一種磁浮重力補(bǔ)償裝置制造方法及圖紙

本技術(shù)涉及磁吸設(shè)備領(lǐng)域，具體為一種磁浮重力補(bǔ)償裝置，包括定磁鋼組件和動(dòng)磁鋼組件，所述定磁鋼組件包括底座和定磁鋼，所述動(dòng)磁鋼組件包括載臺(tái)和動(dòng)磁鋼；所述動(dòng)磁鋼和定磁鋼沿Z軸間隔疊放設(shè)置，且所述定磁鋼對(duì)動(dòng)磁鋼產(chǎn)生向上的驅(qū)動(dòng)力；所述調(diào)節(jié)端上設(shè)置有多個(gè)第一通孔，所述固定端上設(shè)置有與第一通孔連通的第一螺紋孔，并通過(guò)調(diào)節(jié)螺栓貫穿第一通孔與第一螺紋孔連接；通過(guò)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺栓可調(diào)節(jié)固定端和調(diào)節(jié)端的間距。本技術(shù)中，設(shè)置為兩塊或兩組相互排斥的定磁鋼，且分別連接在固定端和調(diào)節(jié)端，使得固定端和調(diào)節(jié)端具有相互遠(yuǎn)離的驅(qū)動(dòng)力，進(jìn)而便于擰緊或放松調(diào)節(jié)螺栓的調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)磁浮重力便捷的主動(dòng)可調(diào)。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及磁吸設(shè)備，特別涉及一種磁浮重力補(bǔ)償裝置。

技術(shù)介紹

1、在工業(yè)生產(chǎn)中，許多如光刻機(jī)、高精度機(jī)床、機(jī)械臂等高運(yùn)動(dòng)精度的工業(yè)生產(chǎn)者中，尤其在真空環(huán)境中，設(shè)備有較高的隔絕外部振動(dòng)和擾動(dòng)的需求，因此，需要磁浮重力補(bǔ)償裝置進(jìn)行主動(dòng)隔振，出力可調(diào)、結(jié)構(gòu)緊湊、出力不動(dòng)銷的磁浮重力補(bǔ)償器尤其成為行業(yè)的需要。

2、目前常用的隔振設(shè)備主要是通過(guò)氣泵和氣閥進(jìn)行氣體流量的調(diào)節(jié)，從而提供彈簧剛度和重力補(bǔ)償，這種設(shè)備存在噪音大，隔振頻率有限且在真空環(huán)境中無(wú)法使用等問(wèn)題；另外，目前市場(chǎng)上也有磁浮的重力補(bǔ)償器，具有清潔、無(wú)噪音、無(wú)摩擦、無(wú)磨損且可適用于真空環(huán)境，出力波動(dòng)小等特點(diǎn)，具有廣泛的應(yīng)用前景。但是，現(xiàn)有技術(shù)中的磁重力補(bǔ)償器，因動(dòng)子和定子始終具有相互遠(yuǎn)離或靠近的驅(qū)動(dòng)趨勢(shì)，導(dǎo)致磁浮力的大小調(diào)節(jié)時(shí)較為困難，還需要借助額外的輔助治具，也增加了設(shè)備成本。因此，如何通過(guò)對(duì)磁浮重力補(bǔ)償器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)磁浮力的便捷的調(diào)節(jié)是本領(lǐng)域技術(shù)人員需要考慮的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本技術(shù)目的是：提供一種磁浮重力補(bǔ)償裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中磁浮重力補(bǔ)償裝置的磁浮力調(diào)節(jié)效率低等問(wèn)題。

2、本技術(shù)的技術(shù)方案是：一種磁浮重力補(bǔ)償裝置，包括定磁鋼組件和動(dòng)磁鋼組件，所述定磁鋼組件包括底座和定磁鋼，所述動(dòng)磁鋼組件包括載臺(tái)和動(dòng)磁鋼；所述動(dòng)磁鋼和定磁鋼沿z軸間隔疊放設(shè)置，且所述定磁鋼對(duì)動(dòng)磁鋼產(chǎn)生向上的驅(qū)動(dòng)力；

3、所述底座包括固定端和設(shè)置在其上端的調(diào)節(jié)端，所述定磁鋼至少設(shè)置有兩組且分別固定安裝在固定端和調(diào)節(jié)端上，所述動(dòng)磁鋼設(shè)置在兩組所述定磁鋼之間；

4、所述調(diào)節(jié)端上設(shè)置有多個(gè)第一通孔，所述固定端上設(shè)置有與第一通孔連通的第一螺紋孔，并通過(guò)調(diào)節(jié)螺栓貫穿第一通孔與第一螺紋孔連接；通過(guò)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺栓可調(diào)節(jié)固定端和調(diào)節(jié)端的間距。

5、優(yōu)選的，所述載臺(tái)包括負(fù)載端和安裝端，所述動(dòng)磁鋼固定安裝在安裝端處，且所述安裝端設(shè)置在兩個(gè)所述定磁鋼之間。

6、優(yōu)選的，所述固定端上的定磁鋼與動(dòng)磁鋼相斥，所述調(diào)節(jié)端處的定磁鋼與動(dòng)磁鋼相吸。

7、優(yōu)選的，所述固定端和調(diào)節(jié)端通過(guò)連接板連接；

8、所述連接板上設(shè)置有兩組連接孔，且分別通過(guò)螺栓與固定端和調(diào)節(jié)端連接；兩組所述連接孔中至少有一組為腰型孔。

9、優(yōu)選的，所述底座和載臺(tái)的截面均呈口字形，所述底座和載臺(tái)為鏈狀連接。

10、優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)端上固定連接有限位塊，所述限位塊與安裝端連接。

11、優(yōu)選的，所述動(dòng)磁鋼嵌設(shè)或貫穿安裝在安裝端的底部。

12、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是：

13、(1)本技術(shù)中，設(shè)置為兩塊或兩組相互排斥的定磁鋼，且分別連接在固定端和調(diào)節(jié)端，使得固定端和調(diào)節(jié)端具有相互遠(yuǎn)離的驅(qū)動(dòng)力，進(jìn)而便于擰緊或放松調(diào)節(jié)螺栓的調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)磁浮重力便捷的主動(dòng)可調(diào)。

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【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

1.一種磁浮重力補(bǔ)償裝置，其特征在于，包括定磁鋼組件和動(dòng)磁鋼組件，所述定磁鋼組件包括底座和定磁鋼，所述動(dòng)磁鋼組件包括載臺(tái)和動(dòng)磁鋼；所述動(dòng)磁鋼和定磁鋼沿Z軸間隔疊放設(shè)置，且所述定磁鋼對(duì)動(dòng)磁鋼產(chǎn)生向上的驅(qū)動(dòng)力；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁浮重力補(bǔ)償裝置，其特征在于：所述載臺(tái)包括負(fù)載端和安裝端，所述動(dòng)磁鋼固定安裝在安裝端處，且所述安裝端設(shè)置在兩個(gè)所述定磁鋼之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種磁浮重力補(bǔ)償裝置，其特征在于：所述固定端上的定磁鋼與動(dòng)磁鋼相斥，所述調(diào)節(jié)端處的定磁鋼與動(dòng)磁鋼相吸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁浮重力補(bǔ)償裝置，其特征在于：所述固定端和調(diào)節(jié)端通過(guò)連接板連接；

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁浮重力補(bǔ)償裝置，其特征在于：所述底座和載臺(tái)的截面均呈口字形，所述底座和載臺(tái)為鏈狀連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁浮重力補(bǔ)償裝置，其特征在于：所述調(diào)節(jié)端上固定連接有限位塊，所述限位塊與安裝端連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁浮重力補(bǔ)償裝置，其特征在于：所述動(dòng)磁鋼嵌設(shè)或貫穿安裝在安裝端的底部。>...

【技術(shù)特征摘要】

1.一種磁浮重力補(bǔ)償裝置，其特征在于，包括定磁鋼組件和動(dòng)磁鋼組件，所述定磁鋼組件包括底座和定磁鋼，所述動(dòng)磁鋼組件包括載臺(tái)和動(dòng)磁鋼；所述動(dòng)磁鋼和定磁鋼沿z軸間隔疊放設(shè)置，且所述定磁鋼對(duì)動(dòng)磁鋼產(chǎn)生向上的驅(qū)動(dòng)力；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁浮重力補(bǔ)償裝置，其特征在于：所述載臺(tái)包括負(fù)載端和安裝端，所述動(dòng)磁鋼固定安裝在安裝端處，且所述安裝端設(shè)置在兩個(gè)所述定磁鋼之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種磁浮重力補(bǔ)償裝置，其特征在于：所述固定端上的定磁鋼與動(dòng)磁鋼相斥，所述調(diào)節(jié)端處的...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陳慶生，季漢川，陳斌，陳茂洪，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：蘇州盛拓半導(dǎo)體科技有限公司，
類型：新型
國(guó)別省市：