(wǎng)印刷，電極材料為鎢漿料，絲網(wǎng)印刷的金屬漿料中添加5％～25％的陶瓷配方粉以適配收縮率，印刷后在40～70℃的烘箱中進行烘干；
18、s7：對印刷好的第五燒結體進行三次燒結，燒結溫度為1350℃～1450℃，燒結氣氛為h2、n2混合氣，其中h2占比為40％～90％，高溫段燒結時間為6～11h，得到第六燒結體；
19、s8：將第六燒結體與靜電卡盤基座通過熱導率匹配的膠水進行結合。
20、采用上述技術方案，具有以下有益效果：
21、通過加工好的陶瓷基板進行金屬化，得到的靜電吸盤能夠更好的控制電極與上表面的平行度，同時能夠通過檢測篩選得到形貌與尺寸更穩(wěn)定的電極層，從而提高靜電卡盤的使用壽命和穩(wěn)定性。
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1.一種靜電卡盤的制備方法，其特征在于，所述靜電卡盤為庫侖型靜電卡盤，所述制備方法包括：
2.根據(jù)權利要求1所述的一種靜電卡盤的制備方法，其特征在于，若所述靜電卡盤為JR型靜電卡盤，則所述制備方法包括：
【技術特征摘要】
1.一種靜電卡盤的制備方法，其特征在于，所述靜電卡盤為庫侖型靜電卡盤，所述制備方法包括：
2.根...
【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：李君，裘祝恒，石鍺元，陳振寧，肖偉，胡淑梅，
申請(專利權)人：君原電子科技海寧有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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