【技術實現步驟摘要】
本技術屬于半導體，尤其涉及一種晶圓盒開盒器的移動平臺。
技術介紹
1、晶圓盒是半導體制程中被使用來保護、運送、儲存晶圓的一種容器，目前常用的有12寸和8寸的晶圓盒。
2、現有技術中的晶圓盒開盒器大多無法滿足如晶圓清洗機等整體空間緊湊，且需要通過機械臂來完成晶圓傳送盒裝載的場景。如中國專利技術專利cn202211223632.5就公開了一種能夠兼容8寸和12寸晶圓盒的loadport，其移動平臺是完整的一個平面，且移動平臺下方的空間需要用來容納平臺驅動機構、鎖緊驅動機構等各種驅動裝置，其沒有更多的空間來放置機械臂等自動化裝載設備。
3、因此，需要一種能夠適用于空間緊湊型場景的晶圓盒開盒器的移動平臺。
技術實現思路
1、為實現上述目的，本技術提供了一種晶圓盒開盒器的移動平臺，所述移動平臺滑動設置在晶圓盒開盒器的平臺支撐架上方，所述移動平臺開設有一“7”字型鏤空豁口，所述“7”字型鏤空豁口位于移動平臺的外側，所述移動平臺與設置在平臺支撐架下方的平臺驅動機構驅動連接，所述平臺驅動機構位于遠離“7”字型鏤空豁口的一側。
2、優選的，所述移動平臺與平臺支撐架之間設置有滑槽滑軌結構，所述滑槽滑軌結構設置在平臺支撐架的兩側。
3、優選的，所述平臺驅動機構包括平臺驅動電機、平臺絲桿及平臺絲母，所述平臺驅動電機設置在平臺支撐架內側，所述平臺絲母與移動平臺連接，所述平臺驅動電機驅動平臺絲桿轉動，通過平臺絲母的位移實現移動平臺的位移。
4、優選的
5、優選的，所述移動平臺的表面設置有定位結構，所述定位結構包括至少3個定位柱。
6、優選的，所述定位柱設置有3個。
7、優選的，3個所述定位柱分別設置在“7”字型鏤空豁口的3個端部。
8、優選的，所述定位結構還包括至少2個下壓式檢測裝置。
9、與現有技術相比，本技術的有益效果是：
10、(1)本技術的移動平臺開設有一“7”字型鏤空豁口，能夠給機械臂提供運動空間，能夠適用于如晶圓清洗機等整體空間緊湊，且需要通過機械臂來完成晶圓傳送盒裝載的場景。
11、(2)本技術的平臺驅動機構都設置在平臺支撐架的底部內側，且位于遠離“7”字型鏤空豁口的一側，通過連接塊巧妙的實現了有限空間內的傳動連接，進一步給機械臂提供了運動空間。
12、(3)本技術的定位結構利用開設的“7”字型鏤空豁口的3個端部，恰好實現了3點定位，結構設置巧妙，空間利用率高。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種晶圓盒開盒器的移動平臺，其特征在于，所述移動平臺滑動設置在晶圓盒開盒器的平臺支撐架上方，所述移動平臺開設有一“7”字型鏤空豁口，所述“7”字型鏤空豁口位于移動平臺的外側，所述移動平臺與設置在平臺支撐架下方的平臺驅動機構驅動連接，所述平臺驅動機構位于遠離“7”字型鏤空豁口的一側。
2.根據權利要求1所述的晶圓盒開盒器的移動平臺，其特征在于，所述移動平臺與平臺支撐架之間設置有滑槽滑軌結構，所述滑槽滑軌結構設置在平臺支撐架的兩側。
3.根據權利要求1所述的晶圓盒開盒器的移動平臺，其特征在于，所述平臺驅動機構包括平臺驅動電機、平臺絲桿及平臺絲母，所述平臺驅動電機設置在平臺支撐架內側，所述平臺絲母與移動平臺連接，所述平臺驅動電機驅動平臺絲桿轉動，通過平臺絲母的位移實現移動平臺的位移。
4.根據權利要求3所述的晶圓盒開盒器的移動平臺，其特征在于，所述平臺絲母與移動平臺之間設置有一連接塊，所述連接塊的下端與平臺絲母固定連接，所述連接塊的上端與移動平臺的底部固定連接。
5.根據權利要求1至4任一項所述的晶圓盒開盒器的移動平臺，其特征在于，所
6.根據權利要求5所述的晶圓盒開盒器的移動平臺，其特征在于，所述定位柱設置有3個。
7.根據權利要求6所述的晶圓盒開盒器的移動平臺，其特征在于，3個所述定位柱分別設置在“7”字型鏤空豁口的3個端部。
8.根據權利要求5所述的晶圓盒開盒器的移動平臺，其特征在于，所述定位結構還包括至少2個下壓式檢測裝置。
...【技術特征摘要】
1.一種晶圓盒開盒器的移動平臺，其特征在于，所述移動平臺滑動設置在晶圓盒開盒器的平臺支撐架上方，所述移動平臺開設有一“7”字型鏤空豁口，所述“7”字型鏤空豁口位于移動平臺的外側，所述移動平臺與設置在平臺支撐架下方的平臺驅動機構驅動連接，所述平臺驅動機構位于遠離“7”字型鏤空豁口的一側。
2.根據權利要求1所述的晶圓盒開盒器的移動平臺，其特征在于，所述移動平臺與平臺支撐架之間設置有滑槽滑軌結構，所述滑槽滑軌結構設置在平臺支撐架的兩側。
3.根據權利要求1所述的晶圓盒開盒器的移動平臺，其特征在于，所述平臺驅動機構包括平臺驅動電機、平臺絲桿及平臺絲母，所述平臺驅動電機設置在平臺支撐架內側，所述平臺絲母與移動平臺連接，所述平臺驅動電機驅動平臺絲桿轉動，通過平臺絲母的位移實現移...
【專利技術屬性】
技術研發人員：季滔，顧俊，申勇，
申請(專利權)人：上海禾芯威半導體科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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