【技術實現步驟摘要】
本技術涉及半導體芯片生產設備，尤其涉及一種具有自鎖拆換結構的氣體過濾器定位裝置。
技術介紹
1、在芯片制造環節中，除了需要用到光刻機、光刻膠、硅片等設備和原材料外，氣體也是必不可少的。可以通過氣體產生塑造半導體電氣特性所需的化學反應，也可利用惰性氣體極不活潑的化學性質，用于生產過程中的保護氣，其中氖氣、氙氣、氪氣是芯片制造過程中必不可少的原材料，相當于半導體產業的血液。這些惰性氣體并不能直接用于半導體的生產制造，需要以混合氣體的形式使用，例如氪氖混合氣、氟氖混合氣等等。為了得到混合氣體通常以兩種或兩種以上純度較高的單一氣體通過特殊的過濾器進行混合。當過濾器到達其使用壽命后，則必須進行拆換操作。
2、專利文獻cn115821230a公開一種氣體過濾器，其包括氣體過濾器本體，氣體過濾器本體內開設貫通氣體過濾器本體的氣體過濾流道，氣體過濾器本體上開設有用于充入反應氣體的第一流道和用于充入前驅物的第二流道，第一流道具有沿氣體過濾器本體延伸方向設置的返流流道，返流流道貫穿氣體過濾器本體的進氣端，第二流道與氣體過濾流道連通。然而，這種過濾器的拆換過程極為不便，影響設備維護和加工效率。因此，有必要對其進行結構優化，以克服上述缺陷。
技術實現思路
1、本技術的目的是提供一種具有自鎖拆換結構的氣體過濾器定位裝置，以提升過濾器拆換過程的便利性。
2、本技術為解決其技術問題所采用的技術方案是：
3、一種具有自鎖拆換結構的氣體過濾器定位裝置，其包括：
4、固
5、支承裝配構件，該支承裝配構件接合于固定撐托構件上，其內部具有與進氣端管適配的裝配空間，進氣端管可通過連接件固定于支承裝配構件中；
6、活動撐托構件，該活動撐托構件通過軸向導移結構安裝于固定撐托構件上，可在固定撐托構件上沿軸向移動；
7、承載容納構件，該承載容納構件接合于活動撐托構件上，可隨活動撐托構件一同調節位置，以靠近或遠離進氣端管，其內部具有與氣體過濾器適配的容納空間，氣體過濾器可隨支承裝配構件一同調節位置，以與進氣端管配接或脫離；
8、切換驅動構件，該切換驅動構件通過徑向導移結構安裝于支承裝配構件上，并通過軸向導移結構與支承裝配構件配合，其可在支承裝配構件上沿徑向移動，并帶動活動撐托構件沿軸向移動。
9、具體地，固定撐托構件包括：
10、撐托座板，該撐托座板設有一對，各撐托座板兩端分別通過連接螺栓固定于設備框架中。
11、支承裝配構件包括：
12、支承側板，該支承側板設有一對，各支承側板分別形成于承托座板邊緣，其向承托座板外側彎折，并相互平行，在各支承側板中分別開設位置對應的軸向通槽及徑向通槽，軸向通槽沿及徑向通槽為長條形結構，其分別貫穿各支承側板，并分別沿進氣端管的軸向及徑向延伸，徑向通槽末端延伸至軸向通槽末端；
13、裝配端板，該裝配端板接合于支承側板之間，其內部開設有與進氣端管適配的裝配通口，進氣端管可從裝配通口中貫穿，并通過連接螺栓固定于裝配端板上；
14、裝配軸桿，該裝配軸桿位于支承側板之間，其兩端分別貫穿支承側板。
15、活動撐托構件包括：
16、撐托側板，該撐托側板設有一對，各撐托側板頂部分別開設有軸向通口，該軸向通口為長條形結構，其分別貫穿撐托側板，并分別沿進氣端管的軸向延伸，裝配軸桿兩端分別通過配接軸套與軸向通口配合，使撐托側板可沿軸向通口移動。
17、承載容納構件包括：
18、承載端板，該承載端板位于撐托側板之間，并位于裝配端板下方，其兩端分別與撐托側板底部接合，可隨撐托側板一同沿軸向通口移動，氣體過濾器底部可置于承載端板上，由承載端板氣體過濾器進行承載，并帶動氣體過濾器一同移動，使其與進氣端管配接或脫離；
19、承載罩板，該承載罩板接合于承載端板邊緣，并向承載端板上方彎折，其頂部向內側彎折，并開設與氣體過濾器側部形狀適配的定位凹口，由承載罩板氣體過濾器進行遮罩并定位。
20、切換驅動構件包括：
21、切換撬板，該切換撬板設有一對，各切換撬板分別位于撐托側板與支承側板之間，其內端通過徑向端軸與支承側板中的徑向通槽配合，可沿徑向通槽移動，其外端通過軸向端軸與支承側板中的軸向通槽配合，并與承托側板頂部接合，切換撬板內端沿徑向通槽移動時，可帶動其外端及承托側板沿軸向通槽移動；
22、驅動把手，該驅動把手位于切換撬板之間，其兩端分別與切換撬板接合，可通過驅動把手帶動切換撬板動作，便于對氣體過濾器進行拆換。
23、在本技術的一個實施例中，切換驅動構件還包括：
24、聯動鎖桿，該聯動鎖桿設有一對，各聯動鎖桿分別位于撐托側板內側，并連接于軸向端軸與徑向端軸之間，可隨軸向端軸及徑向端軸一同移動，并對切換撬板的位置進行鎖定。
25、使用時，將驅動把手向外拉，使得切換撬板偏轉，帶動徑向端軸沿徑向通槽移動，同時軸向端軸沿軸向通槽移動，進而帶動承托側板沿軸向通口移動，使得承載端板帶動氣體過濾器移動，進氣端管與氣體過濾器脫離，便于將舊的氣體過濾器取出，并將新的氣體過濾器放入，再將驅動把手向內壓，使得切換撬板偏轉，帶動徑向端軸沿徑向通槽反向移動，同時軸向端軸沿軸向通槽反向移動，進而帶動承托側板沿軸向通口反向移動，使得承載端板帶動氣體過濾器反向移動，進氣端管與氣體過濾器配接，此時聯動鎖桿沿軸向延伸，并且徑向端軸正好到達徑向通槽末端，徑向端軸與徑向通槽之間具備摩擦阻力，使得其在未受到徑向推力時會保持鎖定狀態。
26、本技術的優點在于：
27、該定位裝置通過軸向和徑向的導移結構，使得活動撐托構件和承載容納構件可以方便地沿軸向移動，進而帶動氣體過濾器靠近或遠離進氣端管，實現與進氣端管的配接或脫離，大大簡化了氣體過濾器的拆換過程，提高了工作效率，并且裝置帶有自鎖功能，安裝完成后不用擔心因為氣體壓力過大而導致過濾器和氣管分離。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種具有自鎖拆換結構的氣體過濾器定位裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的一種具有自鎖拆換結構的氣體過濾器定位裝置，其特征在于，固定撐托構件包括：
3.根據權利要求2所述的一種具有自鎖拆換結構的氣體過濾器定位裝置，其特征在于，支承裝配構件包括：
4.根據權利要求3所述的一種具有自鎖拆換結構的氣體過濾器定位裝置，其特征在于，活動撐托構件包括：
5.根據權利要求4所述的一種具有自鎖拆換結構的氣體過濾器定位裝置，其特征在于，承載容納構件包括：
6.根據權利要求4所述的一種具有自鎖拆換結構的氣體過濾器定位裝置，其特征在于，切換驅動構件包括：
7.根據權利要求6所述的一種具有自鎖拆換結構的氣體過濾器定位裝置，其特征在于，切換驅動構件還包括：
【技術特征摘要】
1.一種具有自鎖拆換結構的氣體過濾器定位裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的一種具有自鎖拆換結構的氣體過濾器定位裝置，其特征在于，固定撐托構件包括：
3.根據權利要求2所述的一種具有自鎖拆換結構的氣體過濾器定位裝置，其特征在于，支承裝配構件包括：
4.根據權利要求3所述的一種具有自鎖拆換結構的氣體過濾器定位裝置，...
【專利技術屬性】
技術研發人員：徐鑫，
申請(專利權)人：上海卓晶半導體科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。