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    一種硅片取放片裝置制造方法及圖紙

    技術編號:44432327 閱讀:2 留言:0更新日期:2025-02-28 18:44
    本申請提出一種硅片取放片裝置,包括:吸盤模組,包括第一吸盤機構及第二吸盤機構,第一吸盤機構上設置有三列并列的吸盤組件,第二吸盤機構上設置有兩列并列的吸盤組件;移栽模組,包括龍門橫移機構、第一升降機構及第二升降機構,第一吸盤機構與第一升降機構相連,第二吸盤機構與第二升降機構相連,第一升降機構及第二升降機構均與龍門橫移機構相連。本申請可以同時吸取多個硅片,實現多個硅片的輸送,提高了工作效率。

    【技術實現步驟摘要】

    本申請涉及一種取放片裝置,尤其涉及一種硅片取放片裝置


    技術介紹

    1、晶體硅太陽能電池是指以硅為基體材料的太陽能電池。在太陽能電池生產過程中,需要將上一工藝處理后的硅片移載至下一工藝段進行處理,因此,硅片在傳動上排列好以后,需要將排列好的硅片通過取料模組搬起,然后將硅片依次放入到載板中,實現硅片至載板的搬運。目前大多采用機械手實現硅片的搬運,機械手一次一般只能夾取一片硅片,搬運效率較低。


    技術實現思路

    1、本申請實施例提供一種硅片取放片裝置,以解決相關技術存在的問題,技術方案如下:

    2、一種硅片取放片裝置,包括:

    3、吸盤模組,包括第一吸盤機構及第二吸盤機構,第一吸盤機構上設置有三列并列的吸盤組件,第二吸盤機構上設置有兩列并列的吸盤組件;

    4、移栽模組,包括龍門橫移機構、第一升降機構及第二升降機構,第一吸盤機構與第一升降機構相連,第二吸盤機構與第二升降機構相連,第一升降機構及第二升降機構均與龍門橫移機構相連。

    5、在一種實施方式中,還包括視覺定位模組,所述視覺定位模組位于載板放置位的上方,所述視覺定位模組能夠對輸送至載板放置位的載板進行位置檢測。

    6、在一種實施方式中,所述視覺定位模組包括多個視覺定位相機,多個視覺定位相機分別位于龍門橫移機構的相對的兩側,多個視覺定位相機的拍攝方向朝向載板放置位。

    7、在一種實施方式中,硅片取放片裝置還包括對位模組,所述對位模組與所述第一升降機構和/或第二升降機構相連,所述對位模組至少包括第一對位機構,所述第一對位機構與所述第一吸盤機構的吸盤組件相連,所述第一對位機構能夠調節吸盤組件的位置。

    8、在一種實施方式中,所述對位模組還包括第二對位機構,所述第二對位機構與所述第二吸盤機構的吸盤組件相連,所述第二對位機構能夠調節第二吸盤機構的吸盤組件的位置。

    9、在一種實施方式中,所述第一對位機構及所述第二對位機構均包括x軸對位組件、y軸對位組件及r軸旋轉組件,所述x軸對位組件與所述吸盤組件相連,所述r軸旋轉組件與x軸對位組件相連,所述y軸對位組件與所述y軸對位組件相連。

    10、在一種實施方式中,所述x軸對位組件包括x軸對位座,以及設置于x軸對位座上的x軸驅動氣缸、x軸直線導軌及x軸對位板,x軸直線導軌上滑動設置有x軸滑塊,x軸驅動氣缸與x軸滑塊相連,x軸對位板與x軸滑塊相連,吸盤組件與x軸對位板相連。

    11、在一種實施方式中,所述r軸旋轉組件包括r軸調整板及旋轉電機,所述r軸調整板與所述x軸對位組件相連,所述旋轉電機與所述r軸調整板相連,所述旋轉電機帶動所述r軸調整板轉動。

    12、在一種實施方式中,所述y軸對位組件包括y軸對位座及y軸直線模組,y軸直線模組與y軸對位座相連,y軸對位座與r軸旋轉組件相連。

    13、在一種實施方式中,硅片取放片裝置還包括z軸移動組件,所述z軸移動組件與所述第二對位機構的第三個吸盤組件相連,所述z軸移動組件與所述x軸對位座相連。

    14、上述技術方案中的優點或有益效果至少包括:

    15、本申請在硅片取放片裝置上設置有吸盤模組及移載模組,第一吸盤機構上設置有三列并列的吸盤組件,第二吸盤機構上設置有兩列并列的吸盤組件。在將硅片移載至載板時,首先將載板移動至載板放置位,然后由龍門橫移機構帶動移載模組移動至硅片上方,接著由第一升降機構帶動第一吸盤機構向下移動吸取硅片,并由第二升降機構帶動第二吸盤機構向下移動吸取硅片。在第一吸盤機構及第二吸盤機構吸取硅片后,由龍門橫移機構帶動吸盤模組移動至載板放置位上方,并把硅片放置于對應位置。由于第一吸盤機構上設置有并列的三列吸盤組件,第二吸盤機構上設置有并列的兩列吸盤組件,可以同時吸取多個硅片,實現多個硅片的輸送,提高了工作效率。

    16、上述概述僅僅是為了說明書的目的,并不意圖以任何方式進行限制。除上述描述的示意性的方面、實施方式和特征之外,通過參考附圖和以下的詳細描述,本申請進一步的方面、實施方式和特征將會是容易明白的。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種硅片取放片裝置,其特征在于,包括:

    2.根據權利要求1所述的硅片取放片裝置,其特征在于,還包括視覺定位模組,所述視覺定位模組位于載板放置位的上方,所述視覺定位模組能夠對輸送至載板放置位的載板進行位置檢測。

    3.根據權利要求2所述的硅片取放片裝置,其特征在于,所述視覺定位模組包括多個視覺定位相機,多個視覺定位相機分別位于龍門橫移機構的相對的兩側,多個視覺定位相機的拍攝方向朝向載板放置位。

    4.根據權利要求1至3任一項所述的硅片取放片裝置,其特征在于,硅片取放片裝置還包括對位模組,所述對位模組與所述第一升降機構和/或第二升降機構相連,所述對位模組至少包括第一對位機構,所述第一對位機構與所述第一吸盤機構的吸盤組件相連,所述第一對位機構能夠調節吸盤組件的位置。

    5.根據權利要求4所述的硅片取放片裝置,其特征在于,所述對位模組還包括第二對位機構,所述第二對位機構與所述第二吸盤機構的吸盤組件相連,所述第二對位機構能夠調節第二吸盤機構的吸盤組件的位置。

    6.根據權利要求5所述的硅片取放片裝置,其特征在于,所述第一對位機構及所述第二對位機構均包括X軸對位組件、Y軸對位組件及R軸旋轉組件,所述X軸對位組件與所述吸盤組件相連,所述R軸旋轉組件與X軸對位組件相連,所述Y軸對位組件與所述R軸旋轉組件相連。

    7.根據權利要求6所述的硅片取放片裝置,其特征在于,所述X軸對位組件包括X軸對位座,以及設置于X軸對位座上的X軸驅動氣缸、X軸直線導軌及X軸對位板,X軸直線導軌上滑動設置有X軸滑塊,X軸驅動氣缸與X軸滑塊相連,X軸對位板與X軸滑塊相連,吸盤組件與X軸對位板相連。

    8.根據權利要求6所述的硅片取放片裝置,其特征在于,所述R軸旋轉組件包括R軸調整板及旋轉電機,所述R軸調整板與所述X軸對位組件相連,所述旋轉電機與所述R軸調整板相連,所述旋轉電機帶動所述R軸調整板轉動。

    9.根據權利要求6所述的硅片取放片裝置,其特征在于,所述Y軸對位組件包括Y軸對位座及Y軸直線模組,Y軸直線模組與Y軸對位座相連,Y軸對位座與R軸旋轉組件相連。

    10.根據權利要求7所述的硅片取放片裝置,其特征在于,硅片取放片裝置還包括Z軸移動組件,所述Z軸移動組件與所述第二對位機構的第三個吸盤組件相連,所述Z軸移動組件與所述X軸對位座相連。

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    【技術特征摘要】

    1.一種硅片取放片裝置,其特征在于,包括:

    2.根據權利要求1所述的硅片取放片裝置,其特征在于,還包括視覺定位模組,所述視覺定位模組位于載板放置位的上方,所述視覺定位模組能夠對輸送至載板放置位的載板進行位置檢測。

    3.根據權利要求2所述的硅片取放片裝置,其特征在于,所述視覺定位模組包括多個視覺定位相機,多個視覺定位相機分別位于龍門橫移機構的相對的兩側,多個視覺定位相機的拍攝方向朝向載板放置位。

    4.根據權利要求1至3任一項所述的硅片取放片裝置,其特征在于,硅片取放片裝置還包括對位模組,所述對位模組與所述第一升降機構和/或第二升降機構相連,所述對位模組至少包括第一對位機構,所述第一對位機構與所述第一吸盤機構的吸盤組件相連,所述第一對位機構能夠調節吸盤組件的位置。

    5.根據權利要求4所述的硅片取放片裝置,其特征在于,所述對位模組還包括第二對位機構,所述第二對位機構與所述第二吸盤機構的吸盤組件相連,所述第二對位機構能夠調節第二吸盤機構的吸盤組件的位置。

    6.根據權利要求5所述的硅片取放片裝置,其特征在于,所述第一對位機構及所述第二對位機構均包括x...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:徐浩戴秋喜潘加永劉光照
    申請(專利權)人:蘇州映真智能科技有限公司
    類型:新型
    國別省市:

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