【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專(zhuān)利技術(shù)屬于半導(dǎo)體，涉及一種化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)方法、系統(tǒng)及裝置。
技術(shù)介紹
1、隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，為了提高半導(dǎo)體濕法清洗或者刻蝕機(jī)臺(tái)的使用效率，增加機(jī)臺(tái)的工藝兼容性，需要cds(chemical?dispense?system，化學(xué)品分配系統(tǒng))可在不同濃度的藥液之間進(jìn)行切換以對(duì)應(yīng)不同的處理工藝。當(dāng)需要對(duì)藥液濃度進(jìn)行切換時(shí)，需要排掉cds中的藥液以注入新的藥液，這樣做不僅浪費(fèi)大量的藥液原料，增加生產(chǎn)成本，還浪費(fèi)機(jī)臺(tái)的生產(chǎn)時(shí)間，影響機(jī)臺(tái)的使用效率。
2、比如常用的dhf(稀氫氟酸，diluted?hydrofluoric?acid)，配比為1:100，1:200，1:300，1:500。為了適用于不同的半導(dǎo)體處理工藝，需要在不同濃度的dhf之間進(jìn)行切換。
3、因此，提供一種化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)方法、系統(tǒng)及裝置，實(shí)屬必要。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本專(zhuān)利技術(shù)的目的在于提供一種化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)方法、系統(tǒng)及裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)成本高、效率低的問(wèn)題。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，一種化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)方法，包括：
3、比較化學(xué)液當(dāng)前濃度與目標(biāo)濃度大小；
4、若是目標(biāo)濃度小于當(dāng)前濃度，基于第一補(bǔ)償關(guān)系，結(jié)合化學(xué)液的當(dāng)前密度、當(dāng)前濃度、當(dāng)前體積、目標(biāo)濃度及第一補(bǔ)充液體的密度得到目標(biāo)補(bǔ)充量，其中第一補(bǔ)償關(guān)系用于表征目標(biāo)補(bǔ)充量與化學(xué)液當(dāng)前密度、當(dāng)前濃度、當(dāng)前體積、目標(biāo)濃度及第一補(bǔ)充液體的密度之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系；
5、若是目標(biāo)濃度大于當(dāng)前濃度，基于第二補(bǔ)償關(guān)系，結(jié)合化學(xué)液的當(dāng)前濃度、目標(biāo)濃度、當(dāng)前體積、當(dāng)前密度、第二補(bǔ)充液體的密度、第二補(bǔ)充液體的濃度得到目標(biāo)補(bǔ)充量，其中第二補(bǔ)償關(guān)系用于表征目標(biāo)補(bǔ)充量與化學(xué)液的當(dāng)前濃度、目標(biāo)濃度、當(dāng)前體積、當(dāng)前密度、第二補(bǔ)充液體的密度、第二補(bǔ)充液體的濃度之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系；
6、根據(jù)所述目標(biāo)補(bǔ)充量向所述化學(xué)液中補(bǔ)充相應(yīng)補(bǔ)充液體。
7、可選地，所述第二補(bǔ)償關(guān)系為：
8、vw＝ρ1vc(c2-c1)/ρw(cw-c2)
9、其中，vw為目標(biāo)補(bǔ)充量，c1為化學(xué)液的當(dāng)前濃度，c2為化學(xué)液的目標(biāo)濃度、cw為第二補(bǔ)充液體的濃度、vc為化學(xué)液的當(dāng)前體積、ρ1為化學(xué)液的當(dāng)前密度、ρw為第二補(bǔ)充液體的密度。
10、可選地，所述第一補(bǔ)償關(guān)系為：
11、vw＝c1ρ1vc/c2ρw-ρ1vc/ρw
12、其中，vw為目標(biāo)補(bǔ)充量，c1為化學(xué)液的當(dāng)前濃度，c2為化學(xué)液的目標(biāo)濃度、vc為化學(xué)液的當(dāng)前體積、ρ1為化學(xué)液的當(dāng)前密度、ρw為第一補(bǔ)充液體的密度。
13、可選地，在比較化學(xué)液當(dāng)前濃度與目標(biāo)濃度大小前，先向化學(xué)液中注入定量的液體并混合，根據(jù)注入液體的體積與密度，結(jié)合化學(xué)液的原始濃度、原始密度、當(dāng)前濃度，得到化學(xué)液的當(dāng)前體積；其中所述注入液體為第一補(bǔ)充液體或第二補(bǔ)充液體，所述注入液體的量小于目標(biāo)補(bǔ)充量的二分之一，當(dāng)前濃度、當(dāng)前體積分別為化學(xué)液混合后的濃度、體積?？蛇x地，所述化學(xué)液的當(dāng)前體積可通過(guò)以下計(jì)算方式獲得：
14、先向化學(xué)液中注入定量的液體并混合；
15、根據(jù)注入液體的體積與密度，結(jié)合化學(xué)液的原始濃度、原始密度、當(dāng)前濃度，得到化學(xué)液的原始體積，其中注入的所述液體為第一補(bǔ)充液體或第二補(bǔ)充液體；
16、基于第一補(bǔ)償關(guān)系或第二補(bǔ)償關(guān)系，結(jié)合化學(xué)液的原始體積得到總補(bǔ)充量，總補(bǔ)充量與注入液體的量之間的差值為目標(biāo)補(bǔ)充量。
17、可選地，如果基于第二補(bǔ)償關(guān)系得到的目標(biāo)補(bǔ)充量大于剩余容量，排掉預(yù)設(shè)量的化學(xué)液得到更新后的當(dāng)前體積，結(jié)合所述第二補(bǔ)償關(guān)系得到更新后的目標(biāo)補(bǔ)充量；其中所述預(yù)設(shè)量為更新前的目標(biāo)補(bǔ)充量與剩余容量的差值。
18、可選地，如果基于第一補(bǔ)償關(guān)系得到的目標(biāo)補(bǔ)充量大于剩余容量，排掉預(yù)設(shè)量的化學(xué)液得到更新后的當(dāng)前體積，結(jié)合所述第一補(bǔ)償關(guān)系得到更新后的目標(biāo)補(bǔ)充量；其中所述預(yù)設(shè)量為更新前的目標(biāo)補(bǔ)充量與所述剩余容量的差值。
19、可選地，根據(jù)目標(biāo)補(bǔ)充量調(diào)節(jié)化學(xué)液濃度，獲取調(diào)節(jié)后的化學(xué)液濃度，若等于目標(biāo)濃度，則化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)結(jié)束，若不等于目標(biāo)濃度，則返回重新執(zhí)行直到得到調(diào)節(jié)后的化學(xué)液濃度等于目標(biāo)濃度。
20、可選地，返回重新執(zhí)行之前，比較執(zhí)行返回執(zhí)行次數(shù)是否小于等于設(shè)定次數(shù)n，若小于等于則返回繼續(xù)執(zhí)行，若大于則停止循環(huán)。
21、可選地，所述第一補(bǔ)充液體為化學(xué)液對(duì)應(yīng)溶劑，所述第二補(bǔ)充液體為化學(xué)液對(duì)應(yīng)溶質(zhì)或者濃度大于目標(biāo)濃度的化學(xué)液。
22、為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本專(zhuān)利技術(shù)還提供一種化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，包括：
23、體積獲取模塊，用于獲取化學(xué)液的當(dāng)前體積；
24、濃度比較模塊，用于比較化學(xué)液目標(biāo)濃度與當(dāng)前濃度的大?。?/p>
25、補(bǔ)償關(guān)系獲取模塊，用于獲取第一補(bǔ)償關(guān)系與第二補(bǔ)償關(guān)系，其中第一補(bǔ)償關(guān)系用于表征目標(biāo)補(bǔ)充量與化學(xué)液當(dāng)前密度、當(dāng)前濃度、當(dāng)前體積、目標(biāo)濃度及第一補(bǔ)充液體的密度之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，第二補(bǔ)償關(guān)系用于表征目標(biāo)補(bǔ)充量與化學(xué)液的當(dāng)前濃度、目標(biāo)濃度、當(dāng)前體積、當(dāng)前密度、第二補(bǔ)充液體的密度、第二補(bǔ)充液體的濃度之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系；
26、補(bǔ)充量確定模塊，用于根據(jù)化學(xué)液目標(biāo)濃度與當(dāng)前濃度的大小比較結(jié)果，結(jié)合第一補(bǔ)償關(guān)系或第二補(bǔ)償關(guān)系確定目標(biāo)補(bǔ)充量。
27、為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本專(zhuān)利技術(shù)還提供一種化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)裝置，包括：
28、處理器；
29、與所述處理器耦合的存儲(chǔ)器，所述存儲(chǔ)器存儲(chǔ)有處理器可執(zhí)行指令，所述指令在被所述處理器執(zhí)行時(shí)使所述處理器執(zhí)行如上述的方法。
30、如上所述，本專(zhuān)利技術(shù)的化學(xué)液調(diào)節(jié)方法、系統(tǒng)及裝置，根據(jù)目標(biāo)補(bǔ)充量調(diào)節(jié)化學(xué)液的濃度，使得化學(xué)液濃度切換到目標(biāo)濃度，不需要換掉當(dāng)前化學(xué)液，降低了成本，同時(shí)可以快速實(shí)現(xiàn)化學(xué)液濃度的調(diào)節(jié)，節(jié)省了切換不同濃度化學(xué)液的等待時(shí)間。
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1.一種化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)方法，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)方法，其特征在于，所述第二補(bǔ)償關(guān)系為：
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)方法，其特征在于，所述第一補(bǔ)償關(guān)系為：
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)方法，其特征在于，還包括在比較化學(xué)液當(dāng)前濃度與目標(biāo)濃度大小前，先向化學(xué)液中注入定量的液體并混合，根據(jù)注入液體的體積與密度，結(jié)合化學(xué)液的原始濃度、原始密度、當(dāng)前濃度，得到化學(xué)液的當(dāng)前體積；其中所述注入液體為第一補(bǔ)充液體或第二補(bǔ)充液體，所述注入液體的量小于目標(biāo)補(bǔ)充量的二分之一，當(dāng)前濃度、當(dāng)前體積分別為化學(xué)液混合后的濃度、體積。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)方法，其特征在于，如果基于第二補(bǔ)償關(guān)系得到的目標(biāo)補(bǔ)充量大于剩余容量，排掉預(yù)設(shè)量的化學(xué)液得到更新后的當(dāng)前體積，結(jié)合所述第二補(bǔ)償關(guān)系得到更新后的目標(biāo)補(bǔ)充量，其中所述預(yù)設(shè)量為更新前的目標(biāo)補(bǔ)充量與所述剩余容量的差值。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)方法，其特征在于，如果基于第一補(bǔ)償關(guān)系得到的目標(biāo)補(bǔ)充量大于剩余容量，排掉預(yù)設(shè)
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)方法，其特征在于，根據(jù)目標(biāo)補(bǔ)充量調(diào)節(jié)化學(xué)液濃度，獲取調(diào)節(jié)后的化學(xué)液濃度，若等于目標(biāo)濃度，則化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)結(jié)束，若不等于目標(biāo)濃度，則返回重新執(zhí)行直到得到調(diào)節(jié)后的化學(xué)液濃度等于目標(biāo)濃度。
8.根據(jù)權(quán)利要求8所述的化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)方法，其特征在于：返回重新執(zhí)行之前，比較執(zhí)行返回執(zhí)行次數(shù)是否小于等于設(shè)定次數(shù)N，若小于等于則返回繼續(xù)執(zhí)行，若大于則停止循環(huán)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)方法，其特征在于：所述第一補(bǔ)充液體為化學(xué)液對(duì)應(yīng)溶劑，所述第二補(bǔ)充液體為化學(xué)液對(duì)應(yīng)溶質(zhì)或者濃度大于目標(biāo)濃度的化學(xué)液。
10.一種化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，其特征在于，包括：
11.一種化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括：
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)方法，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)方法，其特征在于，所述第二補(bǔ)償關(guān)系為：
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)方法，其特征在于，所述第一補(bǔ)償關(guān)系為：
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)方法，其特征在于，還包括在比較化學(xué)液當(dāng)前濃度與目標(biāo)濃度大小前，先向化學(xué)液中注入定量的液體并混合，根據(jù)注入液體的體積與密度，結(jié)合化學(xué)液的原始濃度、原始密度、當(dāng)前濃度，得到化學(xué)液的當(dāng)前體積；其中所述注入液體為第一補(bǔ)充液體或第二補(bǔ)充液體，所述注入液體的量小于目標(biāo)補(bǔ)充量的二分之一，當(dāng)前濃度、當(dāng)前體積分別為化學(xué)液混合后的濃度、體積。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)液濃度調(diào)節(jié)方法，其特征在于，如果基于第二補(bǔ)償關(guān)系得到的目標(biāo)補(bǔ)充量大于剩余容量，排掉預(yù)設(shè)量的化學(xué)液得到更新后的當(dāng)前體積，結(jié)合所述第二補(bǔ)償關(guān)系得到更新后的目標(biāo)補(bǔ)充量，其中所述預(yù)設(shè)量為更新前的目標(biāo)補(bǔ)充量與所述剩余容量的差值。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)液濃...
【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陳建，丁建軍，初振明，張曉燕，王暉，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：盛美半導(dǎo)體設(shè)備上海股份有限公司，
類(lèi)型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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