【技術實現步驟摘要】
本申請涉及閥門，尤其是涉及一種膜片閥。
技術介紹
1、膜片閥作為一種重要的流體控制設備，它通過膜片的變形來控制閥門的開啟和關閉；其膜片不僅將介質與大氣隔開，還通過自身的變形來調節閥門的開度。膜片閥具有密封性好、可靠性高、死區小、適用范圍廣等特點。因此得到了廣泛運用。例如，在高純氣體系統中，膜片閥能夠有效地隔離介質與大氣，防止污染，同時其結構設計和材料選擇也確保了其在高壓、真空、高低溫環境下的穩定性和耐用性。膜片閥的應用不僅限于發動機系統，還廣泛應用于其他需要精確控制和隔離的工業和科學領域，例如在半導體和光伏產業中，膜片閥用于高溫氣體的關斷功能等。
2、隨著半導體和光伏材料制造技術的發展，對膜片閥的性能要求也越來越高，有時候需要精準控制通過膜片閥的氣體流量。閥門的cv值（circulation?volume）是衡量閥門流通能力的重要參數，定義為單位時間內、在恒定壓力下，管道介質流經閥門的體積流量。正確計算和選擇cv值是保障管道流量控制系統正常工作的重要步驟。?流量系數值越大，說明流體流過閥門時的壓力損失越小，閥門的流通能力越大。
3、參照圖1所示，相關技術中的膜片閥包括閥體10、位于閥體10內的活塞組件20和膜片30；閥體10上開設有相連通的流體進入通道111和流體排出通道112，閥體10內位于流體進入通道11和流體排出通道12之間設置有用于安裝膜片30的連通腔113，通過活塞組件20推動膜片30變形來封堵流體進入通道111與流體排出通道112的連通；為了保證密封性，活塞組件20與閥體10內壁之間設置有若干
4、相關技術中的膜片閥只有關斷功能，難以精準控制通過膜片閥的氣體流量，無法根據客戶的需求調整cv值；需要更換cv值只能更換另一款閥門，并且安裝尺寸無法保證互換，使用不夠方便。
技術實現思路
1、為了方便調節膜片閥的cv值，本申請提供一種膜片閥。
2、本申請提供的一種膜片閥采用如下的技術方案：
3、一種膜片閥，包括閥體，所述閥體內設置有安裝腔，所述安裝腔內設置有活塞組件和推動所述活塞組件在所述安裝腔內移動的彈性件；
4、所述閥體內分別開設有流體進入通道和流體排出通道；所述流體進入通道和流體排出通道相連通；
5、所述閥體內位于所述流體進入通道與流體排出通道之間設置有膜片；所述活塞組件移動能夠推動所述膜片產生形變用于封堵所述流體進入通道與流體排出通道之間的連通；
6、所述閥體內還設置有用于調節所述活塞組件復位位置的限位調節結構。
7、使用時，高溫氣體等流體從流體進入通道進入閥體內，在彈性件的作用下，推動活塞組件在安裝腔內移動，進而推動膜片產生形變，封堵住流體進入通道與流體排出通道之間的通道，禁止其連通，實現閥門的關閉；當需要打開閥門時，向閥體內氣體，或者其他方式提供外力克服彈性件的彈力，這時候，活塞組件反向移動，膜片在自身彈性力作用下恢復形變，打開流體進入通道與流體排出通道之間的通道，流體就能夠從流體排出通道順利排出。本申請中在閥體內設置了限位調節結構，該限位調節結構可以對活塞組件復位時的極限位置進行限位，通過限位調節結構調節活塞組件極限位置，從而控制膜片在自身彈性力作用下恢復形變的程度，即其打開閥門閥口時的開合大小，進而調節流經膜片閥的流體流量大小。
8、通過采用上述技術方案，本申請中的膜片閥可以利用限位調節結構來改變活塞組件的復位極限位置，從而實現對膜片變形程度的精準控制，實現膜片閥的cv值可調功能，可以根據客戶的不同需求靈活調整閥門的cv值，使用非常方便，也避免了調節cv值需更換閥門帶來的安裝尺寸不匹配的問題，提高了膜片閥使用的便捷性和可靠性。
9、可選的，所述閥體包括母體、氣缸下蓋和氣缸上蓋；所述母體與所述氣缸下蓋的一端相固連，所述氣缸上蓋可拆卸的固連在所述氣缸下蓋的另一端并用于封閉所述安裝腔的端口；所述彈性件的兩端分別作用在所述氣缸上蓋的內側面和所述活塞組件上；所述限位調節結構設置在所述氣缸上蓋上。
10、通過采用上述技術方案，便于整個閥門零部件的組裝，限位調節結構設置在氣缸上蓋上，便于靈活調整，也方便維修更換，同時還可以方便對現有膜片閥進行改造。
11、可選的，所述氣缸上蓋的內側面上具有朝向所述安裝腔內部的安裝筒，所述活塞組件包括滑動設置在所述安裝腔內的第一活塞；所述第一活塞包括第一活塞桿和固設在第一活塞桿端部的第一活塞盤，所述第一活塞桿滑動插設在所述安裝筒內；所述限位調節結構設置在所述安裝筒內用于限制所述第一活塞桿的位置。
12、通過采用上述技術方案，在氣缸上蓋的內側面上設置朝向安裝腔內部的安裝筒，并將限位調節結構設置在安裝筒內以限制第一活塞桿的位置，從而實現對活塞組件復位位置的精確限位控制，進而精準調節膜片閥的開啟程度和cv值，穩定可靠。
13、可選的，所述第一活塞桿的外周面與所述安裝筒的腔壁之間設置有第一密封圈，所述安裝筒內還設置有墊套，所述墊套套設在所述第一活塞桿上且所述墊套位于所述第一密封圈與所述第一活塞盤之間；所述第一活塞盤的外周面與所述安裝腔的腔壁之間設置有第二密封圈。
14、通過采用上述技術方案，提高了第一活塞的密封性，同時保證第一活塞運行的穩定可靠性。
15、可選的，所述限位調節結構包括能夠放置在所述安裝筒內的墊片，所述安裝筒的內壁上具有限位部，所述墊片放置在安裝筒時，所述墊片的一側抵靠在所述限位部上，另一側抵靠在所述第一活塞桿的端面上，通過更換不同厚度規格的墊片或者增減安裝筒內墊片的數量來調節所述第一活塞桿的極限位置。
16、通過采用上述技術方案，更換不同厚度規格的墊片或者增減墊片數量，能夠靈活調整第一活塞桿的極限位置，實現對cv值的精確控制。操作方便，改造成本低。
17、可選的，所述氣缸上蓋內側面外周具有朝向所述氣缸下蓋的連接套筒，所述氣缸下蓋朝向所述氣缸上蓋的一端與所述連接套筒通過螺紋配合可拆卸連接或者通過卡接結構可拆卸連接；
18、所述氣缸下蓋朝向所述母體的一端具有連接筒，所述連接筒上螺接有鎖緊螺母，所述鎖緊螺母能夠與所述母體相螺接使得所述母體與所述連接筒通過所述鎖緊螺母相固連。
19、通過采用上述技術方案，氣缸上蓋與氣缸下蓋之間通過螺紋配合或卡接結構實現可拆卸連接，便于膜片閥的組裝和維護；同時，氣缸下蓋與母體之間通過鎖緊螺母固連，保證了整個膜片閥的結構穩定性，提高了閥門的使用壽命。
20、可選的，所述安裝筒內具有沿其軸向的安裝孔且所述安裝孔貫穿至所述氣缸上蓋的外側面；所述限位調節結構包括螺接在所述安裝孔內的調節螺釘，伸入所述安裝筒內的所述第一活塞桿的端面與所述調節螺釘的內端面相抵接。
21、通過采用上述技術方案，調節螺釘的設置實現了對第一活塞桿端面位置的精確控制，從而精確調節活塞組件的復位位置，進一步實現對膜片閥cv值的精準調控。利用工具從氣缸上蓋的外側面穿過安裝孔直接旋擰調節本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種膜片閥，包括閥體(10)，所述閥體(10)內設置有安裝腔(121)，所述安裝腔(121)內設置有活塞組件(20)和推動所述活塞組件(20)在所述安裝腔(121)內移動的彈性件(60)；
2.根據權利要求1所述的膜片閥，其特征在于，所述閥體(10)包括母體(11)、氣缸下蓋(12)和氣缸上蓋(13)；所述母體(11)與所述氣缸下蓋(12)的一端相固連，所述氣缸上蓋(13)可拆卸的固連在所述氣缸下蓋(12)的另一端并用于封閉所述安裝腔(121)的端口；所述彈性件(60)的兩端分別作用在所述氣缸上蓋(13)的內側面和所述活塞組件(20)上；所述限位調節結構(70)設置在所述氣缸上蓋(13)上。
3.根據權利要求2所述的膜片閥，其特征在于，所述氣缸上蓋(13)的內側面上具有朝向所述安裝腔(121)內部的安裝筒(131)，所述活塞組件(20)包括滑動設置在所述安裝腔(121)內的第一活塞(21)；所述第一活塞(21)包括第一活塞桿(211)和固設在第一活塞桿(211)端部的第一活塞盤(212)，所述第一活塞桿(211)滑動插設在所述安裝筒(131)內；所述限
4.根據權利要求3所述的膜片閥，其特征在于，所述第一活塞桿(211)的外周面與所述安裝筒(131)的腔壁之間設置有第一密封圈(41)，所述安裝筒(131)內還設置有墊套(100)，所述墊套(100)套設在所述第一活塞桿(211)上且所述墊套(100)位于所述第一密封圈(41)與所述第一活塞盤(212)之間；所述第一活塞盤(212)的外周面與所述安裝腔(121)的腔壁之間設置有第二密封圈(42)。
5.根據權利要求3所述的膜片閥，其特征在于，所述限位調節結構(70)包括能夠放置在所述安裝筒(131)內的墊片(71)，所述安裝筒(131)的內壁上具有限位部(1311)，所述墊片(71)放置在安裝筒(131)時，所述墊片(71)的一側抵靠在所述限位部(1311)上，另一側抵靠在所述第一活塞桿(211)的端面上，通過更換不同厚度規格的墊片(71)或者增減安裝筒(131)內墊片(71)的數量來調節所述第一活塞桿(211)的極限位置。
6.根據權利要求2或3或4或5所述的膜片閥，其特征在于，所述氣缸上蓋(13)內側面外周具有朝向所述氣缸下蓋(12)的連接套筒(132)，所述氣缸下蓋(12)朝向所述氣缸上蓋(13)的一端與所述連接套筒(132)通過螺紋配合可拆卸連接或者通過卡接結構可拆卸連接；
7.根據權利要求3所述的膜片閥，其特征在于，所述安裝筒(131)內具有沿其軸向的安裝孔(1312)且所述安裝孔(1312)貫穿至所述氣缸上蓋(13)的外側面；所述限位調節結構(70)包括螺接在所述安裝孔(1312)內的調節螺釘(72)，伸入所述安裝筒(131)內的所述第一活塞桿(211)的端面與所述調節螺釘(72)的內端面相抵接。
8.根據權利要求3或4或5或7所述的膜片閥，其特征在于，所述活塞組件(20)還包括滑動設置在所述安裝腔(121)內的第二活塞(22)，所述第二活塞(22)設置在所述第一活塞(21)遠離所述氣缸上蓋(13)的一側；所述第二活塞(22)包括第二活塞桿(221)和固設在第二活塞桿(221)中部的第二活塞盤(222)，所述第二活塞桿(221)的一端與所述第一活塞盤(212)相抵靠，所述第二活塞桿(221)的另一端伸向所述膜片(30)方向。
9.根據權利要求8所述的膜片閥，其特征在于，所述母體(11)上設置有連通腔(113)和活塞墊圈(90)，所述流體進入通道(111)和流體排出通道(112)分別與所述連通腔(113)相連通，所述膜片(30)安裝在所述連通腔(113)內且所述膜片(30)能夠貼靠在所述流體進入通道(111)與連通腔(113)相連處并封堵所述流體進入通道(111)的端口，所述膜片(30)背離所述流體進入通道(111)的一側設置有第三活塞(50)，所述第三活塞(50)滑動設置在所述活塞墊圈(90)中部，所述第二活塞桿(221)的端部與所述第三活塞(50)相連接或相抵靠。
10.根據權利要求9所述的膜片閥，其特征在于，所述流體進入通道(111)與所述連通腔(113)相連通的端口位于所述連通腔(113)底部中間位置，所述流體排出通道(112)與所述連通腔(113)相連通的端口位于所述連通腔(113)底部一側位置；所述連通腔(113)底部中間位于所述流體進入通道(111)的端口外圍設置有環形卡槽(114)，所述環形卡槽(114)內嵌設有環形密封墊(80)，所述膜片(30)的側面...
【技術特征摘要】
1.一種膜片閥，包括閥體(10)，所述閥體(10)內設置有安裝腔(121)，所述安裝腔(121)內設置有活塞組件(20)和推動所述活塞組件(20)在所述安裝腔(121)內移動的彈性件(60)；
2.根據權利要求1所述的膜片閥，其特征在于，所述閥體(10)包括母體(11)、氣缸下蓋(12)和氣缸上蓋(13)；所述母體(11)與所述氣缸下蓋(12)的一端相固連，所述氣缸上蓋(13)可拆卸的固連在所述氣缸下蓋(12)的另一端并用于封閉所述安裝腔(121)的端口；所述彈性件(60)的兩端分別作用在所述氣缸上蓋(13)的內側面和所述活塞組件(20)上；所述限位調節結構(70)設置在所述氣缸上蓋(13)上。
3.根據權利要求2所述的膜片閥，其特征在于，所述氣缸上蓋(13)的內側面上具有朝向所述安裝腔(121)內部的安裝筒(131)，所述活塞組件(20)包括滑動設置在所述安裝腔(121)內的第一活塞(21)；所述第一活塞(21)包括第一活塞桿(211)和固設在第一活塞桿(211)端部的第一活塞盤(212)，所述第一活塞桿(211)滑動插設在所述安裝筒(131)內；所述限位調節結構(70)設置在所述安裝筒(131)內用于限制所述第一活塞桿(211)的位置。
4.根據權利要求3所述的膜片閥，其特征在于，所述第一活塞桿(211)的外周面與所述安裝筒(131)的腔壁之間設置有第一密封圈(41)，所述安裝筒(131)內還設置有墊套(100)，所述墊套(100)套設在所述第一活塞桿(211)上且所述墊套(100)位于所述第一密封圈(41)與所述第一活塞盤(212)之間；所述第一活塞盤(212)的外周面與所述安裝腔(121)的腔壁之間設置有第二密封圈(42)。
5.根據權利要求3所述的膜片閥，其特征在于，所述限位調節結構(70)包括能夠放置在所述安裝筒(131)內的墊片(71)，所述安裝筒(131)的內壁上具有限位部(1311)，所述墊片(71)放置在安裝筒(131)時，所述墊片(71)的一側抵靠在所述限位部(1311)上，另一側抵靠在所述第一活塞桿(211)的端面上，通過更換不同厚度規格的墊片(71)或者增減安裝筒(131)內墊片(71)的數量來調節所述第一活塞桿(211)的極限位置。
6.根據權利要求2或3或4或5所述的膜片閥，其特征在于，所述氣缸上...
【專利技術屬性】
技術研發人員：劉家樂，楊文，
申請(專利權)人：上海皓固機械工業有限公司，
類型：發明
國別省市：
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