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【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及化學溶劑瓶,特別是涉及一種化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法。
技術介紹
1、目前,化學領域中,化學溶劑的運輸和儲存過程中,很容易形成氧化反應,而有些溶劑的性質比較粘稠,會粘在承載容器的內表面,也給清洗工作帶來一定困難。專利申請cn1351676a公開了一種dlc膜、涂有dlc膜的塑料容器、其生產設備及方法,其鍍膜的方法主要是抗氧化,然而并沒有解決溶劑粘稠、不易清洗和傾倒的問題。
技術實現思路
1、本專利技術實施例針對現有技術中的不足,提供一種化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,包括:
2、采用磁控濺射離子鍍在化學溶劑瓶的內表面上沉積cr結合層;
3、采用磁控濺射離子鍍在所述cr結合層上沉積crc過渡層;
4、采用磁控濺射離子鍍在所述crc過渡層沉積上復合物層;其中,所述復合物層包括cr、ti和dlc,所述復合物層的厚度為10-15μm;
5、采用磁控濺射離子鍍在所述復合物層上形成氟層。
6、作為優選方案,所述采用磁控濺射離子鍍在所述復合物層上形成氟層,具體包括:
7、采用磁控濺射離子鍍,以cf4作為摻雜氣體,在所述復合物層上摻雜氟層,其中,cf4流量為150sccm,采用零偏壓,離子能量為300ev,離子束密度為100ua/cm2,在真空度為3.0×10-4的真空環境下,摻雜時間為25min,氟的沉積速率為0.5-0.70/s。
8、作為優選方案,所述氟層的厚度為50。
9、作為優選方案
10、采用磁控濺射離子鍍,抽真空到1.0×10-3pa以上真空度,而后通入氬氣,氣壓控制在1.0-1.5pa,cr靶電流為1.5a,負偏壓為100v,偏壓頻率為250khz;其中,所述cr結合層的厚度為4-6μm。
11、作為優選方案,所述cr結合層的厚度為5μm。
12、作為優選方案,所述采用磁控濺射離子鍍在所述cr結合層上沉積crc過渡層,具體包括:
13、采用磁控濺射離子鍍,控制cr靶繼續工作,并打開平面c靶的控制電源,將平面c靶的電源功率調至5kw,在cr結合層上制備crc過渡層,所述crc過渡層的厚度為7-9μm。
14、作為優選方案,所述crc過渡層的厚度為8μm。
15、作為優選方案,所述采用磁控濺射離子鍍在所述crc過渡層沉積上復合物層,具體包括:
16、采用磁控濺射離子鍍,抽真空到1.2×10-3pa以上真空度,而后通入氮氣,氣壓控制在1.0pa,采用三靶共同濺射,其中,cr靶電流為1.0a,ti靶電流為1.5a,c靶電流為2.0a,負偏壓為100v,偏壓頻率為120khz。
17、作為優選方案,在所述采用磁控濺射離子鍍在化學溶劑瓶的內表面上沉積cr結合層之前,還包括:
18、對化學溶劑瓶的內底面進行粗糙度處理。
19、作為優選方案,在所述對化學溶劑瓶的內底面進行表面粗糙度處理之后,所述化學溶劑瓶的內底面的粗糙度ra為1-2μm。
20、相比于現有技術,本專利技術實施例的有益效果在于:本專利技術實施例提供了一種化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,首先,采用磁控濺射離子鍍在化學溶劑瓶的內表面上沉積cr結合層,然后,采用磁控濺射離子鍍在所述cr結合層上沉積crc過渡層,接著,采用磁控濺射離子鍍在所述crc過渡層沉積上復合物層,所述復合物層包括cr、ti和dlc,所述復合物層的厚度為10-15μm,最后,采用磁控濺射離子鍍在所述復合物層上形成氟層,以使得化學溶劑瓶內表面光滑致密、不親油,從而使得化學溶劑無法在其表面附著,進而易于清洗化學溶劑瓶和傾倒溶劑。
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1.一種化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,包括:
2.如權利要求1所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述采用磁控濺射離子鍍在所述復合物層上形成氟層,具體包括:
3.如權利要求2所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述氟層的厚度為50。
4.如權利要求1所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述采用磁控濺射離子鍍在化學溶劑瓶的內表面上沉積Cr結合層,具體包括:
5.如權利要求4所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述Cr結合層的厚度為5μm。
6.如權利要求4所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述采用磁控濺射離子鍍在所述Cr結合層上沉積CrC過渡層,具體包括:
7.如權利要求6所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述CrC過渡層的厚度為8μm。
8.如權利要求1所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述采用磁控濺射離子鍍在所述CrC過渡層沉積上復合物層,具體包括:
9.如權利要求1-8任一項所述的化學溶劑瓶內表面
10.如權利要求9所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,在所述對化學溶劑瓶的內底面進行表面粗糙度處理之后,所述化學溶劑瓶的內底面的粗糙度Ra為1-2μm。
...【技術特征摘要】
1.一種化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,包括:
2.如權利要求1所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述采用磁控濺射離子鍍在所述復合物層上形成氟層,具體包括:
3.如權利要求2所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述氟層的厚度為50。
4.如權利要求1所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述采用磁控濺射離子鍍在化學溶劑瓶的內表面上沉積cr結合層,具體包括:
5.如權利要求4所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述cr結合層的厚度為5μm。
6.如權利要求4所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述采用磁控濺射離子...
【專利技術屬性】
技術研發人員:何小麟,
申請(專利權)人:東莞新科技術研究開發有限公司,
類型:發明
國別省市:
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