【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于化學分析，特別涉及一種用于檢測光刻膠負膠清洗液中特定有機化合物含量的方法。
技術介紹
1、負膠清洗液是一種在晶圓制造過程中用于清除負性光刻膠的溶液，一種光刻膠負膠清洗液中含有苯酚、二氯苯和四氯乙烯。這些物質的含量對于負膠清洗液的清洗效果至關重要，因此需要開發一種快速、準確的方法來檢測這幾種有機物。然而，現有技術中，一般僅涉及單獨檢測苯酚、二氯苯或四氯乙烯的方法，沒有提供同時檢測苯酚、二氯苯和四氯乙烯三者含量的方法。
2、本專利技術采用高效液相色譜法作為一種分離檢測方法，能實現同時檢測苯酚、二氯苯和四氯乙烯的含量，可以應用到負膠清洗液的質量控制中。
技術實現思路
1、本專利技術提供一種檢測負膠清洗液中苯酚、二氯苯和四氯乙烯含量的方法，包括以下步驟：
2、（1）分別配制四氯乙烯、二氯苯和苯酚的標準溶液；
3、（2）采用有機溶劑對樣品進行處理，得到樣品溶液；
4、（3）配制流動相：流動相包括流動相a和流動相b，按體積分數計，流動相a：流動相b=1：1；
5、所述流動相a為乙腈；
6、所述流動相b為水；
7、（4）設置液相色譜儀進行測試；
8、（5）測定標準溶液并繪制標準曲線；測定樣品溶液，根據標準曲線計算樣品溶液中四氯乙烯、二氯苯和苯酚的含量。
9、所述步驟（1）標準溶液選用甲醇作溶劑。
10、所述步驟（2）采用甲醇對樣品進行稀釋處理，得到樣品溶液。>
11、所述液相色譜的檢測條件為：
12、色譜柱：c18反相色譜柱；
13、流動相：乙腈：水=1：1；
14、流速：1ml/min；
15、柱溫：35℃；
16、檢測波長：210nm；
17、進樣量：2μl。
18、所述色譜柱為agilent?bonus?rp，250mm*4.6μm*5μm。
19、使用外標法對苯酚、二氯苯和四氯乙烯進行定量分析。
20、與現有技術相比，本專利技術具有以下優點：
21、（1）能夠同時檢測苯酚、二氯苯和四氯乙烯三種化合物的含量，提高了分析效率。
22、（2）本專利技術提供的檢測方法具有高靈敏度和高選擇性，確保了檢測結果的準確性。
23、（3）操作簡便，易于在實驗室和工業現場應用。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種檢測負膠清洗液中苯酚、二氯苯和四氯乙烯含量的方法，其特征在于，包括以下步驟：
2.根據權利要求1所述的檢測負膠清洗液中苯酚、二氯苯和四氯乙烯含量的方法，其特征在于，所述步驟（1）標準溶液選用甲醇作溶劑。
3.根據權利要求1所述的檢測負膠清洗液中苯酚、二氯苯和四氯乙烯含量的方法，其特征在于，所述步驟（2）為采用甲醇對樣品進行稀釋處理，得到樣品溶液。
4.根據權利要求1所述的檢測負膠清洗液中苯酚、二氯苯和四氯乙烯含量的方法，其特征在于，所述液相色譜的檢測條件為：
5.?根據權利要求4所述的檢測負膠清洗液中苯酚、二氯苯和四氯乙烯含量的方法，其特征在于，所述色譜柱為Agilent?Bonus?RP，250mm*4.6μm*5μm。
6.根據權利要求1~5任一項所述的檢測負膠清洗液中苯酚、二氯苯和四氯乙烯含量的方法，其特征在于，使用外標法對苯酚、二氯苯和四氯乙烯進行定量分析。
【技術特征摘要】
1.一種檢測負膠清洗液中苯酚、二氯苯和四氯乙烯含量的方法，其特征在于，包括以下步驟：
2.根據權利要求1所述的檢測負膠清洗液中苯酚、二氯苯和四氯乙烯含量的方法，其特征在于，所述步驟（1）標準溶液選用甲醇作溶劑。
3.根據權利要求1所述的檢測負膠清洗液中苯酚、二氯苯和四氯乙烯含量的方法，其特征在于，所述步驟（2）為采用甲醇對樣品進行稀釋處理，得到樣品溶液。
4.根據權利要求1所述的檢測...
【專利技術屬性】
技術研發人員：譚小龍，李琴，賀兆波，葉瑞，
申請(專利權)人：湖北興福電子材料股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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