【技術實現步驟摘要】
本申請涉及鑄錠爐,更具體而言,涉及一種鑄錠爐。
技術介紹
1、鑄錠爐是一種將硅料進行熔化并定向凝固生成多晶硅的冶煉設備。鑄錠爐在高溫加熱硅料的同時通過導流管向爐內通入惰性氣體,以形成循環氣流減少雜質污染。為使氧化鋁管的下端貼近硅液表面,保障氣流盡可能吹到硅液表面,需要根據硅料熔化及長晶過程中的硅液高度上下移動導流管。然而,導流管的下端一般通過密封法蘭與爐體密封連接,密封法蘭對氧化鋁管的上下移動形成較大阻力,使得上下移動氧化鋁管較為困難。
技術實現思路
1、本申請實施方式提供一種鑄錠爐。
2、本申請實施方式的鑄錠爐包括爐體、導流管和波紋管。其中,爐體形成有爐腔;導流管包括進氣端和出氣端,進氣端位于爐腔外,出氣端插入在爐腔內并且為自由端;波紋管套設在導流管外,波紋管沿自身長度方向上具有第一端和第二端,第一端與進氣端密封并固定連接,第二端與爐體密封并固定連接。
3、本申請實施方式的鑄錠爐中,通過波紋管的第一端與導流管的進氣端固定連接,第二端與爐體固定連接,并且導流管的出氣端為自由端,導流管的進氣端隨波紋管的長度伸縮而上下移動,進而帶動導流管整體移動,減少移動阻力,操作方便,同時避免了導流管與波紋管的連接處因導流管的上下移動而反復磨損松動,提高了進氣裝置的密封性和使用壽命,進而有利于提高鑄錠爐熔煉硅料的生產質量。此外,出氣端因插入爐腔內溫度較高,導流管上下移動前后出氣端與波紋管不產生接觸,從而降低波紋管受高溫影響而燙傷燙壞的風險,進一步提高了可靠性和使用壽命。
>4、在一些實施方式中,鑄錠爐包括調節組件,導流管和波紋管分別與調節組件連接,調節組件用于調節波紋管的長度。
5、如此,通過調節組件調節波紋管的長度,調節組件與導流管連接,從而在調節波紋管長度的同時帶動導流管移動。
6、在一些實施方式中,調節組件包括第一固定件、第二固定件以及連接第一固定件和第二固定件的調節桿,第一固定件與波紋管的第一端及導流管的進氣端固定連接,第二固定件與波紋管的第二端固定連接,調節桿用于調節第一固定件與第二固定件之間的距離,以調節波紋管的長度。
7、如此,通過第二固定件與支撐作用與波紋管的第二端固定連接,使得第二固定件相對于爐體固定安裝,從而第一固定件與波紋管的第一端及導流管的進氣端固定連接可以使得調節組件對導流管和波紋管起到支撐固定作用。
8、在一些實施方式中,調節桿沿波紋管的長度方向延伸,第一固定件與調節桿可拆卸連接,第二固定件與調節桿固定連接,以使波紋管的長度隨調節桿與第一固定件的連接位置變化而改變。
9、如此,第一固定件與調節桿可拆卸連接,第二固定件與調節桿固定連接,從而可以根據導流管的出氣端靠近硅液表面的所需高度拆卸并重新安裝第一固定件,改變調節桿與第一固定件的連接位置。
10、在一些實施方式中,鑄錠爐還包括與調節組件連接的驅動件,驅動件用于驅動調節組件至少部分運動,以調節波紋管的長度。
11、如此,通過驅動件驅動調節組件的部分元件運動,帶動波紋管與調節組件固定連接的其中一個端部移動,從而驅動件提供驅動力實現波紋管的長度調節,帶動導流管上下移動,節省人力,靈活性更佳,導流管上下移動時位置穩定性更好。
12、在一些實施方式中,爐體形成有直通管,直通管與爐腔連通并位于爐腔外,導流管穿過直通管以插入爐腔。
13、如此,直通管自爐腔內部分地伸出爐腔外,導流管穿過直通管插入爐腔,使得直通管可以一定程度上限制導流管在爐體橫向上的位置。
14、在一些實施方式中,直通管遠離爐腔的端部為安裝部,波紋管的第二端與直通管的安裝部固定且密封連接。
15、如此,波紋管的第二端與安裝部固定且密封連接,使得波紋管的第二管固定安裝在爐體上,并保障爐腔內部相對于爐外環境的的密閉性。
16、在一些實施方式中,鑄錠爐包括位于爐腔內的坩堝和蓋板,坩堝形成有開口,蓋板覆蓋在坩堝的開口上,蓋板設置有進氣孔,導流管經進氣孔向坩堝內通入氣體。
17、如此,通過導流管插入坩堝的內部空間,使得出氣端可以靠近坩堝中填裝的硅料表面吹氣。
18、在一些實施方式中,導流管的出氣端穿設于進氣孔中,導流管的出氣端的管徑小于進氣孔的孔徑。
19、如此,導流管的出氣端穿設于進氣孔中,導流管的出氣端的管徑小于進氣孔的孔徑,確保出氣端的自由度和出氣端與進氣孔之間的合理間隙,為導流管在進氣孔中相對于蓋板上下移動提供基礎,減少導流管的移動阻力。
20、在一些實施方式中,鑄錠爐還包括加熱器,加熱器分布在坩堝的至少一側,坩堝用于填裝硅料,加熱器用于加熱坩堝中填裝的硅料以使硅料熔融,導流管隨波紋管的伸縮而上下移動以使導流管的出氣端始終靠近硅料表面。
21、如此,通過加熱器加熱硅料使得硅料熔化成硅液,硅液在熔融及硅晶生長的過程中液面高度變化,導流管通過波紋管的長度伸縮實現上下移動,并保持出氣端靠近硅液表面,從而保障氣體盡可能直吹硅液表面。
22、在一些實施方式中,導流管為耐高溫的剛性件。
23、如此,導流管為耐高溫的剛性件,使得導流管的出氣端可以靠近高溫熔融的硅液表面,并且出氣端可以隨進氣端移動相同的高度,有利于精確控制移動距離。
24、本申請的實施方式的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出,部分將從下面的描述中變得明顯,或通過本申請的實施方式的實踐了解到。
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1.一種鑄錠爐,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的鑄錠爐,其特征在于,所述鑄錠爐包括調節組件,所述導流管和所述波紋管分別與所述調節組件連接,所述調節組件用于調節所述波紋管的長度。
3.根據權利要求2所述的鑄錠爐,其特征在于,所述調節組件包括第一固定件、第二固定件以及連接所述第一固定件和所述第二固定件的調節桿,所述第一固定件與所述波紋管的第一端及所述導流管的進氣端固定連接,所述第二固定件與所述波紋管的第二端固定連接,所述調節桿用于調節所述第一固定件與所述第二固定件之間的距離,以調節所述波紋管的長度。
4.根據權利要求3所述的鑄錠爐,其特征在于,所述調節桿沿所述波紋管的長度方向延伸,所述第一固定件與所述調節桿可拆卸連接,所述第二固定件與所述調節桿固定連接,以使所述波紋管的長度隨所述調節桿與所述第一固定件的連接位置變化而改變。
5.根據權利要求2所述的鑄錠爐,其特征在于,所述鑄錠爐還包括與所述調節組件連接的驅動件,所述驅動件用于驅動所述調節組件至少部分運動,以調節所述波紋管的長度。
6.根據權利要求1所述的鑄錠爐,其
7.根據權利要求6所述的鑄錠爐,其特征在于,所述直通管遠離所述爐腔的端部為安裝部,所述波紋管的第二端與所述直通管的安裝部固定且密封連接。
8.根據權利要求1所述的鑄錠爐,其特征在于,所述鑄錠爐包括位于所述爐腔內的坩堝和蓋板,所述坩堝形成有開口,所述蓋板覆蓋在所述坩堝的開口上,所述蓋板設置有進氣孔,所述導流管經所述進氣孔向所述坩堝內通入氣體。
9.根據權利要求8所述的鑄錠爐,其特征在于,所述導流管的出氣端穿設于所述進氣孔中,所述導流管的出氣端的管徑小于所述進氣孔的孔徑。
10.根據權利要求9所述的鑄錠爐,其特征在于,所述鑄錠爐還包括加熱器,所述加熱器分布在所述坩堝的至少一側,所述坩堝用于填裝硅料,所述加熱器用于加熱所述坩堝中填裝的硅料以使所述硅料熔融,所述導流管隨所述波紋管的伸縮而上下移動以使所述導流管的出氣端始終靠近所述硅料表面。
11.根據權利要求1所述的鑄錠爐,其特征在于,所述導流管為耐高溫的剛性件。
...【技術特征摘要】
1.一種鑄錠爐,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的鑄錠爐,其特征在于,所述鑄錠爐包括調節組件,所述導流管和所述波紋管分別與所述調節組件連接,所述調節組件用于調節所述波紋管的長度。
3.根據權利要求2所述的鑄錠爐,其特征在于,所述調節組件包括第一固定件、第二固定件以及連接所述第一固定件和所述第二固定件的調節桿,所述第一固定件與所述波紋管的第一端及所述導流管的進氣端固定連接,所述第二固定件與所述波紋管的第二端固定連接,所述調節桿用于調節所述第一固定件與所述第二固定件之間的距離,以調節所述波紋管的長度。
4.根據權利要求3所述的鑄錠爐,其特征在于,所述調節桿沿所述波紋管的長度方向延伸,所述第一固定件與所述調節桿可拆卸連接,所述第二固定件與所述調節桿固定連接,以使所述波紋管的長度隨所述調節桿與所述第一固定件的連接位置變化而改變。
5.根據權利要求2所述的鑄錠爐,其特征在于,所述鑄錠爐還包括與所述調節組件連接的驅動件,所述驅動件用于驅動所述調節組件至少部分運動,以調節所述波紋管的長度。
6.根據權利要求1所述的鑄錠爐,其...
【專利技術屬性】
技術研發人員:劉丹,周聲浪,程子豪,王曉東,張華利,趙玉兵,周潔,胡建喜,
申請(專利權)人:江蘇協鑫硅材料科技發展有限公司,
類型:新型
國別省市:
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