【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種導向柱，具體涉及一種電鍍機卡盤導向柱，屬于半導體封裝。
技術介紹
1、水平電鍍前需要壓下蓋板將晶圓（wafer）密封在蓋板3和卡盤5之間，氣缸推動蓋板下壓時需要保證蓋板水平、下壓動作順暢無卡頓，使得蓋板在下壓過程中、下壓結束后，晶圓不會受到集中應力。
2、基本結構如圖1所示：鋼板2固定在旋轉電機1的轉軸上，導向柱4連接卡盤和鋼板，蓋板在卡盤和鋼板之間，作業時蓋板下壓將晶圓密封后與卡盤一起隨著鋼板下壓。
3、如圖2所示，導向柱由連接桿6和包邊7組成。連接桿連接卡盤和鋼板，連接桿每側各附有兩片包邊，用m2.5螺絲將包邊固定構成導向柱。
4、目前，導向柱結構，在保養拆卸時需要用手固定一對包邊同時擰緊螺絲，螺絲容易脫手落入鍍液污染鍍液，且螺絲螺紋較細，螺絲擰過緊可能會發生斷裂、滑牙等問題，不便于拆卸。若螺絲未擰緊，高速旋轉時包邊與螺絲有脫落風險，當卡盤旋轉時螺絲或包邊脫落可能導致電鍍作業產品表面劃傷、有破片的風險。
5、上述風險和問題給卡盤保養帶來很大困難，需要消耗很多精力。
6、因此，有必要對電鍍機卡盤導向柱進行改進。
技術實現思路
1、為解決現有技術的不足，本專利技術的目的在于提供一種電鍍機卡盤導向柱。
2、為了實現上述目標，本專利技術采用如下的技術方案：
3、一種電鍍機卡盤導向柱，包括呈弧形且互成鏡像的上梁和下梁、一對呈弧形梁柱；
4、所述梁柱對稱的置于上梁和下梁之間，并
5、于梁柱間，所述上梁和下梁分別設有螺孔，上梁的螺孔用于固接鋼板，下梁的螺孔用于固接卡盤。
6、上述上梁、下梁和一對梁柱為一體式結構。
7、于上梁和下梁，上述梁柱的外側面的橫截面呈圓弧形。
8、上述梁柱為橢圓柱。
9、與12寸卡盤對應的，相鄰螺孔的中心間距為41mm。
10、與8寸卡盤對應的，相鄰螺孔的中心間距為27mm。
11、本專利技術的有益之處在于：
12、本專利技術的一種電鍍機卡盤導向柱，簡化為一體式結構，導向部分平整光滑，使得蓋板下壓動作摩擦小，動作更平滑，更好的避免了晶圓受到集中應力。一體式結構還省去包邊以及包邊螺絲，減少備件，保養拆卸更簡單方便，提升工作效率；避免頻繁拆卸導致螺絲斷裂、滑牙問題，包邊和螺絲是水平方向固定的，簡化后既減少操作時螺絲脫落污染鍍液、又避免了高速旋轉包邊和螺絲掉落問題，具有很強的實用性和廣泛地適用性。
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1.一種電鍍機卡盤導向柱，其特征在于，包括呈弧形且互成鏡像的上梁和下梁、一對呈弧形梁柱；
2.根據權利要求1所述的一種電鍍機卡盤導向柱，其特征在于，所述上梁、下梁、一對梁柱為一體式結構。
3.根據權利要求1所述的一種電鍍機卡盤導向柱，其特征在于，于上梁和下梁，所述梁柱的外側面的橫截面呈圓弧形。
4.根據權利要求1所述的一種電鍍機卡盤導向柱，其特征在于，所述梁柱為橢圓柱。
5.根據權利要求1所述的一種電鍍機卡盤導向柱，其特征在于，與12寸卡盤對應的，相鄰螺孔的中心間距為41mm。
6.根據權利要求1所述的一種電鍍機卡盤導向柱，其特征在于，與8寸卡盤對應的，相鄰螺孔的中心間距為27mm。
【技術特征摘要】
1.一種電鍍機卡盤導向柱，其特征在于，包括呈弧形且互成鏡像的上梁和下梁、一對呈弧形梁柱；
2.根據權利要求1所述的一種電鍍機卡盤導向柱，其特征在于，所述上梁、下梁、一對梁柱為一體式結構。
3.根據權利要求1所述的一種電鍍機卡盤導向柱，其特征在于，于上梁和下梁，所述梁柱的外側面的橫截面呈圓弧形。
...【專利技術屬性】
技術研發人員：陳旻哲，朱孔明，劉金凡，
申請(專利權)人：江蘇芯德半導體科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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