【技術實現步驟摘要】
本申請涉及硅烷送氣，特別是涉及一種氣動閥控制裝置和硅烷安全送氣系統。
技術介紹
1、硅烷，是半導體工業中單晶硅、多晶硅外延片以及二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃等化學氣相沉積工藝的硅源，并廣泛用于太陽能電池、硅復印機鼓、光電傳感器、光導纖維及特種玻璃等的生產研制。然而硅烷極度易燃，在空氣中可自燃，在使用硅烷氣體時需要設置一系列的安全防護及偵測措施，例如設置隔爆墻、限流孔，進行火焰偵測或氣體偵測等安全措施。
2、硅烷鋼瓶出口的壓力較大，在硅烷送氣時，從鋼瓶出口到氣柜的瞬時流量和壓力較大，容易對硅烷送氣管道產生較大沖擊，使得硅烷的送氣過程存在較大安全風險。
技術實現思路
1、基于此，有必要提供一種安全性高的氣動閥控制裝置和硅烷安全送氣系統。
2、第一方面，本申請提供一種氣動閥控制裝置，該裝置包括：
3、若干送氣管路；
4、轉接件，轉接件包括輸入口和至少兩個輸出口，轉接件的輸入口通過第一送氣管路與氣源連接，轉接件的第一輸出口通過第二送氣管路與控制機構連接，轉接件的第二輸出口通過第三送氣管路與氣動閥連接，其中：
5、轉接件用以導通各送氣管路，使氣源送出的氣體在控制機構的控制下，實現對所述氣動閥的驅動。
6、在其中一個實施例中，控制機構還與氣柜連接，用于在控制機構導通時將氣源的氣體傳送至氣柜。
7、在其中一個實施例中，控制機構包括開關，開關用于確定控制機構的導通狀態。
8、在其中一個實施例中，控制機構包
9、第二方面，本申請提供一種硅烷安全送氣系統，該系統包括：硅烷氣瓶、氣動閥、硅烷氣柜，以及如上述第一方面提供的氣動閥控制裝置，硅烷氣瓶通過氣動閥和硅烷氣柜連接，氣動閥還與氣動閥控制裝置連接，其中：
10、硅烷氣瓶用于在氣動閥的控制下打開瓶口，將硅烷氣體發送至硅烷氣柜，氣動閥的狀態通過氣動閥控制裝置確定。
11、在其中一個實施例中，氣動閥與硅烷氣瓶的瓶口可拆卸連接，氣動閥用于控制硅烷氣瓶瓶口的打開或關閉。
12、在其中一個實施例中，該系統還包括吹掃裝置，吹掃裝置的一端用于與硅烷氣瓶連接，另一端與硅烷氣柜連接，吹掃裝置用于對硅烷氣瓶和硅烷氣柜之間管路的殘余氣體進行吹掃。
13、在其中一個實施例中，該系統還包分配裝置，分配裝置與硅烷氣柜連接，用于將硅烷氣體分配至不同設備。
14、在其中一個實施例中，該系統還包括偵測裝置，偵測裝置用于對系統的運行環境進行偵測，確定是否存在氣體泄漏。
15、在其中一個實施例中，偵測裝置包括氣體偵測器和uv/ir偵測器。
16、上述氣動閥控制裝置，包括若干送氣管路和轉接件，轉接件包括輸入口和至少兩個輸出口，轉接件的輸入口通過第一送氣管路與氣源連接，轉接件的第一輸出口通過第二送氣管路與控制機構連接，轉接件的第二輸出口通過第三送氣管路與氣動閥連接；該裝置通過轉接件的設置導通各送氣管路，使氣源送出的氣體在控制機構的控制下，實現對所述氣動閥的驅動，避免傳統方式通過plc(programmable?logic?controller，可編程邏輯控制器)信號實現對氣動閥的控制，可以根據應用需求靈活的控制氣動閥的狀態。在硅烷送氣系統中，通過本申請提出的氣動閥控制裝置對硅烷氣瓶連接的氣動閥進行控制，可以降低硅烷氣瓶送氣時的壓力，提高硅烷氣體傳輸管道的穩定性，進而提高硅烷送氣系統的安全性和可靠性。
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1.一種氣動閥控制裝置，其特征在于，所述裝置包括：
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述控制機構還與氣柜連接，用于在所述控制機構導通時將氣源的氣體傳送至所述氣柜。
3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述控制機構包括開關，所述開關用于確定所述控制機構的導通狀態。
4.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述控制機構包括計時模塊，所述計時模塊用于確定所述控制機構導通或關閉的時間。
5.一種硅烷安全送氣系統，其特征在于，所述系統包括：硅烷氣瓶、氣動閥、硅烷氣柜，以及
6.根據權利要求5所述的系統，其特征在于，所述氣動閥與硅烷氣瓶的瓶口可拆卸連接，所述氣動閥用于控制所述硅烷氣瓶瓶口的打開或關閉。
7.根據權利要求5所述的系統，其特征在于，所述系統還包括吹掃裝置，所述吹掃裝置的一端用于與所述硅烷氣瓶連接，另一端與所述硅烷氣柜連接，所述吹掃裝置用于對所述硅烷氣瓶和所述硅烷氣柜之間管路的殘余氣體進行吹掃。
8.根據權利要求5所述的系統，其特征在于，所述系統還包括分配裝置，所述分配裝置與所述硅
9.根據權利要求5所述的系統，其特征在于，所述系統還包括偵測裝置，所述偵測裝置用于對所述系統的運行環境進行偵測，確定是否存在氣體泄漏。
10.根據權利要求9所述的系統，其特征在于，所述偵測裝置包括氣體偵測器和UV/IR偵測器。
...【技術特征摘要】
1.一種氣動閥控制裝置，其特征在于，所述裝置包括：
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述控制機構還與氣柜連接，用于在所述控制機構導通時將氣源的氣體傳送至所述氣柜。
3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述控制機構包括開關，所述開關用于確定所述控制機構的導通狀態。
4.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述控制機構包括計時模塊，所述計時模塊用于確定所述控制機構導通或關閉的時間。
5.一種硅烷安全送氣系統，其特征在于，所述系統包括：硅烷氣瓶、氣動閥、硅烷氣柜，以及
6.根據權利要求5所述的系統，其特征在于，所述氣動閥與硅烷氣瓶的瓶口可拆卸連接，所述氣動閥用于控制所...
【專利技術屬性】
技術研發人員：李偉，
申請(專利權)人：合肥晶合集成電路股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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