【技術實現步驟摘要】
本技術涉及半導體加工,具體的是一種智能倉儲設備的手動取放料裝置。
技術介紹
1、在半導體工廠中,通常采用foup料盒作為晶圓的載具。stocker是半導體工廠的智能倉儲設備,具備多層存放空間,主要用于半導體工廠的foup料盒的自動化搬送、存儲,實現晶圓在工藝之間的流轉。
2、智能倉儲設備(stocker)一般有兩種存儲料盒的方式,一種是自動取放口,由amhs(automatic?material?handling?system,自動物料搬送系統)搬運;另一種是設置于智能倉儲設備側面的手動取放口,由人工取放料盒。由于手動取放口處是由人工與stocker內部實現料盒的交互,因此,如何保證這一過程中人員的安全,是本領域技術人員需要解決的問題。
技術實現思路
1、為了克服現有技術中的缺陷,本技術實施例提供了一種智能倉儲設備的手動取放料裝置,其可提高作業時人員和料盒的安全性,避免人員和料盒受到裝置上機械結構的傷害。
2、本申請實施例公開了:一種智能倉儲設備的手動取放料裝置,包括:機架和至少一個進出料工位,所述進出料工位包括底板、第一側板、第二側板、搬運機構、電控模塊和安全操作板;所述底板固定于所述機架上,用于放置料盒;所述第一側板和所述第二側板相對地設置于所述底板的兩側以圍構成進出料通道;所述搬運機構設置于所述機架上,用于搬運所述料盒;所述安全操作板設置于所述機架上;所述搬運機構和所述安全操作板均與所述電控模塊電性連接。
3、具體地,所述安全操作板包括入料
4、具體地,所述安全操作板還包括緊急按鈕。
5、具體地,所述機架上還設有語音播報器,所述語音播報器與所述電控模塊電性連接。
6、具體地,所述第一側板和/或所述第二側板上還設有安全光幕,所述安全光幕與所述電控模塊電性連接。
7、具體地,所述底板設有多個定位柱和多個限位塊,所述定位柱和限位塊用于對所述料盒進行定位。
8、具體地,所述裝置設有兩個所述進出料工位。
9、具體地,所述搬運機構包括驅動電機和連接于所述驅動電機上的機械臂,所述驅動電機與所述電控模塊電性連接。
10、本技術至少具有如下有益效果:
11、1.本實施例的智能倉儲設備的手動取放料裝置在機架上設置有與電控模塊電性連接的安全操作板,當人員在對料盒進行入料和出料時,可通過該安全操作板與裝置進行交互,提高作業時人員和料盒的安全性,避免人員和料盒受到裝置上機械結構的傷害。
12、2.本實施例的裝置設有兩個進出料工位,兩個工位可同時執行進料和出料動作,提高作業效率。
13、為讓本技術的上述和其他目的、特征和優點能更明顯易懂,下文特舉較佳實施例,并配合所附圖式,作詳細說明如下。
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1.一種智能倉儲設備的手動取放料裝置,其特征在于,包括:機架和至少一個進出料工位,所述進出料工位包括底板、第一側板、第二側板、搬運機構、電控模塊和安全操作板;所述底板固定于所述機架上,用于放置料盒;所述第一側板和所述第二側板相對地設置于所述底板的兩側以圍構成進出料通道;所述搬運機構設置于所述機架上,用于搬運所述料盒;所述安全操作板設置于所述機架上;所述搬運機構和所述安全操作板均與所述電控模塊電性連接。
2.根據權利要求1所述的智能倉儲設備的手動取放料裝置,其特征在于,所述安全操作板包括入料按鈕、出料按鈕、異常指示燈以及異常解除按鈕。
3.根據權利要求1所述的智能倉儲設備的手動取放料裝置,其特征在于,所述安全操作板還包括緊急按鈕。
4.根據權利要求1所述的智能倉儲設備的手動取放料裝置,其特征在于,所述機架上還設有語音播報器,所述語音播報器與所述電控模塊電性連接。
5.根據權利要求1所述的智能倉儲設備的手動取放料裝置,其特征在于,所述第一側板和/或所述第二側板上還設有安全光幕,所述安全光幕與所述電控模塊電性連接。
6.根據權
7.根據權利要求1所述的智能倉儲設備的手動取放料裝置,其特征在于,所述裝置設有兩個所述進出料工位。
8.根據權利要求1所述的智能倉儲設備的手動取放料裝置,其特征在于,所述搬運機構包括驅動電機和連接于所述驅動電機上的機械臂,所述驅動電機與所述電控模塊電性連接。
...【技術特征摘要】
1.一種智能倉儲設備的手動取放料裝置,其特征在于,包括:機架和至少一個進出料工位,所述進出料工位包括底板、第一側板、第二側板、搬運機構、電控模塊和安全操作板;所述底板固定于所述機架上,用于放置料盒;所述第一側板和所述第二側板相對地設置于所述底板的兩側以圍構成進出料通道;所述搬運機構設置于所述機架上,用于搬運所述料盒;所述安全操作板設置于所述機架上;所述搬運機構和所述安全操作板均與所述電控模塊電性連接。
2.根據權利要求1所述的智能倉儲設備的手動取放料裝置,其特征在于,所述安全操作板包括入料按鈕、出料按鈕、異常指示燈以及異常解除按鈕。
3.根據權利要求1所述的智能倉儲設備的手動取放料裝置,其特征在于,所述安全操作板還包括緊急按鈕。
4.根據權利要求1所述的智能倉儲...
【專利技術屬性】
技術研發人員:鄒念,張軻,劉志遠,張磊,
申請(專利權)人:成川科技蘇州有限公司,
類型:新型
國別省市:
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