【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，具體涉及一種電加熱尾氣處理系統(tǒng)。
技術(shù)介紹
1、廢氣處理裝置的主要作用是處理和凈化產(chǎn)生的廢氣，以減少對環(huán)境和人類健康的負(fù)面影響。這些裝置通常用于工業(yè)生產(chǎn)、半導(dǎo)體廠、光伏廠，等廢氣處理設(shè)施等地方，工作原理是：先開啟加熱棒對反應(yīng)腔內(nèi)進(jìn)行加熱，當(dāng)反應(yīng)腔內(nèi)溫度達(dá)到工作溫度時(shí)，將需要處理的廢氣送進(jìn)反應(yīng)腔內(nèi)并通入氧氣與其進(jìn)行反應(yīng)，當(dāng)充分反應(yīng)后，再將反應(yīng)產(chǎn)物送進(jìn)水箱內(nèi)進(jìn)行水洗處理，以確保后期排放的氣體能符合環(huán)境法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)。
2、這種廢氣處理裝置存在如下的缺陷：1.由于半導(dǎo)體工廠cvd、d?i?ff、i?mp及清洗制程廢氣中含有大量氟離子及腐蝕性氣體，對于現(xiàn)有不銹鋼材質(zhì)的反應(yīng)腔有很強(qiáng)腐蝕，如果腐蝕損壞，需要更換整個(gè)反應(yīng)腔，成本太高。2.加熱棒位于反應(yīng)腔內(nèi)，與廢氣中含有的氟離子及腐蝕性氣體直接接觸，容易被腐蝕，維護(hù)保養(yǎng)周期短，加熱棒工作壽命短。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、基于此，針對上述問題，本專利技術(shù)提供了一種電加熱尾氣處理系統(tǒng)。
2、本專利技術(shù)的目的可以通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：
3、一種電加熱尾氣處理系統(tǒng)，包括水箱、和固定在水箱上的水洗塔和反應(yīng)腔，所述水洗塔和反應(yīng)腔的底部都與水箱相通，所述反應(yīng)腔內(nèi)部設(shè)有內(nèi)襯罩，所述內(nèi)襯罩內(nèi)設(shè)有溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述反應(yīng)腔的內(nèi)壁與內(nèi)襯罩外壁之間形成環(huán)繞內(nèi)襯罩的廢氣通道，所述反應(yīng)腔的頂部連接有與廢氣通道相通的進(jìn)氣口，在內(nèi)襯罩內(nèi)設(shè)于將溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包裹住的導(dǎo)熱部件，在內(nèi)襯罩上連接有與外部氣源連接的進(jìn)氣管，在內(nèi)襯罩上開有通氣
4、采用上述技術(shù)方案，由于氮化鋁為一種新型陶瓷材料，具有優(yōu)良的熱傳導(dǎo)性、無毒、耐腐蝕以及與硅相匹配的熱膨脹系數(shù)。這樣，反應(yīng)腔、內(nèi)襯罩以及進(jìn)氣口均采用氮化鋁材料制成具有耐腐蝕，延長使用壽命。而且氮化鋁制成的內(nèi)襯罩發(fā)熱面的熱均勻，可以減少因溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)產(chǎn)生熱量而引起的膨脹開裂，從而延長內(nèi)襯罩的使用壽命。氮化鋁的反應(yīng)腔提高了的整體承載能力，增加了結(jié)構(gòu)強(qiáng)度且不易開裂。此外，導(dǎo)熱部件將溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包裹住，當(dāng)溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)產(chǎn)生熱量時(shí)，利用氮化鋁超高導(dǎo)熱系數(shù)，能夠使反應(yīng)腔與內(nèi)襯罩同步升溫，快速達(dá)到工作溫度，同時(shí)，避免了溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)直接與廢氣接觸，從而延長了溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的使用壽命。
5、在本專利技術(shù)具體實(shí)施方式中：所述反應(yīng)腔、內(nèi)襯罩以及進(jìn)氣口均采用將氮化鋁粉末和粘合劑以質(zhì)量比100:3～8均勻混合后分別加入對應(yīng)模具內(nèi)，并逐步施加壓力到100～300mpa壓制2～3分鐘形成胚體，再通過1600℃～1800℃溫度燒制2～10小時(shí)成型。
6、在本專利技術(shù)具體實(shí)施方式中：所述粘合劑采用甲苯和石蠟以重量比為3～5：1均勻混合。
7、在本專利技術(shù)具體實(shí)施方式中：所述溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)采用加熱盤管。
8、在本專利技術(shù)具體實(shí)施方式中：所述導(dǎo)熱部件采用將氮化鋁粉末加入對應(yīng)模具內(nèi)，并逐步施加壓力到100～300mpa壓制2～3分鐘形成胚體，再通過1600℃～1800℃溫度燒制2～10小時(shí)成型。
9、在本專利技術(shù)具體實(shí)施方式中：所述反應(yīng)腔的壁厚為18mm～20mm，所述內(nèi)襯罩的壁厚為12mm～13mm。
10、在本專利技術(shù)具體實(shí)施方式中：所述水洗塔內(nèi)從上到下間隔設(shè)置有第一噴淋系統(tǒng)和第二噴淋系統(tǒng)，所述水洗塔頂部開有出氣口。
11、在本專利技術(shù)具體實(shí)施方式中：所述反應(yīng)腔外部套設(shè)有殼體，在殼體上套有保溫套。
12、在本專利技術(shù)具體實(shí)施方式中：所述水箱的側(cè)部連接有排水管。
13、綜上所述，本專利技術(shù)中反應(yīng)腔、內(nèi)襯罩、進(jìn)氣口以及導(dǎo)熱部件均采用氮化鋁制成耐腐蝕，延長使用壽命。而且氮化鋁制成的內(nèi)襯罩和反應(yīng)腔提高了整體承載能力，增加了結(jié)構(gòu)強(qiáng)度且不易開裂。另外，導(dǎo)熱部件將加熱盤管包裹住，不僅避免了加熱盤管直接與廢氣接觸，延長加熱盤管使用壽命，而且導(dǎo)熱性能好，使反應(yīng)腔與內(nèi)襯罩同步升溫，能快速達(dá)到工作溫度。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種電加熱尾氣處理系統(tǒng)，包括水箱、水洗塔以及反應(yīng)腔，所述水洗塔和反應(yīng)腔的底部都與水箱相通，所述反應(yīng)腔內(nèi)部設(shè)有內(nèi)襯罩，所述內(nèi)襯罩內(nèi)設(shè)有溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述反應(yīng)腔的內(nèi)壁與內(nèi)襯罩外壁之間形成環(huán)繞內(nèi)襯罩的廢氣通道，所述反應(yīng)腔的頂部連接有與廢氣通道相通的進(jìn)氣口，其特征在于，在內(nèi)襯罩內(nèi)設(shè)于將溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包裹住的導(dǎo)熱部件，在內(nèi)襯罩上連接有與外部氣源連接的進(jìn)氣管，在內(nèi)襯罩上開有通氣孔，所述導(dǎo)熱部件內(nèi)具有將通氣孔和進(jìn)氣管相連通的氣道，所述反應(yīng)腔、內(nèi)襯罩、進(jìn)氣口以及導(dǎo)熱部件均采用氮化鋁材質(zhì)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電加熱尾氣處理系統(tǒng),其特征在于，所述反應(yīng)腔、內(nèi)襯罩以及進(jìn)氣口均采用將氮化鋁粉末和粘合劑以質(zhì)量比100:3～8均勻混合后分別加入對應(yīng)模具內(nèi)，并逐步施加壓力到100～300MPa壓制2～3分鐘形成胚體，再通過1600℃～1800℃溫度燒制2～10小時(shí)成型。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電加熱尾氣處理系統(tǒng),其特征在于，所述粘合劑采用甲苯和石蠟以重量比為3～5：1均勻混合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電加熱尾氣處理系統(tǒng),其特征在于，所述溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)采用加熱盤管。<...
【技術(shù)特征摘要】
1.一種電加熱尾氣處理系統(tǒng)，包括水箱、水洗塔以及反應(yīng)腔，所述水洗塔和反應(yīng)腔的底部都與水箱相通，所述反應(yīng)腔內(nèi)部設(shè)有內(nèi)襯罩，所述內(nèi)襯罩內(nèi)設(shè)有溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述反應(yīng)腔的內(nèi)壁與內(nèi)襯罩外壁之間形成環(huán)繞內(nèi)襯罩的廢氣通道，所述反應(yīng)腔的頂部連接有與廢氣通道相通的進(jìn)氣口，其特征在于，在內(nèi)襯罩內(nèi)設(shè)于將溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包裹住的導(dǎo)熱部件，在內(nèi)襯罩上連接有與外部氣源連接的進(jìn)氣管，在內(nèi)襯罩上開有通氣孔，所述導(dǎo)熱部件內(nèi)具有將通氣孔和進(jìn)氣管相連通的氣道，所述反應(yīng)腔、內(nèi)襯罩、進(jìn)氣口以及導(dǎo)熱部件均采用氮化鋁材質(zhì)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電加熱尾氣處理系統(tǒng),其特征在于，所述反應(yīng)腔、內(nèi)襯罩以及進(jìn)氣口均采用將氮化鋁粉末和粘合劑以質(zhì)量比100:3～8均勻混合后分別加入對應(yīng)模具內(nèi)，并逐步施加壓力到100～300mpa壓制2～3分鐘形成胚體，再通過1600℃～1800℃溫度燒制2～10小時(shí)成型。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電加熱尾氣處理系統(tǒng),其特征在于，所述粘合劑采用甲苯和石蠟以重...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：馬東，洪夢華，時(shí)昌杰，殷正壯，趙薇薇，
申請(專利權(quán))人：上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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