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    硒化鋅基底鍍制DLC膜層的制備方法技術

    技術編號:44425689 閱讀:6 留言:0更新日期:2025-02-28 18:39
    一種硒化鋅基底鍍制DLC膜層的制備方法包括步驟:S1,鍍前鏡片清潔;S2,鏡片放入工裝夾具,掛入腔體內,腔體的溫度設定為130℃;S3,真空鍍膜機啟動,抽真空并腔體加熱,真空度達到1.5×10<supgt;?3</supgt;Pa且腔體的溫度達到設定溫度時,打開真空鍍膜機的霍爾離子源進行清洗;S4,真空度達到1.0×10<supgt;?3</supgt;Pa時,在鏡片的需要鍍制DLC膜層的面上依次鍍制251nmGe/211nmZnS/667.6nmGe構成的介質層,均采用離子源輔助沉積且在腔體的設定溫度下沉積;S5,鍍制介質層完成后,腔體自然降溫冷卻,將工裝夾具連同鏡片取出;S6,檢查產品的介質層的光潔度;S7,將陪鍍片和光潔度檢測合格的產品置于碳膜機的底板上;S8,碳膜機RF離子源進行清洗;S9,碳膜機鍍制DLC膜層;S10,冷卻,開門取出鏡片。

    【技術實現步驟摘要】

    本公開涉及光學鍍膜領域,更具體地涉及一種硒化鋅基底鍍制dlc膜層的制備方法。


    技術介紹

    1、硒化鋅(znse)是一種非常好的紅外材料,透光范圍寬,對紅外波長具有低吸收性,并可透射可見光,是制作紅外透鏡、窗口、輸出耦合鏡和擴束鏡的優質材料,從0.5μm一直透到19μm,具有良好的成像特性和熱沖擊特性,由于硒化鋅鏡片用來做窗口片,需具備在惡劣環境下長時間正常的能力,如大氣高速飛行、抗擊異物摩擦、在陰雨潮濕天氣抵抗雨水的浸泡及腐蝕等等。類金剛石(dlc)膜很好地解決了這些問題,但硒化鋅基底直接鍍制dlc膜層附著力較差。


    技術實現思路

    1、鑒于
    技術介紹
    中存在的問題,本公開的一目的在于提供一種硒化鋅基底鍍制dlc膜層的制備方法,其制備的硒化鋅基底的陪鍍片連同對應面上的含dlc膜層的膜系在8-12μm波段的單面透過率平均大于77.5%。

    2、本公開的另一目的在于提供一種硒化鋅基底鍍制dlc膜層的制備方法,其制備的硒化鋅基底的連同對應面上的含dlc膜層的膜系能夠滿足作為窗口片在各種惡劣環境下的使用、滿足應用端的要求。

    3、由此,一種硒化鋅基底鍍制dlc膜層的制備方法包括步驟:s1,鍍前針對作為鏡片的硒化鋅基底的陪鍍片和產品的需要鍍制dlc膜層的面進行清潔;s2,將清潔處理好的鏡片放入工裝夾具,放好鏡片的工裝夾具掛入真空鍍膜機的腔體內,腔體的溫度設定為130℃;s3,真空鍍膜機啟動,抽真空并腔體加熱,真空度達到1.5×10-3pa且腔體的溫度達到設定溫度時,打開真空鍍膜機的霍爾離子源進行清洗,清洗時間為6min,霍爾離子源的陽極電壓為220v、陽極電流為1.2-1.5a、中和電流為1.3-1.5a、中和氣流量為10sccm、氬氣流量占比為100%;s4,真空度達到1.0×10-3pa時,在鏡片的需要鍍制dlc膜層的面上依次鍍制251nmge/211nmzns/667.6nmge構成的介質層,其中,ge、zns前的帶有nm的數字為對應膜層的厚度,ge膜層采用電子束蒸發,zns膜層采用電阻加熱蒸發,ge膜層的沉積速率為0.4nm/s,zns的沉積速率為0.6nm/s,介質層的各膜層均采用離子源輔助沉積且在腔體的設定溫度下沉積;s5,鍍制介質層完成后,腔體自然降溫冷卻至80℃以下,將工裝夾具連同鏡片取出;s6,將鍍制好介質層的鏡片取出,檢查產品的介質層的光潔度;s7,將陪鍍片和光潔度檢測合格的產品以介質層向上置于碳膜機的底板上;s8,碳膜機抽真空達到1.2×10-3pa時,碳膜機開始rf離子源進行清洗,清洗時間3min,rf離子源的氬氣流量為20sccm、功率為600-700w;s9,碳膜機真空達到8.0×10-4pa開始鍍制dlc膜層,甲烷氣體流量為160sccm,氬氣流量為10sccm,rf電源的功率為1000w,沉積時間為3800s,dlc膜層的厚度為1200nm;s10,鍍制dlc膜層完成后,碳膜機冷卻50-60min,開門取出鏡片。

    4、本公開的有益效果如下:在根據本公開的硒化鋅基底鍍制dlc膜層的制備方法中,通過步驟s1至步驟s10、通過251nmge/211nmzns/667.6nmge構成的介質層打底來進行硒化鋅基底的1200nmdlc膜層鍍制,如測試過程所驗證地,硒化鋅基底的陪鍍片連同對應面上的含dlc膜層的膜系(即介質層加dlc膜層)不僅能夠實現在8-12μm波段的單面透過率平均大于77.5%(具體為77.81%),而且通過水泡試驗、鹽霧試驗、粘接力試驗、冷熱沖擊試驗、恒溫恒濕試驗、恒溫恒濕試驗、耐摩擦試驗(中度摩擦試驗)、低溫試驗和高溫試驗,從而能夠滿足作為窗口片在各種惡劣環境下的使用,滿足應用端的要求。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種硒化鋅基底鍍制DLC膜層的制備方法,其特征在于,包括步驟:

    2.據權利要求1所述的硒化鋅基底鍍制DLC膜層的制備方法,其特征在于,

    3.根據權利要求2所述的硒化鋅基底鍍制DLC膜層的制備方法,其特征在于,

    4.根據權利要求1所述的硒化鋅基底鍍制DLC膜層的制備方法,其特征在于,

    5.根據權利要求1所述的硒化鋅基底鍍制DLC膜層的制備方法,其特征在于,

    6.根據權利要求1所述的硒化鋅基底鍍制DLC膜層的制備方法,其特征在于,

    7.根據權利要求1所述的硒化鋅基底鍍制DLC膜層的制備方法,其特征在于,在步驟S4中,

    8.根據權利要求1所述的硒化鋅基底鍍制DLC膜層的制備方法,其特征在于,

    9.根據權利要求1所述的硒化鋅基底鍍制DLC膜層的制備方法,其特征在于,

    10.根據權利要求1所述的硒化鋅基底鍍制DLC膜層的制備方法,其特征在于,

    【技術特征摘要】

    1.一種硒化鋅基底鍍制dlc膜層的制備方法,其特征在于,包括步驟:

    2.據權利要求1所述的硒化鋅基底鍍制dlc膜層的制備方法,其特征在于,

    3.根據權利要求2所述的硒化鋅基底鍍制dlc膜層的制備方法,其特征在于,

    4.根據權利要求1所述的硒化鋅基底鍍制dlc膜層的制備方法,其特征在于,

    5.根據權利要求1所述的硒化鋅基底鍍制dlc膜層的制備方法,其特征在于,

    6.根...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:梁獻波劉夢佳劉克武,
    申請(專利權)人:安徽光智科技有限公司,
    類型:發明
    國別省市:

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