【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【國(guó)外來華專利技術(shù)】
本專利技術(shù)關(guān)于基板制造方法及基板制造裝置。
技術(shù)介紹
1、在將多個(gè)基板層疊、集積化的三維構(gòu)裝技術(shù)中，在將多個(gè)基板的器件面彼此接合之后，研削其中一方基板的非器件面。基板具有預(yù)先使其周緣部帶圓的形狀或產(chǎn)生倒角的形狀(斜面部)。
2、因此，若斜面部通過研削而變薄，會(huì)形成銳利的端部(刀刃部)，結(jié)果有發(fā)生破損或缺口等缺陷的擔(dān)憂。因此，在斜面填充技術(shù)中，通過填充劑填埋層疊基板中的斜面部之間的間隙，以填充劑支承刀刃部，防止缺陷發(fā)生。
3、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
4、專利文獻(xiàn)
5、專利文獻(xiàn)1：日本特開2022-38834號(hào)公報(bào)
6、專利技術(shù)要解決的課題
7、但是，若氣泡混入至涂布在斜面部之間的間隙的填充劑，有起因于填充劑的內(nèi)部的氣泡(亦即空洞)而在基板產(chǎn)生缺陷的擔(dān)憂。更具體而言，若對(duì)刀刃部施加研削載荷，無法以填充劑完全支承空洞部分中的刀刃部，結(jié)果有在基板產(chǎn)生破損或缺口等缺陷的擔(dān)憂。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、因此，本專利技術(shù)的目的在于提供一種能夠防止起因于混入至填充劑的氣泡而在基板產(chǎn)生缺陷的基板制造方法及基板制造裝置。
2、(解決課題的手段)
3、在一方式中，提供一種基板制造方法，制造將第一基板及第二基板貼合而形成的層疊基板，其特征在于，包含如下工序：在所述第一基板的斜面部與所述第二基板的斜面部之間的間隙涂布填充劑的工序；及從涂布在所述間隙的填充劑中去除氣泡的工序。
4、在一方式中，將所述氣泡去除的工序包含通
5、在一方式中，將所述氣泡去除的工序包含對(duì)涂布在所述間隙的填充劑噴射加壓流體的工序。
6、在一方式中，所述基板制造方法包含在所述間隙涂布填充劑之前將填充劑中的氣泡去除的工序。
7、在一方式中，所述基板制造方法包含在將所述氣泡去除的工序之后，使涂布在所述間隙的填充劑固化的工序。
8、在一方式中，所述基板制造方法包含研削所述層疊基板的工序。
9、在一方式中，提供一種基板制造裝置，制造將第一基板及第二基板貼合而形成的層疊基板，其特征在于，具備：涂布裝置，該涂布裝置在所述第一基板的斜面部與所述第二基板的斜面部之間的間隙涂布填充劑；及氣泡去除裝置，該氣泡去除裝置從涂布在所述間隙的填充劑中去除氣泡。
10、在一方式中，所述氣泡去除裝置具備振動(dòng)裝置，該振動(dòng)裝置通過保持所述層疊基板的基板保持裝置而使所述層疊基板振動(dòng)。
11、在一方式中，所述氣泡去除裝置具備流體噴射裝置，該流體噴射裝置對(duì)涂布在所述間隙的填充劑噴射加壓流體。
12、在一方式中，所述涂布裝置具備噴射噴嘴，該噴射噴嘴對(duì)向供給噴嘴供給的填充劑噴射加壓流體，該供給噴嘴向所述間隙供給填充劑。
13、在一方式中，所述基板制造裝置具備固化裝置，該固化裝置使涂布在所述間隙的填充劑固化。
14、在一方式中，所述固化裝置在所述基板的旋轉(zhuǎn)方向上配置于流體噴射裝置的下游側(cè)，該流體噴射裝置對(duì)涂布在所述間隙的填充劑噴射加壓流體。
15、專利技術(shù)效果
16、通過從涂布在層疊晶片間隙的填充劑中去除氣泡，能夠防止起因于混入至填充劑的氣泡而在基板產(chǎn)生破損或缺口等缺陷。
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1.一種基板制造方法，制造將第一基板及第二基板貼合而形成的層疊基板，其特征在于，包含如下工序：
2.如權(quán)利要求1所述的基板制造方法，其特征在于，
3.如權(quán)利要求1所述的基板制造方法，其特征在于，
4.如權(quán)利要求1所述的基板制造方法，其特征在于，
5.如權(quán)利要求1所述的基板制造方法，其特征在于，
6.如權(quán)利要求1所述的基板制造方法，其特征在于，
7.一種基板制造裝置，制造將第一基板及第二基板貼合而形成的層疊基板，其特征在于，具備：
8.如權(quán)利要求7所述的基板制造裝置，其特征在于，
9.如權(quán)利要求7所述的基板制造裝置，其特征在于，
10.如權(quán)利要求7所述的基板制造裝置，其特征在于，
11.如權(quán)利要求7所述的基板制造裝置，其特征在于，
12.如權(quán)利要求11所述的基板制造裝置，其特征在于，
【技術(shù)特征摘要】
【國(guó)外來華專利技術(shù)】
1.一種基板制造方法，制造將第一基板及第二基板貼合而形成的層疊基板，其特征在于，包含如下工序：
2.如權(quán)利要求1所述的基板制造方法，其特征在于，
3.如權(quán)利要求1所述的基板制造方法，其特征在于，
4.如權(quán)利要求1所述的基板制造方法，其特征在于，
5.如權(quán)利要求1所述的基板制造方法，其特征在于，
6.如權(quán)利要求1所述的基板制造方法，其特征在于，
...【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：佐竹正行，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：株式會(huì)社荏原制作所，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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