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【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及研磨機,具體涉及修正盤搬運裝置。
技術(shù)介紹
1、單晶碳化硅的莫氏硬度高達9.5,僅次于金剛石,且碳化硅單晶的壓縮強度遠高于其彎曲強度,材料整體表現(xiàn)出較大的硬脆性,這些因素導(dǎo)致碳化硅晶片加工難度極大。
2、碳化硅精密雙面研磨機工作原理是通過上下兩研磨盤繞中心作回轉(zhuǎn)運動,利用研磨液對碳化硅晶片表面進行雙面磨削加工。當進行碳化硅晶片研磨時,上定盤在氣缸的作用下降下來與碳化硅晶片接觸,通過對晶片表面施加壓力,在研磨液的作用下對晶片表面進行研磨去除。在上下定盤使用過程中會發(fā)生變形,導(dǎo)致上下定盤盤面不平,進而設(shè)備上下定盤和晶片的貼合度不好,會對碳化硅晶片品質(zhì)影響很大,導(dǎo)致晶片上下表面研磨不均勻,去除材料不一致等,從而導(dǎo)致產(chǎn)品的合格率低,并產(chǎn)生破片,碎片等現(xiàn)象。此時需要在裝配修正盤情況下運行設(shè)備,對上下定盤進行修平,最終達到對兩工作面吻合度,平行度修正的作用。
3、修正盤在裝卸到定盤上時需要對準齒輪,避免發(fā)生磕碰,有一定的操作精度和難度,目前完全由操作工人手工進行裝配,因為修正盤自身較重,設(shè)備平臺有一定高度,人為手工操作過程繁瑣,人力成本高,效率低,同時有損壞設(shè)備的風險。
4、故需要一種機械裝置輔助完成修正盤的裝卸,利用工裝將修正盤固定,操作工人能夠單人完成裝卸,節(jié)省人力成本,同時提高操作過程中的安全性,避免設(shè)備的損壞。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題,本專利技術(shù)提供一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,已解決上述至少一個技術(shù)問題。< ...
【技術(shù)保護點】
1.一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,包括一搬運車,其特征在于,還包括一用于吊裝修正盤的吊裝機構(gòu),所述吊裝機構(gòu)包括兩個用于嵌入修正盤的提升支撐板,兩個提升支撐板中心對稱設(shè)置,所述提升支撐板上安裝有鎖緊螺釘;
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述修正盤的中央開設(shè)有四個相互導(dǎo)通的花瓣形缺口,四個花瓣形缺口中相對的兩個花瓣形缺口與用于插入提升支撐板的插槽對接導(dǎo)通;
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述主支撐板的外輪廓設(shè)置有兩個弧形導(dǎo)向面;
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述主支撐板包括兩個徑向向外延伸出所述環(huán)狀筒體的延伸部,所述延伸部上開設(shè)有所述導(dǎo)向槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述導(dǎo)向槽的一端開口,且與所述主支撐板的外壁導(dǎo)通,所述導(dǎo)向槽的另一端封閉;
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述直線運
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述升降架上安裝有用于驅(qū)動所述滑塊滑動的手輪,所述手輪通過絲桿滑塊機構(gòu)與所述滑塊傳動連接;
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述搬運車上安裝有緩沖橡膠墊。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述搬運車與雙面研磨機之間安裝有腳踏梯臺階,所述緩沖橡膠墊位于所述腳踏梯臺階與所述搬運車之間。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:使用步驟,如下:
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,包括一搬運車,其特征在于,還包括一用于吊裝修正盤的吊裝機構(gòu),所述吊裝機構(gòu)包括兩個用于嵌入修正盤的提升支撐板,兩個提升支撐板中心對稱設(shè)置,所述提升支撐板上安裝有鎖緊螺釘;
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述修正盤的中央開設(shè)有四個相互導(dǎo)通的花瓣形缺口,四個花瓣形缺口中相對的兩個花瓣形缺口與用于插入提升支撐板的插槽對接導(dǎo)通;
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述主支撐板的外輪廓設(shè)置有兩個弧形導(dǎo)向面;
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述主支撐板包括兩個徑向向外延伸出所述環(huán)狀筒體的延伸部,所述延伸部上開設(shè)有所述導(dǎo)向槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅精密雙面研磨機修正盤搬運裝置,其特征在于:所述導(dǎo)...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員:馮博,葉國卿,
申請(專利權(quán))人:上海漢虹精密機械有限公司,
類型:發(fā)明
國別省市:
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