【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體激光，具體涉及ito襯底及其制備方法、有機電泵浦激光二極管及其制備方法和應用。
技術介紹
1、有機染料激光具有光色易調節、加工簡易等優點，已經在軍工、光學、醫學等領域得到大范圍的應用。有機電泵浦激光器件目前仍是有機發光器件領域很難攀爬的一座高峰，主要是因為其要求器件的注入電流密度要達到ka/cm2級別。然而，有機材料受限于較低的熱導率和電導率，在如此高的電流密度注入下器件會嚴重發熱，最終會嚴重影響器件的效率并損壞器件。此外，在電泵浦激光器件中ito導電電極會嚴重淬滅激光材料的激光性能。目前，主要是通過在制備ito時摻入sio2降低電極的折射率來降低光學損耗，或者是通過降低ito電極的厚度來減少光學損耗，但這兩種方法都會犧牲電極的導電性能，造成ito電極無法兼具低光學損耗和高導電性，最終會導致器件很難實現高電流密度的注入。
2、因此，開發一種低光學損耗且高導電性的ito襯底，并進一步制備得到性能優異的有機電泵浦激光二極管具有十分重要的意義。
技術實現思路
1、本專利技術的目的在于提供ito襯底及其制備方法、有機電泵浦激光二極管及其制備方法和應用。
2、本專利技術所采取的技術方案是：
3、一種ito襯底，其組成包括依次層疊設置的透光基板、ito層、金屬層和透光絕緣層；所述ito層為圖案化的ito層；所述金屬層為圖案化的金屬層，且大小和圖案與ito層匹配；所述透光絕緣層為圖案化的透光絕緣層，僅覆蓋金屬層的中間區域；所述ito襯底的中
4、優選地，所述透光基板為白玻璃基板、石英基板、藍寶石基板中的一種。
5、優選地，所述透光基板靠近ito層的那一面還包含分布式布拉格反射膜(dbr膜)。
6、優選地，所述ito層的厚度為15nm～30nm。
7、優選地，所述金屬層的組成成分包括mo、au、al中的至少一種。
8、優選地，所述金屬層的厚度為60nm～250nm。
9、優選地，所述透光絕緣層的組成成分包括二氧化硅、聚酰亞胺、聚苯乙烯、氮化硅中的至少一種。
10、優選地，所述透光絕緣層的厚度為0.6μm～2μm。
11、一種如上所述的ito襯底的制備方法包括以下步驟：
12、1)采用磁控濺射法在透光基板的單面沉積ito，再進行光刻，形成ito層；
13、2)采用磁控濺射法在ito層的表面沉積電極金屬，再進行光刻，形成金屬層；
14、3)采用涂覆法在金屬層的表面涂覆透光絕緣材料，再進行光刻，形成透光絕緣層，即得ito襯底。
15、一種有機電泵浦激光二極管，其組成包括依次層疊設置的襯底、有機發光材料層和金屬電極層，襯底為上述ito襯底。
16、優選地，所述有機發光材料層的組成包括依次層疊設置的空穴傳輸層、發光層和電子傳輸層。
17、優選地，所述空穴傳輸層的組成成分包括npb(n,n'-二苯基-n,n'-(1-萘基)-1,1'-聯苯-4,4'-二胺)、tcta(4,4',4”-三(咔唑-9-基)三苯胺)、tapc(4,4'-環己基二[n,n-二(4-甲基苯基)苯胺])、meotpd(n,n,n',n'-四(4-甲氧基苯基)聯苯胺)、f4-tcnq(2,3,5,6-四氟-7,7',8,8'-四氰醌-二甲烷；縮寫還可以為“tcnqf4”)中的至少一種。
18、優選地，所述空穴傳輸層的厚度為10nm～40nm。
19、優選地，所述發光層的組成成分包括and(9,10-二(2-萘基)蒽)、c545t(10-(2-苯并噻唑)-2,3,6,7-四氫基-1,1,7,7-四甲基-1h,5h,11h-[1]苯并吡喃基[6,7,8-ij]喹嗪-11-酮；俗稱“香豆素545t”)、dcjti(2-[2-異丙基-6-[2-(2,3,6,7-四氫-1,1,7,7-四甲基-1h,5h-苯并[ij]喹嗪-9-基)乙烯基]-4h-吡喃-4-亞基]丙二腈)、dpavbi(4,4'-雙[4-(二對甲苯基氨基)苯乙烯基]聯苯)、bsbcz(4,4'-雙[(9-咔唑基)苯乙烯基]聯苯)中的至少一種。
20、優選地，所述發光層的厚度為20nm～30nm。
21、優選地，所述電子傳輸層的組成成分包括bebq2(雙(10-羥基苯并[h]喹啉)鈹)、alq(8-羥基喹啉鋁)、tmpypb(1,3,5-三(3-吡啶基-3-苯基)苯)、tpbi(2,2',2”-(1,3,5-苯三基)三(1-苯基-1h-苯并咪唑))、bphen(4,7-二苯基-1,10-菲啰啉)、liq(8-羥基喹啉鋰)中的至少一種。
22、優選地，所述電子傳輸層的厚度為10nm～30nm。
23、優選地，所述金屬電極層的組成成分包括ag、mo、au、al中的至少一種。
24、優選地，所述金屬電極層的厚度為60nm～250nm。
25、一種如上所述的有機電泵浦激光二極管的制備方法包括以下步驟：
26、a)采用蒸鍍法在ito襯底的表面蒸鍍有機發光材料，形成有機發光材料層；
27、b)采用蒸鍍法在有機發光材料層的表面蒸鍍電極金屬，形成金屬電極層，即得有機電泵浦激光二極管。
28、一種顯示設備，其包含上述有機電泵浦激光二極管。
29、本專利技術的有益效果是：本專利技術的ito襯底兼具低光學損耗和高導電性，由其制成的有機電泵浦激光二極管可以實現高電流密度的注入，性能十分優異，適合進行大規模工業化生產和應用。
30、具體來說：
31、1)本專利技術的ito襯底中的ito層的厚度僅有15nm～30nm，遠低于常規ito電極(ito層的厚度大于100nm)，可以極大地減少ito層對oled器件內光的淬滅，從而可以顯著提升oled器件的發光效率；
32、2)本專利技術的ito襯底中采用的是金屬導線(金屬層)，其可以有效降低oled器件的整體電容及電阻，從而可以實現更高電流密度的注入；
33、3)本專利技術的有機電泵浦激光二極管采用高熱導率的金屬作為oled發光像素的外壁，可以極大地減少oled器件在高電流密度驅動下產生的熱量；
34、4)本專利技術的有機電泵浦激光二極管可以用于高清oled顯示屏幕(移動端/電視端)、ar、vr等顯示設備。
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1.一種ITO襯底，其特征在于，組成包括依次層疊設置的透光基板、ITO層、金屬層和透光絕緣層；所述ITO層為圖案化的ITO層；所述金屬層為圖案化的金屬層，且大小和圖案與ITO層匹配；所述透光絕緣層為圖案化的透光絕緣層，僅覆蓋金屬層的中間區域；所述ITO襯底的中間區域還設置有若干貫穿透光絕緣層和金屬層直達ITO層表面的通孔。
2.根據權利要求1所述的ITO襯底，其特征在于：所述透光基板為白玻璃基板、石英基板、藍寶石基板中的一種；所述金屬層的組成成分包括Mo、Au、Al中的至少一種；所述透光絕緣層的組成成分包括二氧化硅、聚酰亞胺、聚苯乙烯、氮化硅中的至少一種。
3.根據權利要求1或2所述的ITO襯底，其特征在于：所述ITO層的厚度為15nm～30nm。
4.根據權利要求1或2所述的ITO襯底，其特征在于：所述金屬層的厚度為60nm～250nm；
5.一種如權利要求1～4中任意一項所述的ITO襯底的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
6.一種有機電泵浦激光二極管，其特征在于，組成包括依次層疊設置的襯底、有機發光材料層和金屬電
7.根據權利要求6所述的有機電泵浦激光二極管，其特征在于：所述有機發光材料層的組成包括依次層疊設置的空穴傳輸層、發光層和電子傳輸層。
8.根據權利要求7所述的有機電泵浦激光二極管，其特征在于：所述空穴傳輸層的組成成分包括NPB、TCTA、TAPC、MEOTPD、F4-TCNQ中的至少一種；所述發光層的組成成分包括AND、C545T、DCJTI、DPAVBI、BSBCz中的至少一種；所述電子傳輸層的組成成分包括Bebq2、Alq、Tmpypb、TPBi、BPhen、Liq中的至少一種。
9.一種如權利要求6～8中任意一項所述的有機電泵浦激光二極管的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
10.一種顯示設備，其特征在于，包含權利要求6～8中任意一項所述的有機電泵浦激光二極管。
...【技術特征摘要】
1.一種ito襯底，其特征在于，組成包括依次層疊設置的透光基板、ito層、金屬層和透光絕緣層；所述ito層為圖案化的ito層；所述金屬層為圖案化的金屬層，且大小和圖案與ito層匹配；所述透光絕緣層為圖案化的透光絕緣層，僅覆蓋金屬層的中間區域；所述ito襯底的中間區域還設置有若干貫穿透光絕緣層和金屬層直達ito層表面的通孔。
2.根據權利要求1所述的ito襯底，其特征在于：所述透光基板為白玻璃基板、石英基板、藍寶石基板中的一種；所述金屬層的組成成分包括mo、au、al中的至少一種；所述透光絕緣層的組成成分包括二氧化硅、聚酰亞胺、聚苯乙烯、氮化硅中的至少一種。
3.根據權利要求1或2所述的ito襯底，其特征在于：所述ito層的厚度為15nm～30nm。
4.根據權利要求1或2所述的ito襯底，其特征在于：所述金屬層的厚度為60nm～250nm；
5.一種如權利要求1～4中任意一項所述的ito襯底的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：<...
【專利技術屬性】
技術研發人員：趙基臣，彭俊彪，王劍斌，鄒建華，
申請(專利權)人：華南理工大學，
類型：發明
國別省市：
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