【技術實現步驟摘要】
本申請涉及薄膜沉積，尤其涉及一種薄膜沉積設備及其氣體混合裝置。
技術介紹
1、薄膜沉積是半導體制造工藝的關鍵步驟，薄膜沉積設備通常設置有氣體混合裝置，用于將工藝所需的不同的氣體(例如反應氣體或吹掃氣體)分別或混合后送入反應腔室中，有利于實現氣體的均勻擴散。
2、目前，氣體混合裝置的結構存在缺陷，不同氣體管路中之間容易發生氣流倒灌的情況，導致不同管路之間相互污染、產生雜質，容易影響沉積薄膜的質量。
技術實現思路
1、本申請提供一種薄膜沉積設備及其氣體混合裝置，以利于解決現有技術的氣體混合裝置中不同通氣管路之間的氣體相互倒灌而發生污染的問題。
2、本申請實施例第一方面提供了一種薄膜沉積設備的氣體混合裝置，包括：混合器，具有內腔，所述混合器的側壁設置有至少兩個通氣口；至少兩個導流件，安裝于所述內腔中，各個所述導流件之間形成有混合空間；所述導流件與所述混合器的側壁之間形成有流動空間，所述流動空間與所述混合空間連通，且所述通氣口與至少部分所述流動空間一一對應連通。
3、本方案中，導流件能對反應氣體起導流作用，改變反應氣體的流動方向。對于任一通氣口所通入的反應氣體來說，反應氣體進入內腔后，能在導流件的導流作用下沿流動空間流向混合空間，而后在混合空間中發生擴散，再流向反應腔室。上述過程中，導流件一方面能限制其所對應的通氣口中的反應氣體直接流向其他通氣口中，另一方面也能阻擋其他通氣口中的反應氣體流向其所對應的通氣口中，避免了不同通氣管路之間發生氣體倒灌的情況，降
4、在一種可能的設計中，所述導流件包括用于圍成所述流動空間的頂板、底板和導流板；沿所述混合器的軸向，所述導流板的兩端分別與所述頂板和所述底板固定連接；沿所述混合器的徑向，所述頂板遠離所述導流板的一端與所述混合器的側壁固定連接，所述底板遠離所述導流板的一端與所述混合器的側壁固定連接。
5、本方案中，頂板、底板和導流板共同與混合器的側壁圍成了相對獨立的流動空間。其中，導流板主要用于限制氣體沿混合器的徑向流動，頂板和底板主要用于限制氣體沿混合器的軸向向上或向下流動，三者共同用于將反應氣體導流向混合空間內，以提升導流件的導流效果，從而提升了反應氣體在流動空間內的流動穩定性。
6、在一種可能的設計中，所述導流板包括相對設置的第一側和第二側，所述第一側與所述混合器的側壁連接，所述第二側與所述混合器的側壁之間具有間隔，以使所述流動空間與所述混合空間連通。
7、本方案中，第二側與混合器的側壁之間具有間隔，以形成能夠連通流動空間與混合空間的開口，確保反應氣體能夠從流動空間順利流向混合空間。
8、在一種可能的設計中，各個所述通氣口在所述混合器的周向上間隔設置，沿所述混合器的周向，任一所述導流板的所述第二側和與其相鄰的另一所述導流板的所述第一側圍成缺口，所述流動空間與所述混合空間通過所述缺口連通。
9、本方案中，通過設置缺口，能夠確保相鄰兩個流動空間之間是相互分隔開的，確保流動空間中的反應氣體能順利流向混合空間，而不會流向另一流動空間中；相鄰兩個流動空間的開口不會相對設置，從而避免相鄰的兩個通氣管路之間發生氣流倒灌的情況。
10、在一種可能的設計中，所述導流板為朝向所述混合器的側壁拱起的弧形板。
11、本方案中，一方面，弧形結構對于反應氣體的導流效果更好，能提升氣流的穩定性，另一方面，導流板朝向混合器的側壁拱起，能將氣流導向混合器的側壁方向，使得反應氣體與混合器的側壁的接觸面積增大，從而能進一步減少內腔側壁上的反應物殘留。
12、在一種可能的設計中，沿所述混合器的軸向，所述導流板的高度大于所述通氣口的直徑。
13、本方案中，以確保導流板對通氣口中的反應氣體形成良好的阻擋作用，防止反應氣體從通氣口直接流入混合空間內，從而提升導流板的可靠性。
14、在一種可能的設計中，各個所述通氣口在所述混合器的軸向上相互間隔分布；沿所述混合器的軸向，任一所述通氣口的底部與其下方相鄰的另一所述通氣口的頂部之間具有高度差。
15、本方案中，不同的反應氣體能分別從不同高度進入內腔中。由于任一通氣口的底部與其下方相鄰的另一通氣口的頂部之間均具有一定的高度差，即任一通氣口所在高度的水平面上不存在另一通氣口，即使反應氣體從通氣口進入內腔后沿水平面進行擴散，也不容易發生沿另一通氣口流入其他反應氣體的通氣管路中的情況，從而避免不同的反應氣體的通氣管路之間發生倒灌的情況，降低了不同通氣管路之間相互污染而產生雜質的風險，從而有利于降低污染物堵塞通氣管路的風險，進而有利于改善沉積薄膜的質量、延長薄膜沉積設備的壽命。
16、在一種可能的設計中，所述氣體混合裝置還包括至少兩個通氣管路，所述通氣管路安裝于所述混合器的外側壁，至少兩個所述通氣管路與至少兩個所述通氣口一一對應設置且相連通；所述通氣管路的延伸方向垂直于所述混合器的徑向。
17、本方案中，反應氣體能夠沿混合器的切向方向進入內腔，反應氣體在慣性作用下，能更加貼向內腔的側壁流動，從而進一步減小內腔中的死區，提升反應氣體的氣流穩定性。
18、在一種可能的設計中，所述氣體混合裝置還包括至少兩個通氣管路，至少兩個所述通氣管路與至少兩個所述通氣口一一對應設置且相連通；所述通氣管路包括沿其軸向相對設置的第一端和第二端，所述第一端連接于所述混合器的外側壁；沿所述第一端指向所述第二端的方向，所述通氣管路朝向靠近所述混合器的頂壁的方向延伸。
19、本方案中，反應氣體在通氣管路中的流動方向為第二端指向第一端的方向，因此，經通氣管路進入內腔中的反應氣體在慣性作用下會呈向下流動的狀態，不容易發生沿另一通氣口流入其他反應氣體的通氣管路中的情況，從而避免不同的反應氣體的通氣管路之間發生倒灌的情況，降低了不同通氣管路之間相互污染而產生雜質的風險，從而有利于降低污染物堵塞通氣管路的風險，進而有利于改善沉積薄膜的質量、延長薄膜沉積設備的壽命。
20、在一種可能的設計中，所述混合器的頂壁設置有吹掃口，所述吹掃口與所述內腔連通，用于向所述內腔中通入吹掃氣體。
21、本方案中，吹掃口用于向內腔中通入吹掃氣體，以對內腔中的殘留氣體及雜質進行清理。吹掃口設置于混合器的頂壁時，吹掃氣體能從內腔的最高處通入，增大了吹掃氣體的吹掃面積，能夠提高吹掃氣體對于內腔的清理效果，降低內腔中多余的殘留氣體及雜質的含量，有利于改善沉積薄膜的質量。
22、在一種可能的設計中，所述混合器的側壁還設置本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種薄膜沉積設備的氣體混合裝置，其特征在于，所述氣體混合裝置包括：
2.根據權利要求1所述的氣體混合裝置，其特征在于，所述導流件包括用于圍成所述流動空間的頂板、底板和導流板；
3.根據權利要求2所述的氣體混合裝置，其特征在于，所述導流板包括相對設置的第一側和第二側，所述第一側與所述混合器的側壁連接，所述第二側與所述混合器的側壁之間具有間隔，以使所述流動空間與所述混合空間連通。
4.根據權利要求3所述的氣體混合裝置，其特征在于，各個所述通氣口在所述混合器的周向上間隔設置，沿所述混合器的周向，任一所述導流板的所述第二側和與其相鄰的另一所述導流板的所述第一側圍成缺口，所述流動空間與所述混合空間通過所述缺口連通。
5.根據權利要求2所述的氣體混合裝置，其特征在于，所述導流板為朝向所述混合器的側壁拱起的弧形板。
6.根據權利要求2所述的氣體混合裝置，其特征在于，沿所述混合器的軸向，所述導流板的高度大于所述通氣口的直徑。
7.根據權利要求1-6中任一項所述的氣體混合裝置，其特征在于，各個所述通氣口在所述混合器的軸向上
8.根據權利要求1-6中任一項所述的氣體混合裝置，其特征在于，所述氣體混合裝置還包括至少兩個通氣管路，所述通氣管路安裝于所述混合器的外側壁，至少兩個所述通氣管路與至少兩個所述通氣口一一對應設置且相連通；
9.根據權利要求1-6中任一項所述的氣體混合裝置，其特征在于，所述氣體混合裝置還包括至少兩個通氣管路，至少兩個所述通氣管路與至少兩個所述通氣口一一對應設置且相連通；
10.根據權利要求1-6中任一項所述的氣體混合裝置，其特征在于，所述混合器的頂壁設置有吹掃口，所述吹掃口與所述內腔連通，用于向所述內腔中通入吹掃氣體。
11.根據權利要求1-6中任一項所述的氣體混合裝置，其特征在于，所述混合器的側壁還設置有吹掃口，所述吹掃口與所述內腔連通，用于向所述內腔中通入吹掃氣體；
12.一種薄膜沉積設備的氣體混合裝置，其特征在于，所述氣體混合裝置包括：
13.一種薄膜沉積設備的氣體混合裝置，其特征在于，所述氣體混合裝置包括：
14.根據權利要求13所述的氣體混合裝置，其特征在于，所述混合器的側壁設置有至少兩個通氣口，至少兩個所述通氣管路與至少兩個所述通氣口一一對應設置，所述通氣管路與所述內腔通過所述通氣口連通；
15.一種薄膜沉積設備，其特征在于，所述薄膜沉積設備包括權利要求1-14中任一項所述的氣體混合裝置。
...【技術特征摘要】
1.一種薄膜沉積設備的氣體混合裝置，其特征在于，所述氣體混合裝置包括：
2.根據權利要求1所述的氣體混合裝置，其特征在于，所述導流件包括用于圍成所述流動空間的頂板、底板和導流板；
3.根據權利要求2所述的氣體混合裝置，其特征在于，所述導流板包括相對設置的第一側和第二側，所述第一側與所述混合器的側壁連接，所述第二側與所述混合器的側壁之間具有間隔，以使所述流動空間與所述混合空間連通。
4.根據權利要求3所述的氣體混合裝置，其特征在于，各個所述通氣口在所述混合器的周向上間隔設置，沿所述混合器的周向，任一所述導流板的所述第二側和與其相鄰的另一所述導流板的所述第一側圍成缺口，所述流動空間與所述混合空間通過所述缺口連通。
5.根據權利要求2所述的氣體混合裝置，其特征在于，所述導流板為朝向所述混合器的側壁拱起的弧形板。
6.根據權利要求2所述的氣體混合裝置，其特征在于，沿所述混合器的軸向，所述導流板的高度大于所述通氣口的直徑。
7.根據權利要求1-6中任一項所述的氣體混合裝置，其特征在于，各個所述通氣口在所述混合器的軸向上相互間隔分布；
8.根據權利要求1-6中任一項所述的氣體混合裝置，其特征在于，所述氣體混合裝置還包括至少...
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