【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及topcon太陽能電池，具體涉及一種topcon光伏電池結(jié)構(gòu)及其制備方法。
技術(shù)介紹
1、topcon(隧穿氧化硅鈍化接觸)太陽電池是目前較為先進(jìn)的n型硅基太陽能電池技術(shù)，其結(jié)構(gòu)設(shè)計旨在通過優(yōu)化接觸界面和提高鈍化效果來提升電池的光電轉(zhuǎn)換效率，其結(jié)構(gòu)通常包括硅基底、隧穿氧化層、摻雜多晶硅層、金屬化層等。topcon光伏電池利用隧穿氧化層和多晶硅層的組合，提供極佳的鈍化效果，有效降低硅表面的復(fù)合速率；同時，重?fù)诫s的多晶硅層與隧穿氧化層形成的鈍化接觸結(jié)構(gòu)降低接觸復(fù)合，提高電池的開路電壓和填充因子。
2、現(xiàn)有技術(shù)中，由于前電極與硅基底之間的接觸界面未能達(dá)到理想的鈍化效果，topcon電池的前電極接觸區(qū)域往往存在較大的復(fù)合電流，不僅增加載流子的復(fù)合速率，還限制電池的開路電壓和填充因子的提升，從而制約topcon電池效率的突破；此外，現(xiàn)有技術(shù)中制備正面全鈍化接觸結(jié)構(gòu)的方法往往復(fù)雜且成本高昂，如整面沉積多晶硅層再進(jìn)行選擇性刻蝕的方法，不僅會造成多晶硅材料的浪費，還可能因刻蝕工藝的不完善而引入新的缺陷源，進(jìn)一步加劇復(fù)合電流的問題。因此，本專利技術(shù)提供一種topcon光伏電池結(jié)構(gòu)及其制備方法，來解決以上問題。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本專利技術(shù)的目的在于提供一種topcon光伏電池結(jié)構(gòu)及其制備方法。
2、一種topcon光伏電池結(jié)構(gòu)的制備方法，包括以下步驟：
3、(1)隧穿氧化層沉積：在預(yù)處理后的多晶硅基底上沉積隧穿氧化層；
...【技術(shù)保護(hù)點】
1.一種TOPCon光伏電池結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種TOPCon光伏電池結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述局部圖案化掩膜制備過程中，選擇石英或鎳基納米壓印模具，設(shè)定壓印壓力為5-10MPa，在室溫下進(jìn)行壓印，設(shè)定壓印時間為1-5min。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種TOPCon光伏電池結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述局部圖案化掩膜制備過程中，熱處理固化溫度設(shè)定為150-200℃，加熱時間為30min至1h，在氮氣或惰性氣體保護(hù)下進(jìn)行熱處理，最后使用有機(jī)溶劑進(jìn)行清洗，有機(jī)溶劑為丙酮或異丙醇。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種TOPCon光伏電池結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述高選擇性刻蝕步驟中，高選擇性刻蝕劑為醋酸和氫氟酸的混合物，混合體積比為1-3:1，刻蝕時間在30s-2min之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種TOPCon光伏電池結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述高選擇性刻蝕步驟中，還包括等離子體輔助刻蝕，選擇電感耦合等離子體源，等離子體功率范圍為200-500W，刻蝕氣體CF4和O2的流
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種TOPCon光伏電池結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述鈍化層沉積過程中，利用PECVD技術(shù)，沉積速率范圍為0.5-1.5nm/s。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種TOPCon光伏電池結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述鈍化層沉積步驟中，局部圖案化鈍化層的圖案形狀包括圓形、方形或蜂窩狀中的一種或多種組合，圓形圖案直徑范圍為1-3μm，方形圖案的邊長范圍為1-2μm，圖案之間的間距在0.5-1μm之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種TOPCon光伏電池結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述隧穿氧化層沉積步驟中，隧穿氧化層采用PECVD技術(shù)沉積。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種TOPCon光伏電池結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述隧穿氧化層沉積中，預(yù)處理包括采用標(biāo)準(zhǔn)的RCA清洗流程清洗多晶硅基底表面，并通過濕法或干法刻蝕技術(shù)在基底表面形成微納結(jié)構(gòu)。
10.一種TOPCon光伏電池結(jié)構(gòu)，其特征在于，由權(quán)利要求1-9任一所述TOPCon光伏電池結(jié)構(gòu)的制備方法制得。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種topcon光伏電池結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種topcon光伏電池結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述局部圖案化掩膜制備過程中，選擇石英或鎳基納米壓印模具，設(shè)定壓印壓力為5-10mpa，在室溫下進(jìn)行壓印，設(shè)定壓印時間為1-5min。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種topcon光伏電池結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述局部圖案化掩膜制備過程中，熱處理固化溫度設(shè)定為150-200℃，加熱時間為30min至1h，在氮氣或惰性氣體保護(hù)下進(jìn)行熱處理，最后使用有機(jī)溶劑進(jìn)行清洗，有機(jī)溶劑為丙酮或異丙醇。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種topcon光伏電池結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述高選擇性刻蝕步驟中，高選擇性刻蝕劑為醋酸和氫氟酸的混合物，混合體積比為1-3:1，刻蝕時間在30s-2min之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種topcon光伏電池結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述高選擇性刻蝕步驟中，還包括等離子體輔助刻蝕，選擇電感耦合等離子體源，等離子體功率范圍為200-500w，刻蝕氣體cf4和o2的流量體積比10-2...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：楊柳，謝小兩，李冬，龐健，劉杰，
申請(專利權(quán))人：寧波歐達(dá)光電有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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