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    化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法技術

    技術編號:44427345 閱讀:2 留言:0更新日期:2025-02-28 18:40
    本發明專利技術公開了一種化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,首先,采用磁控濺射離子鍍在化學溶劑瓶的內表面上沉積Cr結合層,然后,采用磁控濺射離子鍍在所述Cr結合層上沉積CrC過渡層,接著,采用磁控濺射離子鍍在所述CrC過渡層沉積上復合物層,所述復合物層包括Cr、T?i和DLC,所述復合物層的厚度為10?15μm,最后,采用磁控濺射離子鍍在所述復合物層上形成氟層,以使得化學溶劑瓶內表面光滑致密、不親油,從而使得化學溶劑無法在其表面附著,進而易于清洗化學溶劑瓶和傾倒溶劑。

    【技術實現步驟摘要】

    本專利技術涉及化學溶劑瓶,特別是涉及一種化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法


    技術介紹

    1、目前,化學領域中,化學溶劑的運輸和儲存過程中,很容易形成氧化反應,而有些溶劑的性質比較粘稠,會粘在承載容器的內表面,也給清洗工作帶來一定困難。專利申請cn1351676a公開了一種dlc膜、涂有dlc膜的塑料容器、其生產設備及方法,其鍍膜的方法主要是抗氧化,然而并沒有解決溶劑粘稠、不易清洗和傾倒的問題。


    技術實現思路

    1、本專利技術實施例針對現有技術中的不足,提供一種化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,包括:

    2、采用磁控濺射離子鍍在化學溶劑瓶的內表面上沉積cr結合層;

    3、采用磁控濺射離子鍍在所述cr結合層上沉積crc過渡層;

    4、采用磁控濺射離子鍍在所述crc過渡層沉積上復合物層;其中,所述復合物層包括cr、ti和dlc,所述復合物層的厚度為10-15μm;

    5、采用磁控濺射離子鍍在所述復合物層上形成氟層。

    6、作為優選方案,所述采用磁控濺射離子鍍在所述復合物層上形成氟層,具體包括:

    7、采用磁控濺射離子鍍,以cf4作為摻雜氣體,在所述復合物層上摻雜氟層,其中,cf4流量為150sccm,采用零偏壓,離子能量為300ev,離子束密度為100ua/cm2,在真空度為3.0×10-4的真空環境下,摻雜時間為25min,氟的沉積速率為0.5-0.70/s。

    8、作為優選方案,所述氟層的厚度為50。

    9、作為優選方案,所述采用磁控濺射離子鍍在化學溶劑瓶的內表面上沉積cr結合層,具體包括:

    10、采用磁控濺射離子鍍,抽真空到1.0×10-3pa以上真空度,而后通入氬氣,氣壓控制在1.0-1.5pa,cr靶電流為1.5a,負偏壓為100v,偏壓頻率為250khz;其中,所述cr結合層的厚度為4-6μm。

    11、作為優選方案,所述cr結合層的厚度為5μm。

    12、作為優選方案,所述采用磁控濺射離子鍍在所述cr結合層上沉積crc過渡層,具體包括:

    13、采用磁控濺射離子鍍,控制cr靶繼續工作,并打開平面c靶的控制電源,將平面c靶的電源功率調至5kw,在cr結合層上制備crc過渡層,所述crc過渡層的厚度為7-9μm。

    14、作為優選方案,所述crc過渡層的厚度為8μm。

    15、作為優選方案,所述采用磁控濺射離子鍍在所述crc過渡層沉積上復合物層,具體包括:

    16、采用磁控濺射離子鍍,抽真空到1.2×10-3pa以上真空度,而后通入氮氣,氣壓控制在1.0pa,采用三靶共同濺射,其中,cr靶電流為1.0a,ti靶電流為1.5a,c靶電流為2.0a,負偏壓為100v,偏壓頻率為120khz。

    17、作為優選方案,在所述采用磁控濺射離子鍍在化學溶劑瓶的內表面上沉積cr結合層之前,還包括:

    18、對化學溶劑瓶的內底面進行粗糙度處理。

    19、作為優選方案,在所述對化學溶劑瓶的內底面進行表面粗糙度處理之后,所述化學溶劑瓶的內底面的粗糙度ra為1-2μm。

    20、相比于現有技術,本專利技術實施例的有益效果在于:本專利技術實施例提供了一種化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,首先,采用磁控濺射離子鍍在化學溶劑瓶的內表面上沉積cr結合層,然后,采用磁控濺射離子鍍在所述cr結合層上沉積crc過渡層,接著,采用磁控濺射離子鍍在所述crc過渡層沉積上復合物層,所述復合物層包括cr、ti和dlc,所述復合物層的厚度為10-15μm,最后,采用磁控濺射離子鍍在所述復合物層上形成氟層,以使得化學溶劑瓶內表面光滑致密、不親油,從而使得化學溶劑無法在其表面附著,進而易于清洗化學溶劑瓶和傾倒溶劑。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,包括:

    2.如權利要求1所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述采用磁控濺射離子鍍在所述復合物層上形成氟層,具體包括:

    3.如權利要求2所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述氟層的厚度為50。

    4.如權利要求1所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述采用磁控濺射離子鍍在化學溶劑瓶的內表面上沉積Cr結合層,具體包括:

    5.如權利要求4所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述Cr結合層的厚度為5μm。

    6.如權利要求4所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述采用磁控濺射離子鍍在所述Cr結合層上沉積CrC過渡層,具體包括:

    7.如權利要求6所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述CrC過渡層的厚度為8μm。

    8.如權利要求1所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述采用磁控濺射離子鍍在所述CrC過渡層沉積上復合物層,具體包括:

    9.如權利要求1-8任一項所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,在所述采用磁控濺射離子鍍在化學溶劑瓶的內表面上沉積Cr結合層之前,還包括:

    10.如權利要求9所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,在所述對化學溶劑瓶的內底面進行表面粗糙度處理之后,所述化學溶劑瓶的內底面的粗糙度Ra為1-2μm。

    ...

    【技術特征摘要】

    1.一種化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,包括:

    2.如權利要求1所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述采用磁控濺射離子鍍在所述復合物層上形成氟層,具體包括:

    3.如權利要求2所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述氟層的厚度為50。

    4.如權利要求1所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述采用磁控濺射離子鍍在化學溶劑瓶的內表面上沉積cr結合層,具體包括:

    5.如權利要求4所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述cr結合層的厚度為5μm。

    6.如權利要求4所述的化學溶劑瓶內表面的鍍膜方法,其特征在于,所述采用磁控濺射離子...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:何小麟
    申請(專利權)人:東莞新科技術研究開發有限公司
    類型:發明
    國別省市:

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