【技術實現步驟摘要】
本技術涉及蒸鍍設備，尤其涉及一種連續真空蒸鍍設備。
技術介紹
1、現有小型蒸鍍設備(適用于基材尺寸較小，例如300mmx300mm或者更小尺寸)采用三腔體蒸鍍模式，分別是進料腔體、運輸腔體和工藝腔體，在對基材(包括但不限于晶圓)進行蒸鍍工藝時，通過人工將多片基材安裝在進料腔體內的固定托盤上，這個過程耗時約5分鐘，關閉進料腔體的腔體門抽真空完成后，運輸腔體內的機械手按照設定程序從進料腔體中托取固定托盤上的基材(單次工藝每次一片)，并將基材放入工藝腔體內，此過程機械手工作耗時約8分鐘，工藝腔體對基材進行蒸鍍，工藝完成后，運輸腔體內的機械手將基材運回進料腔體內的固定托盤上，此過程機械手工作耗時約8分鐘，進料腔體破真空后取出基材，至此單次蒸鍍工藝完成。
2、綜上，在小型蒸鍍設備對基材進行蒸鍍工藝時，采用批次進料，機械手按照單片托取，存在不能連續生產的問題，導致蒸鍍工藝時間加長，以至影響整個工藝進程。
3、本技術用于解決上述問題中的至少一個問題。
技術實現思路
1、本技術的目的在于解決現有小型蒸鍍設備對基材進行蒸鍍工藝時，采用批次進料，機械手按照單片托取，存在不能連續生產的問題，導致蒸鍍工藝時間加長，以至影響整個工藝進程的問題，通過設置工藝腔體、中轉腔體、帶式輸送機、真空泵和門閥之間的配合工作，不僅實現連續真空蒸鍍，還能提高蒸鍍工藝效率，加快整個工藝進程，提高產量。
2、為了實現上述目的，本技術提供一種連續真空蒸鍍設備，包括：
3、n個依次連通
4、第一中轉腔體，具有沿基材流轉方向相對設置的第一通口和第二通口，所述第一通口和所述第一工藝腔體連通，所述第一中轉腔體和第一工藝腔體之間設置有第一中轉門閥，用于控制所述第一中轉腔體和第一工藝腔體之間的通斷；所述第二通口設置有第一門閥，用于控制第二通口的通斷；
5、第二中轉腔體，具有沿基材流轉方向相對設置的第三通口和第四通口，所述第三通口和所述第n工藝腔體連通，所述第二中轉腔體和第n工藝腔體之間設置有第二中轉門閥，用于控制所述第二中轉腔體和第n工藝腔體之間的通斷；所述第四通口設置有第二門閥，用于控制第四通口的通斷；
6、所述第一中轉腔體、第二中轉腔體和每個所述工藝腔體內分別設置有帶式輸送機和真空泵，所述帶式輸送機用于承載并輸送基材在各腔體之間流轉，所述真空泵用于調節各腔體內的真空。
7、通過配置n個數量的工藝腔體，滿足基材的不同蒸鍍工藝需求；通過各個帶式運輸機的輸送以及門閥的之間配合工作實現基材在各腔體之間的流轉，通過各個腔體、真空泵和門閥之間配合工作，對基材實現不同蒸鍍工藝的蒸鍍；通過各個帶式運輸機、門閥、腔體和真空泵之間的配合工作，實現基材的連續真空蒸鍍，滿足基材不同蒸鍍工藝路線的工藝需求，減少基材在蒸鍍工藝過程中在各個腔體的流轉時間，從而提高蒸鍍工藝效率，加快整個工藝進程，提高產量；還能根據工藝腔體的設計需求，實現基材在不同蒸鍍路線下的同時加工。
8、在一些可能的實施方式中，還包括：位于所述第二通口附近的第一區，所述第一區包括帶式輸送機，所述第一區的帶式輸送機能在所述第一門閥開啟時，將所述基材從所述第一區的帶式輸送機上輸送至所述第一中轉腔體內的帶式輸送機上；和/或，位于所述第四通口附近的第二區，所述第二區包括帶式輸送機，所述第二中轉腔體內的帶式輸送機能在所述第二門閥開啟時，將所述基材從所述第二中轉腔體內的帶式輸送機上輸送至第二區的帶式輸送機上。
9、在一些可能的實施方式中，還包括：位于所述第二通口附近的第一區，所述第一區包括帶式輸送機，所述第一中轉腔體內的帶式輸送機能在所述第一門閥開啟時，將所述基材從所述第一中轉腔體內的帶式輸送機上輸送至第一區的帶式輸送機上；和/或，位于所述第四通口附近的第二區，所述第二區包括帶式輸送機，所述第二區的帶式輸送機能在所述第二門閥開啟時，將所述基材從第二區的帶式輸送機上輸送至所述第二中轉腔體內的帶式輸送機上。
10、在一些可能的實施方式中，所述第一區、所述第一中轉腔體、n個依次連通的工藝腔體、所述第二中轉腔體、所述第二區呈直線形排列。
11、在一些可能的實施方式中，所述第一區的帶式輸送機能放置有第一擱架，所述第一擱架包括：第一承載板，放置在所述第一區的帶式輸送機的傳送帶上，所述第一承載板具有沿寬度方向的第一端和第二端；若干個第一l型卡塊，間隔設置在所述第一承載板的第一端；若干個第二l型卡塊，間隔設置在所述第一承載板的第二端；所述第一l型卡塊和第二l型卡塊一一對應，且相互對稱設置，所述第一l型卡塊和第二l型卡塊沿所述第一承載板寬度方向的垂直距離大于所述基材的長度和/或寬度。
12、在一些可能的實施方式中，所述第二區的帶式輸送機能放置有第二擱架，所述第二擱架包括：第二承載板，放置在所述第二區的帶式輸送機的傳送帶上，所述第二承載板具有沿寬度方向的第三端和第四端；若干個第三l型卡塊，間隔設置在所述第二承載板的第三端；若干個第四l型卡塊，間隔設置在所述第二承載板的第四端；所述第三l型卡塊和第四l型卡塊一一對應，且相互對稱設置，所述第三l型卡塊和第四l型卡塊沿所述第二承載板寬度方向的垂直距離大于所述基材的長度和/或寬度。
13、在一些可能的實施方式中，所述帶式輸送機采用中空網帶，所述中空網帶為靜電式網帶。
14、在一些可能的實施方式中，所有帶式輸送機都位于同一水平面，以使當前帶式輸送機能帶動其上的所述基材輸送到目標帶式輸送機上。
15、在一些可能的實施方式中，還包括：第一控制器，所述第一控制器用于控制工藝門閥、第一中轉門閥、第二中轉門閥、第一門閥、第二門閥、帶式輸送機和真空泵的運行；和/或，第二控制器，所述第二控制器用于控制所述工藝腔體進行對應的蒸鍍工藝。
16、在一些可能的實施方式中，所述第一中轉腔體與工藝腔體之間密封連接，所述第二中轉腔體與工藝腔體之間密封連接。
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1.一種連續真空蒸鍍設備，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的一種連續真空蒸鍍設備，其特征在于，還包括：
3.根據權利要求1所述的一種連續真空蒸鍍設備，其特征在于，還包括：
4.根據權利要求2或3所述的一種連續真空蒸鍍設備，其特征在于，所述第一區(9)、所述第一中轉腔體(4)、N個依次連通的工藝腔體、所述第二中轉腔體(5)、所述第二區(10)呈直線形排列。
5.根據權利要求2或3所述的一種連續真空蒸鍍設備，其特征在于，所述第一區(9)的帶式輸送機(8)能放置有第一擱架(13)，所述第一擱架(13)包括：
6.根據權利要求2或3所述的一種連續真空蒸鍍設備，其特征在于，所述第二區(10)的帶式輸送機(8)能放置有第二擱架(14)，所述第二擱架(14)包括：
7.根據權利要求1所述的一種連續真空蒸鍍設備，其特征在于，所述帶式輸送機(8)采用中空網帶，所述中空網帶為靜電式網帶。
8.根據權利要求1所述的一種連續真空蒸鍍設備，其特征在于，所有帶式輸送機(8)都位于同一水平面，以使當前帶式輸送機(8)
9.根據權利要求1所述的一種連續真空蒸鍍設備，其特征在于，還包括：
10.根據權利要求1所述的一種連續真空蒸鍍設備，其特征在于，所述第一中轉腔體(4)與工藝腔體之間密封連接，所述第二中轉腔體(5)與工藝腔體之間密封連接。
...【技術特征摘要】
1.一種連續真空蒸鍍設備，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的一種連續真空蒸鍍設備，其特征在于，還包括：
3.根據權利要求1所述的一種連續真空蒸鍍設備，其特征在于，還包括：
4.根據權利要求2或3所述的一種連續真空蒸鍍設備，其特征在于，所述第一區(9)、所述第一中轉腔體(4)、n個依次連通的工藝腔體、所述第二中轉腔體(5)、所述第二區(10)呈直線形排列。
5.根據權利要求2或3所述的一種連續真空蒸鍍設備，其特征在于，所述第一區(9)的帶式輸送機(8)能放置有第一擱架(13)，所述第一擱架(13)包括：
6.根據權利要求2或3所述的一種連續真空蒸鍍設備，其特征在于，所述第...
【專利技術屬性】
技術研發人員：請求不公布姓名，
申請(專利權)人：德滬涂膜設備蘇州有限公司，
類型：新型
國別省市：
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