【技術實現步驟摘要】
本申請涉及半導體尾氣過濾，尤其涉及一種自潔式尾氣過濾處理設備。
技術介紹
1、在芯片的生產過程中，在很多工序都會產生各種酸性廢氣、堿性廢氣或者有機廢氣等，這些廢氣中會夾雜各種顆粒物，例如，在薄膜沉積過程中，反應原料未完全反應或副產品可能形成微小顆粒，這些顆粒可能包含有機物、金屬鹽、硅基或氟化物等；干法或濕法蝕刻會產生反應副產品，部分以固態顆粒形式存在，尤其是等離子蝕刻可能產生聚合物顆粒；在化學機械拋光工序中，也會產生各種顆粒物的污染物。這些顆粒物的大小可以從幾納米到幾微米不等，對半導體器件的性能和良率有著直接影響，因此，對尾氣中的顆粒物進行有效過濾和控制是半導體制造中的重要環節。
2、現有技術中，通常采用過濾器對尾氣進行過濾，但是，隨著使用時間的積累，顆粒物會積累在過濾網上，導致過濾效率下降，通常情況下需要定期更換過濾網。但是，更換過濾網時需要拆卸設備，導致設備停機維護時間長，同時，過濾網作為耗材，導致廠商的成本增加。
技術實現思路
1、為了解決上述技術問題，本申請提供了一種自潔式尾氣過濾處理設備，包括依次連通的第一進氣管組件、第一過濾器和第一排氣管組件，所述第一過濾器內形成第一過濾腔，所述第一過濾腔內設置有第一過濾組件，尾氣從第一進氣管組件進入第一過濾腔內，被第一過濾組件過濾后進入第一排氣管組件，所述第一過濾器上設置有第一清潔閥和第二清潔閥，清潔氣體或液體從第一清潔閥進入第一過濾腔內，并從第二清潔閥排出，形成與尾氣相反的流通路徑。
2、本申請一些實施例中，
3、本申請一些實施例中，所述第三過濾部為中空且一端開口的圓柱狀，所述第一過濾部上設置有通孔，所述第三過濾部的開口端設置在所述第一過濾部的通孔上，尾氣進入第一腔室后一部分經過第一過濾部上的過濾孔進入第二腔室內，另一部分進入第三過濾部內，并經過第三過濾部上的過濾孔進入第二腔室內，最后經過第二過濾部上的過濾孔進入第三腔室內。
4、本申請一些實施例中，所述第一清潔閥和所述第二清潔閥均為單向電磁閥。
5、本申請一些實施例中，還包括第二過濾器、第二進氣管組件和第二排氣管組件，所述第二進氣管組件的一端與所述第一進氣管組件連通，另一端與所述第二過濾器連通；所述第二排氣管組件的一端與第一排氣管組件連通，另一端與第二過濾器連通。
6、本申請一些實施例中，所述第二過濾器內形成第二過濾腔，所述第二過濾腔內設置有第二過濾組件。
7、本申請一些實施例中，所述第二過濾器上還設置有第三清潔閥和第四清潔閥，清潔氣體或液體從第三清潔閥進入第二過濾腔內，并從第四清潔閥排出，形成與尾氣相反的流通路徑。
8、本申請一些實施例中，所述第一進氣管組件包括集氣桶，所述集氣桶用于收集并緩存尾氣。
9、本申請一些實施例中，所述第一排氣管組件包括鼓風機，所述鼓風機用于排出過濾后的尾氣。
10、本申請一些實施例中，所述第一進氣管組件和所述第一排氣管組件均包括手動閥，所述手動閥用于控制第一進氣管組件和第二進氣管組件的開啟和關閉。
11、與現有技術相比，本技術具有以下優點和有益效果：本申請的自潔式尾氣過濾處理設備中設置有第一過濾器，第一過濾器用于過濾尾氣；第一過濾器上設置有第一清潔閥和第二清潔閥，清潔氣體或液體從第一清潔閥進入第一過濾腔內，并從第二清潔閥排出，形成與尾氣相反的流通路徑，如此，清潔氣體或液體可以帶走積累在第一過濾組件上的顆粒，以去除或減少積累在第一過濾組件上的顆粒，實現對第一過濾組件的清潔，達到自清潔的效果，同時，清潔的時間短，無需定期更換第一過濾組件，無需拆卸第一過濾器，節省了設備停機維護的時間，節省了更換第一過濾組件的成本。
12、應當理解的是，以上的一般描述和后文的細節描述僅是示例性和解釋性的，并不能限制本文。
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1.一種自潔式尾氣過濾處理設備，包括依次連通的第一進氣管組件（10）、第一過濾器（20）和第一排氣管組件（30），所述第一過濾器（20）內形成第一過濾腔，所述第一過濾腔內設置有第一過濾組件（201），尾氣從第一進氣管組件（10）進入第一過濾腔內，被第一過濾組件（201）過濾后進入第一排氣管組件（30），其特征在于，所述第一過濾器（20）上設置有第一清潔閥（40）和第二清潔閥（50），清潔氣體或液體從第一清潔閥（40）進入第一過濾腔內，并從第二清潔閥（50）排出，形成與尾氣相反的流通路徑；
2.根據權利要求1所述的自潔式尾氣過濾處理設備，其特征在于，所述第一清潔閥（40）和所述第二清潔閥（50）均為單向電磁閥。
3.根據權利要求1所述的自潔式尾氣過濾處理設備，其特征在于，還包括第二過濾器（60）、第二進氣管組件（70）和第二排氣管組件（80），所述第二進氣管組件（70）的一端與所述第一進氣管組件（10）連通，另一端與所述第二過濾器（60）連通；所述第二排氣管組件（80）的一端與第一排氣管組件（30）連通，另一端與第二過濾器（60）連通。
4.根據
5.根據權利要求3所述的自潔式尾氣過濾處理設備，其特征在于，所述第二過濾器（60）上還設置有第三清潔閥和第四清潔閥，清潔氣體或液體從第三清潔閥進入第二過濾腔內，并從第四清潔閥排出，形成與尾氣相反的流通路徑。
6.根據權利要求1所述的自潔式尾氣過濾處理設備，其特征在于，所述第一進氣管組件（10）包括集氣桶（101），所述集氣桶（101）用于收集并緩存尾氣。
7.根據權利要求1所述的自潔式尾氣過濾處理設備，其特征在于，所述第一排氣管組件（30）包括鼓風機（301），所述鼓風機（301）用于排出過濾后的尾氣。
8.根據權利要求1所述的自潔式尾氣過濾處理設備，其特征在于，所述第一進氣管組件（10）和所述第一排氣管組件（30）均包括手動閥，所述手動閥用于控制第一進氣管組件（10）和第二進氣管組件（70）的開啟和關閉。
...【技術特征摘要】
1.一種自潔式尾氣過濾處理設備，包括依次連通的第一進氣管組件（10）、第一過濾器（20）和第一排氣管組件（30），所述第一過濾器（20）內形成第一過濾腔，所述第一過濾腔內設置有第一過濾組件（201），尾氣從第一進氣管組件（10）進入第一過濾腔內，被第一過濾組件（201）過濾后進入第一排氣管組件（30），其特征在于，所述第一過濾器（20）上設置有第一清潔閥（40）和第二清潔閥（50），清潔氣體或液體從第一清潔閥（40）進入第一過濾腔內，并從第二清潔閥（50）排出，形成與尾氣相反的流通路徑；
2.根據權利要求1所述的自潔式尾氣過濾處理設備，其特征在于，所述第一清潔閥（40）和所述第二清潔閥（50）均為單向電磁閥。
3.根據權利要求1所述的自潔式尾氣過濾處理設備，其特征在于，還包括第二過濾器（60）、第二進氣管組件（70）和第二排氣管組件（80），所述第二進氣管組件（70）的一端與所述第一進氣管組件（10）連通，另一端與所述第二過濾器（60）連通；所述第二排氣管組件（80）的一端與第一排氣管組件（30）連通，另一...
【專利技術屬性】
技術研發人員：崔漢寬，程勇，
申請(專利權)人：上海高笙集成電路設備有限公司，
類型：新型
國別省市：
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