【技術實現步驟摘要】
本技術涉及晶片加工，具體為一種氣體清洗機用晶片自動牽引機構。
技術介紹
1、晶片在電子學中是將電路小型化的方式，并時常制造在半導體晶圓表面上，在晶片的加工過程中，氣體清洗機作為晶片的生產設備，能夠對晶片進行清潔，通過氣體清洗的方式，保證晶片表面的潔凈度，在晶片進行移動時，需要帶動晶片移動到氣體清洗機清洗位置處，便于進行清洗作業。
2、現有晶片牽引機構，大多都是采用推動結構，來將晶片推動到清潔位置處，但清潔后還需要將晶片再次推出，整個牽引過程較為繁瑣，并且推動結構無法同步，增加碰撞風險。
3、于是，有鑒于此，針對現有的結構及缺失予以研究改良，提出一種氣體清洗機用晶片自動牽引機構，以期達到更具有更加實用價值性的目的。
技術實現思路
1、本技術的目的在于提供一種氣體清洗機用晶片自動牽引機構，以解決上述
技術介紹
中提出的問題。
2、為實現上述目的，本技術提供如下技術方案：一種氣體清洗機用晶片自動牽引機構，包括限位壓板、牽引板和支架，所述限位壓板的外壁一側設置有升降式連接件，且升降式連接件的另一側設置有水平液桿，所述水平液桿的外側一端安裝有立板，所述立板的底部外側設置有牽引板，所述牽引板的底部安裝有支架，且支架的外側安裝有外接架，所述外接架的另一側安裝有限位板，且限位板的底部外側設置有推板；
3、所述牽引板的內側開設有內嵌槽，且內嵌槽的內部安裝有活動式壓桿，所述內嵌槽和所述活動式壓桿的內側處安裝有復位彈簧，所述活動式壓桿的底部設置有嵌針桿。>
4、進一步的，所述立板和所述牽引板的連接處設置有調節螺栓。
5、進一步的，所述支架的底部兩側設置有插桿，且支架的底部中軸線處設置有滑軌。
6、進一步的，所述支架的上表面安裝有連接組件，所述連接組件包括連接塊、連接桿和連接板，所述連接塊的內部穿插有連接桿，且連接桿的兩端設置有連接板，所述連接板的外側水平安裝有電動推桿。
7、進一步的，所述限位板和所述外接架的連接處設置有調節桿。
8、進一步的，所述限位壓板的凸起部和所述活動式壓桿位置相互配合，所述限位壓板移動時可擠壓所述活動式壓桿旋轉。
9、進一步的，所述限位壓板和牽引板貼合時，所述活動式壓桿處于豎直狀態。
10、進一步的，所述活動式壓桿通過復位彈簧和所述牽引板之間構成彈性連接。
11、本技術提供了一種氣體清洗機用晶片自動牽引機構，具備以下有益效果：
12、1、本技術，采用底部滑軌式結構，便于整個牽引機構，在水平位置轉移時的精準性，并且通過限位結構，保證牽引機構在位置上的精確，與半導體晶片的對接準確。
13、2、本技術，整個牽引機構，前側一端采用嵌針桿實現拉動功能，嵌針桿尖端對接并插入半導體晶片邊框處的定位孔內，后側一端采用硬質推板的方式，來推動晶片進行水平移動，在對待清洗晶片進行處理時，嵌針桿會拉動待清洗晶片移動至清洗臺，而另一端的推板則同步推動已清洗晶片移出清洗臺，整個過程自動高效，節省額外操作，提升牽引速率。
14、3、本技術，嵌針桿通過本身處于活動旋轉狀態，作業時會受到外側嵌針桿的限位，致使嵌針桿由外展傾斜狀態，轉化為豎直向下狀態，從而卡合于晶片限位孔處，實現位置定位；
15、并且嵌針桿后側通過復位彈簧，使復位彈簧可彈起嵌針桿，避免對接時，嵌針桿劃傷晶片表面，造成晶片損傷。
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1.一種氣體清洗機用晶片自動牽引機構，包括限位壓板(1)、牽引板(3)和支架(4)，其特征在于：所述限位壓板(1)的外壁一側設置有升降式連接件(101)，且升降式連接件(101)的另一側設置有水平液桿(8)，所述水平液桿(8)的外側一端安裝有立板(2)，所述立板(2)的底部外側設置有牽引板(3)，所述牽引板(3)的底部安裝有支架(4)，且支架(4)的外側安裝有外接架(5)，所述外接架(5)的另一側安裝有限位板(7)，且限位板(7)的底部外側設置有推板(702)；
2.根據權利要求1所述的一種氣體清洗機用晶片自動牽引機構，其特征在于，所述立板(2)和所述牽引板(3)的連接處設置有調節螺栓(201)。
3.根據權利要求1所述的一種氣體清洗機用晶片自動牽引機構，其特征在于，所述支架(4)的底部兩側設置有插桿(401)，且支架(4)的底部中軸線處設置有滑軌(402)。
4.根據權利要求1所述的一種氣體清洗機用晶片自動牽引機構，其特征在于，所述支架(4)的上表面安裝有連接組件(6)，所述連接組件(6)包括連接塊(601)、連接桿(602)和連接板(603
5.根據權利要求1所述的一種氣體清洗機用晶片自動牽引機構，其特征在于，所述限位板(7)和所述外接架(5)的連接處設置有調節桿(701)。
6.根據權利要求1所述的一種氣體清洗機用晶片自動牽引機構，其特征在于，所述限位壓板(1)的凸起部和所述活動式壓桿(302)位置相互配合，所述限位壓板(1)移動時可擠壓所述活動式壓桿(302)旋轉。
7.根據權利要求6所述的一種氣體清洗機用晶片自動牽引機構，其特征在于，所述限位壓板(1)和牽引板(3)貼合時，所述活動式壓桿(302)處于豎直狀態。
8.根據權利要求1所述的一種氣體清洗機用晶片自動牽引機構，其特征在于，所述活動式壓桿(302)通過復位彈簧(303)和所述牽引板(3)之間構成彈性連接。
...【技術特征摘要】
1.一種氣體清洗機用晶片自動牽引機構，包括限位壓板(1)、牽引板(3)和支架(4)，其特征在于：所述限位壓板(1)的外壁一側設置有升降式連接件(101)，且升降式連接件(101)的另一側設置有水平液桿(8)，所述水平液桿(8)的外側一端安裝有立板(2)，所述立板(2)的底部外側設置有牽引板(3)，所述牽引板(3)的底部安裝有支架(4)，且支架(4)的外側安裝有外接架(5)，所述外接架(5)的另一側安裝有限位板(7)，且限位板(7)的底部外側設置有推板(702)；
2.根據權利要求1所述的一種氣體清洗機用晶片自動牽引機構，其特征在于，所述立板(2)和所述牽引板(3)的連接處設置有調節螺栓(201)。
3.根據權利要求1所述的一種氣體清洗機用晶片自動牽引機構，其特征在于，所述支架(4)的底部兩側設置有插桿(401)，且支架(4)的底部中軸線處設置有滑軌(402)。
4.根據權利要求1所述的一種氣體清洗機用晶片自動牽引機構，其特征在于，所述支架(4)的上表面安裝有連接組件(6...
【專利技術屬性】
技術研發人員：吳繼勇，
申請(專利權)人：江蘇宿芯半導體有限公司，
類型：新型
國別省市：
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