【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及三維測定探頭。
技術介紹
1、已知有能夠測定被測定物的表面的三維形狀的三維形狀測定機。在三維形狀測定機中，使用具有與被測定物接觸的觸針的三維測定探頭(例如專利文獻1)。
2、在三維形狀測定機中，在通過一定的按壓力使三維測定探頭的觸針的前端與被測定物的表面接觸的同時使觸針描繪被測定物的表面形狀，并利用傳感器對觸針的位移進行檢測，由此測定被測定物的三維形狀。
3、現有技術文獻
4、專利文獻
5、專利文獻1：日本特開平9-96518號公報
技術實現思路
1、專利技術所要解決的課題
2、然而，在現有的三維測定探頭中，有時難以高精度地測定被測定物的表面的形狀。
3、本專利技術解決這樣的課題，其目的在于提供能夠高精度地測定被測定物的表面的形狀的三維測定探頭。
4、用于解決課題的方案
5、為了達成上述目的，本專利技術的三維測定探頭的一方案具備：可動體，其具有前端與被測定物的表面相接觸的觸針；保持機構，其以使所述可動體能夠沿一軸方向移動的方式保持所述可動體；殼體，其收納所述可動體以及所述保持機構；以及振動衰減機構，其用于使所述可動體的振動衰減，所述振動衰減機構具有與所述可動體的移動連動地沿所述一軸方向移動的銷、以及具有在所述一軸方向上背對的第一平面以及第二平面的凝膠體，所述第一平面以及所述第二平面是向空氣層露出的露出面，所述銷在所述一軸方向上插入所述凝膠體中。
6、專利技術效果
7、根據本專利技術，能夠高精度地測定被測定物的表面的形狀。
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1.一種三維測定探頭，其中，
2.根據權利要求1所述的三維測定探頭，其中，
3.根據權利要求1或2所述的三維測定探頭，其中，
4.根據權利要求1或2所述的三維測定探頭，其中，
5.根據權利要求4所述的三維測定探頭，其中，
6.根據權利要求4所述的三維測定探頭，其中，
7.根據權利要求1或2所述的三維測定探頭，其中，
8.根據權利要求7所述的三維測定探頭，其中，
【技術特征摘要】
1.一種三維測定探頭，其中，
2.根據權利要求1所述的三維測定探頭，其中，
3.根據權利要求1或2所述的三維測定探頭，其中，
4.根據權利要求1或2所述的三維測定探頭，其中，
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【專利技術屬性】
技術研發人員：舟橋隆憲，佐佐木亙，勝部俊春，
申請(專利權)人：松下知識產權經營株式會社，
類型：發明
國別省市：
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