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    一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置制造方法及圖紙

    技術(shù)編號:44419932 閱讀:3 留言:0更新日期:2025-02-28 18:35
    本發(fā)明專利技術(shù)涉及研磨機技術(shù)領(lǐng)域。一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,包括一搬運車,還包括一用于吊裝修正盤的吊裝機構(gòu),吊裝機構(gòu)包括兩個用于嵌入修正盤的提升支撐板,兩個提升支撐板中心對稱設(shè)置,提升支撐板上安裝有鎖緊螺釘;吊裝機構(gòu)還包括主支撐板,通過鎖緊螺釘將主支撐板與兩個提升支撐板相連;主支撐板的上方固定有吊環(huán);搬運車包括一手搖式推高車,手搖式推高車上安裝有一可沿著第一直線方向伸縮的起吊桿;搬運車還包括用于吊起吊裝機構(gòu)的牽拉組件,牽拉組件安裝在起吊桿上,牽拉組件包括鋼絲繩、導(dǎo)向輪以及自鎖手搖絞盤,鋼絲繩的一端安裝在自鎖手搖絞盤,鋼絲繩的另一端途經(jīng)導(dǎo)向輪后與用于連接吊環(huán)的掛鉤相連。本裝置可以輔助完成修正盤的裝卸。

    【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

    本專利技術(shù)涉及研磨機,具體涉及修正盤搬運裝置。


    技術(shù)介紹

    1、單晶碳化硅的莫氏硬度高達9.5,僅次于金剛石,且碳化硅單晶的壓縮強度遠高于其彎曲強度,材料整體表現(xiàn)出較大的硬脆性,這些因素導(dǎo)致碳化硅晶片加工難度極大。

    2、碳化硅精密雙面研磨機工作原理是通過上下兩研磨盤繞中心作回轉(zhuǎn)運動,利用研磨液對碳化硅晶片表面進行雙面磨削加工。當進行碳化硅晶片研磨時,上定盤在氣缸的作用下降下來與碳化硅晶片接觸,通過對晶片表面施加壓力,在研磨液的作用下對晶片表面進行研磨去除。在上下定盤使用過程中會發(fā)生變形,導(dǎo)致上下定盤盤面不平,進而設(shè)備上下定盤和晶片的貼合度不好,會對碳化硅晶片品質(zhì)影響很大,導(dǎo)致晶片上下表面研磨不均勻,去除材料不一致等,從而導(dǎo)致產(chǎn)品的合格率低,并產(chǎn)生破片,碎片等現(xiàn)象。此時需要在裝配修正盤情況下運行設(shè)備,對上下定盤進行修平,最終達到對兩工作面吻合度,平行度修正的作用。

    3、修正盤在裝卸到定盤上時需要對準齒輪,避免發(fā)生磕碰,有一定的操作精度和難度,目前完全由操作工人手工進行裝配,因為修正盤自身較重,設(shè)備平臺有一定高度,人為手工操作過程繁瑣,人力成本高,效率低,同時有損壞設(shè)備的風險。

    4、故需要一種機械裝置輔助完成修正盤的裝卸,利用工裝將修正盤固定,操作工人能夠單人完成裝卸,節(jié)省人力成本,同時提高操作過程中的安全性,避免設(shè)備的損壞。


    技術(shù)實現(xiàn)思路

    1、針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題,本專利技術(shù)提供一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,已解決上述至少一個技術(shù)問題。</p>

    2、本專利技術(shù)的技術(shù)方案是:一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,包括一搬運車,其特征在于,還包括一用于吊裝修正盤的吊裝機構(gòu),所述吊裝機構(gòu)包括兩個用于嵌入修正盤的提升支撐板,兩個提升支撐板中心對稱設(shè)置,所述提升支撐板上安裝有鎖緊螺釘;

    3、所述吊裝機構(gòu)還包括主支撐板,所述主支撐板上開設(shè)有兩個中心對稱且弧形設(shè)置的導(dǎo)向槽,所述導(dǎo)向槽用于旋轉(zhuǎn)卡接所述鎖緊螺釘,通過所述鎖緊螺釘將所述主支撐板與兩個提升支撐板相連;

    4、所述主支撐板的上方固定有內(nèi)外設(shè)置的吊環(huán)以及環(huán)狀筒體,所述環(huán)狀筒體上設(shè)置有抓握結(jié)構(gòu);

    5、所述搬運車包括一手搖式推高車,所述手搖式推高車上安裝有一可沿著第一直線方向伸縮的起吊桿,所述手搖式推高車上安裝有用于帶動起吊桿沿著垂直于第一直線方向的第二直線方向以及豎直方向運動的直線運動機構(gòu);

    6、所述搬運車還包括用于吊起所述吊裝機構(gòu)的牽拉組件,所述牽拉組件安裝在所述起吊桿上,所述牽拉組件包括鋼絲繩、導(dǎo)向輪以及自鎖手搖絞盤,所述導(dǎo)向輪以及所述自鎖手搖絞盤分別安裝在所述起吊桿的長度方向上的兩側(cè),所述鋼絲繩的一端安裝在所述自鎖手搖絞盤,所述鋼絲繩的另一端途經(jīng)所述導(dǎo)向輪后與用于連接所述吊環(huán)的掛鉤相連。

    7、進一步優(yōu)選的,所述修正盤的中央開設(shè)有四個相互導(dǎo)通的花瓣形缺口,四個花瓣形缺口中相對的兩個花瓣形缺口與用于插入提升支撐板的插槽對接導(dǎo)通;

    8、所述提升支撐板鄰近所述修正盤中央側(cè)安裝有所述鎖緊螺釘。

    9、進一步優(yōu)選的,所述主支撐板的外輪廓設(shè)置有兩個弧形導(dǎo)向面;

    10、所述修正盤的內(nèi)壁設(shè)置有與所述弧形導(dǎo)向面周向滑動連接的滑動接觸部;

    11、所述滑動接觸部位于相鄰的花瓣形缺口的連接處。

    12、進一步優(yōu)選的,所述主支撐板包括兩個徑向向外延伸出所述環(huán)狀筒體的延伸部,所述延伸部上開設(shè)有所述導(dǎo)向槽。

    13、進一步優(yōu)選的,所述導(dǎo)向槽的一端開口,且與所述主支撐板的外壁導(dǎo)通,所述導(dǎo)向槽的另一端封閉;

    14、所述導(dǎo)向槽與所述主支撐板的中央的間距沿著長度方向從開口端至封閉端遞增。

    15、進一步優(yōu)選的,所述直線運動機構(gòu)包括可沿著第二直線方向滑動的滑塊以及可沿著縱向伸縮的升降架;

    16、所述起吊桿安裝在所述滑塊上,所述滑塊安裝在所述升降架,所述滑塊以第二直線方向為滑動方向與所述升降架滑動連接,所述升降架與車架縱向滑動連接,所述車架的底部安裝有行走輪。

    17、進一步優(yōu)選的,所述升降架上安裝有用于驅(qū)動所述滑塊滑動的手輪,所述手輪通過絲桿滑塊機構(gòu)與所述滑塊傳動連接;

    18、所述起吊桿包括固定部以及滑動部,所述滑動部與所述固定部滑動連接,所述固定部上安裝有驅(qū)動滑動部伸縮滑動的伸縮手輪,所述伸縮手輪與齒輪傳動連接,所述滑動部上安裝有與所述齒輪嚙合的齒條。

    19、所述伸縮手輪、所述自鎖手搖絞盤與所述手輪位于所述搬運車的同側(cè)。

    20、便于人工手動操作。

    21、進一步優(yōu)選的,所述搬運車上安裝有緩沖橡膠墊。

    22、進一步優(yōu)選的,所述搬運車與雙面研磨機之間安裝有腳踏梯臺階,所述緩沖橡膠墊位于所述腳踏梯臺階與所述搬運車之間。

    23、進一步優(yōu)選的,使用步驟,如下:

    24、步驟一,初始時,修正盤位于下定盤上,起吊前先在修正盤上安裝吊裝機構(gòu):將兩個提升支撐板分別嵌入修正盤的插槽中,帶鎖緊螺釘端對準修正盤中心,將主支撐板與提升支撐板旋轉(zhuǎn)卡接,最后旋緊鎖緊螺釘;

    25、步驟二,確定推動搬運車的位置;

    26、調(diào)節(jié)起吊桿的高度,將起吊桿升至上下定盤中間空隙的位置,不能使起吊桿與設(shè)備發(fā)生磕碰,將搬運車推進至緩沖橡膠抵住腳踏梯臺階;

    27、步驟三,手動調(diào)節(jié)起吊桿的伸長,先將起吊桿伸出,調(diào)節(jié)起吊桿在第二直線方向上的位置以及伸縮的長度,使吊鉤對準起吊工裝上的吊環(huán);

    28、步驟四,確保吊鉤與吊環(huán)固定完好,緩慢搖動手搖絞盤,平穩(wěn)吊起修正盤,確保修正盤被吊起時不發(fā)生搖擺或磕碰。

    29、步驟五,在修正盤至少被吊起50mm后,緩慢推動搬運車至物料架,確保修正盤不發(fā)生搖擺或磕碰,將修正盤與物料架臺面對齊后緩慢放下,最后拆卸吊裝機構(gòu)。

    30、相比于現(xiàn)有技術(shù),本專利技術(shù)的有益效果為:

    31、1)修正盤裝卸采用搬運裝置輔助代替完全人工操作平推上下料,省力增效。

    32、2)人工裝卸主要靠平推上下,修正盤有磕碰盤面,人員磕碰風險,利用修正盤搬運裝置可以有效降低風險。

    33、3)修正盤自重較中且裝卸頻繁,手動操作人員易出現(xiàn)疲勞,增加了磕碰風險,修正盤搬運裝置可有效減少人員疲勞情況出現(xiàn)。

    34、4)人工裝卸修正盤需至少兩人協(xié)同配合,修正盤搬運裝置僅需單人即可完成修正盤裝卸,節(jié)省人力成本。

    35、5)手動人工操作需要每臺設(shè)備配備對應(yīng)人員,而利用修正盤搬運裝置輔助可以一臺裝置對應(yīng)多臺設(shè)備,節(jié)省人力成本,增加裝卸效率。

    本文檔來自技高網(wǎng)...

    【技術(shù)保護點】

    1.一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,包括一搬運車,其特征在于,還包括一用于吊裝修正盤的吊裝機構(gòu),所述吊裝機構(gòu)包括兩個用于嵌入修正盤的提升支撐板,兩個提升支撐板中心對稱設(shè)置,所述提升支撐板上安裝有鎖緊螺釘;

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述修正盤的中央開設(shè)有四個相互導(dǎo)通的花瓣形缺口,四個花瓣形缺口中相對的兩個花瓣形缺口與用于插入提升支撐板的插槽對接導(dǎo)通;

    3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述主支撐板的外輪廓設(shè)置有兩個弧形導(dǎo)向面;

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述主支撐板包括兩個徑向向外延伸出所述環(huán)狀筒體的延伸部,所述延伸部上開設(shè)有所述導(dǎo)向槽。

    5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述導(dǎo)向槽的一端開口,且與所述主支撐板的外壁導(dǎo)通,所述導(dǎo)向槽的另一端封閉;

    6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述直線運動機構(gòu)包括可沿著第二直線方向滑動的滑塊以及可沿著縱向伸縮的升降架;

    7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述升降架上安裝有用于驅(qū)動所述滑塊滑動的手輪,所述手輪通過絲桿滑塊機構(gòu)與所述滑塊傳動連接;

    8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述搬運車上安裝有緩沖橡膠墊。

    9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述搬運車與雙面研磨機之間安裝有腳踏梯臺階,所述緩沖橡膠墊位于所述腳踏梯臺階與所述搬運車之間。

    10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:使用步驟,如下:

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    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,包括一搬運車,其特征在于,還包括一用于吊裝修正盤的吊裝機構(gòu),所述吊裝機構(gòu)包括兩個用于嵌入修正盤的提升支撐板,兩個提升支撐板中心對稱設(shè)置,所述提升支撐板上安裝有鎖緊螺釘;

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述修正盤的中央開設(shè)有四個相互導(dǎo)通的花瓣形缺口,四個花瓣形缺口中相對的兩個花瓣形缺口與用于插入提升支撐板的插槽對接導(dǎo)通;

    3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述主支撐板的外輪廓設(shè)置有兩個弧形導(dǎo)向面;

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述主支撐板包括兩個徑向向外延伸出所述環(huán)狀筒體的延伸部,所述延伸部上開設(shè)有所述導(dǎo)向槽。

    5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述導(dǎo)...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:馮博葉國卿,
    申請(專利權(quán))人:上海漢虹精密機械有限公司
    類型:發(fā)明
    國別省市:

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