【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉半導體制造，具體涉及一種爐管設備的石英點火裝置安裝治具及安裝方法。
技術介紹
1、爐管設備是半導體制造過程中用于進行熱處理的關鍵設備，主要功能是對硅片進行加熱處理，以實現氧化、擴散、沉積等工藝過程。爐管設備中的一個關鍵組件是反應管(react?tube)，用于容納硅片并將其暴露在特定的化學氣相環境中，以進行化學氣相沉積(cvd)或其他熱處理過程。反應管與點火裝置(torch)相連，點火裝置用于高溫反應產生水蒸氣并通入反應管內。點火裝置為圓柱狀管體，管道內通氣體或化學品并在特定溫度下發生反應，通常為石英材質，能夠耐受高溫并保持化學惰性。點火裝置采用加熱器(torchheater)對氣體進行加熱，加熱器可調整并控制點火裝置的溫度，以便控制反應。
2、現有技術中，如圖3、4所示，在安裝爐管設備內的點火裝置時，要求石英點火裝置出氣端6的接口61與反應管9的接口91做到密封固定，同時要保證點火裝置與加熱器7穩固連接。為了達到這一效果，安裝時需要達到出氣端接口61與反應管接口91的密封面處于平行狀態，同時保持點火裝置與側邊冷卻板8存在間隙。因此，需要在安裝過程中對反應管、點火裝置以及加熱器的角度進行多次調整。由于點火裝置是石英材質較為沉重，形狀為圓筒造型不易握持，且操作過程中需要反復調整，容易磕碰造成石英損壞，安裝效率低且容易產生損耗。
技術實現思路
1、本專利技術為了解決現有技術中的缺陷，提出了一種爐管設備的石英點火裝置安裝治具及安裝方法。
2、一種爐管設
3、優選地，所述治具的第一端在形狀尺寸上與所述石英點火裝置的進氣加熱端一致，所述治具的第二端在形狀尺寸上與所述石英點火裝置的出氣端一致。
4、優選地，所述治具采用聚四氟乙烯材質。
5、一種爐管設備的石英點火裝置安裝方法，使用上文任一項所述的石英點火裝置安裝治具代替點火裝置，包括如下步驟：
6、步驟s1：操作人員握持所述治具連接部的中間圓柱部，打開加熱器上半部，將所述治具放置于爐管設備中石英點火裝置的待安裝位置，即將所述治具的所述第一端的對應于所述圓柱進氣管的部分放置于所述加熱器中的凹槽，將所述治具的第一端與進氣通道對齊，所述第二端與反應管的接口初步對齊；
7、步驟s2：調整所述加熱器的位置，使所述治具的所述第二端對應所述管口密封面的部分與所述反應管接口平行，同時使所述治具與上方和側方的冷卻板保持一定間隙；
8、步驟s3：當所述治具的所述第二端對應所述管口密封面的部分與所述反應管接口達到平行時，調整完成，將所述加熱器位置固定；
9、步驟s4：取下所述治具，替換為所述石英點火裝置，將所述出氣端的所述管口密封面與所述反應管接口密封固定連接，所述出氣端的進氣口與設備管路連接，將所述加熱器上半部關閉，并將所述氫氣進口與所述氧氣進口與爐管設備的進氣通道連接，完成安裝。
10、優選地，在步驟s2和步驟s3之間還具備步驟s2a：在反復調整所述加熱器的位置仍不能使得所述治具的第二端的所述管口密封面與所述反應管接口平行，則通過輕微旋轉所述反應管來調整所述反應管接口的位置。
11、優選地，步驟s2中，從上下、前后、左右六個方向上調整所述加熱器的位置。
12、本專利技術具有如下有益效果：
13、本專利技術提出的一種爐管設備的石英點火裝置安裝治具及安裝方法，使用與點火裝置尺寸與結構近似的治具進行預安裝及調試加熱器角度，待加熱器角度調整完畢后再將治具替換為點火裝置。治具尺寸與點火裝置匹配，可準確模擬點火裝置安裝時的狀態；治具的連接部采用啞鈴造型，易于握持，方便安裝；采用聚四氟乙烯材質制作，輕便具有良好的耐磨性和低摩擦系數，調整位置時不易損壞加熱器和反應管的接口，使用此治具與方法安裝石英點火裝置，能夠減少損耗，提升安裝效率。
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1.一種爐管設備的石英點火裝置安裝治具，所述石英點火裝置包括進氣加熱端、出氣端、和連接所述進氣加熱端和出氣端的中空圓柱部，所述進氣加熱端包括圓柱進氣管、氫氣進口和氧氣進口，所述出氣端包括出氣管及管口密封面，所述出氣管中部設有進氣口，其特征在于，所述治具包括第一端、第二端和連接所述第一端和第二端的連接部，所述第一端模擬所述石英點火裝置的進氣加熱端，所述第二端模擬所述石英點火裝置的出氣端，所述連接部對應所述石英點火裝置的中空圓柱部，構造為啞鈴造型，所述連接部具有兩端圓柱部及中間圓柱部，所述兩端圓柱部的截面直徑大于所述中間圓柱部的截面直徑，且所述兩端圓柱部的截面直徑與所述石英點火裝置中空圓柱部的截面直徑一致。
2.根據權利要求1所述的一種爐管設備的石英點火裝置安裝治具，其特征在于，所述治具的第一端在形狀尺寸上與所述石英點火裝置的進氣加熱端一致，所述治具的第二端在形狀尺寸上與所述石英點火裝置的出氣端一致。
3.根據權利要求1所述的一種爐管設備的石英點火裝置安裝治具，其特征在于，所述治具采用聚四氟乙烯材質。
4.一種爐管設備的石英點火裝置安裝方法，其特征
5.如權利要求4所述的一種爐管設備的石英點火裝置安裝方法，其特征在于，在步驟S2和步驟S3之間還具備步驟S2a：
6.如權利要求4所述的一種爐管設備的石英點火裝置安裝方法，其特征在于，步驟S2中，從上下、前后、左右六個方向上調整所述加熱器的位置。
...【技術特征摘要】
1.一種爐管設備的石英點火裝置安裝治具，所述石英點火裝置包括進氣加熱端、出氣端、和連接所述進氣加熱端和出氣端的中空圓柱部，所述進氣加熱端包括圓柱進氣管、氫氣進口和氧氣進口，所述出氣端包括出氣管及管口密封面，所述出氣管中部設有進氣口，其特征在于，所述治具包括第一端、第二端和連接所述第一端和第二端的連接部，所述第一端模擬所述石英點火裝置的進氣加熱端，所述第二端模擬所述石英點火裝置的出氣端，所述連接部對應所述石英點火裝置的中空圓柱部，構造為啞鈴造型，所述連接部具有兩端圓柱部及中間圓柱部，所述兩端圓柱部的截面直徑大于所述中間圓柱部的截面直徑，且所述兩端圓柱部的截面直徑與所述石英點火裝置中空圓柱部的截面直徑一致。
2.根據權利要求1所述的一種爐管設備的石英點火裝置安裝...
【專利技術屬性】
技術研發人員：陳曦明，馮凱，
申請(專利權)人：上海至純半導體設備有限公司，
類型：發明
國別省市：
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