【技術實現步驟摘要】
本專利技術主要涉及離子注入機，具體涉及一種用于離子注入機的具有雙向能量控制特性的高壓直流電源。
技術介紹
1、在離子注入機中，通常需要使用高壓電源實現對離子注入過程的調節和控制，高壓電源的高壓輸出往往連接到固定負載，負載可以是極板、電極等具有電容特性或電阻特性的導電材料，通常高壓電源的高壓輸出電流到負載，將能量消耗在負載上。
2、但在離子注入機中，某些負載如極板，通常高壓電源輸出能量到負載上，因此高壓電源通常只具備高壓輸出能量的功能，但當離子注入過程中導致負載帶離子時，此時需要保證高壓電源輸出電壓穩定的條件下，由于正離子的存在則需要負載反向輸送能量給高壓電源，此時高壓電源需要具有吸收能量的特性。
技術實現思路
1、針對現有技術存在的技術問題，本專利技術提供一種能夠實現輸出能量和吸收能量的雙向功能特性的用于離子注入機的具有雙向能量控制特性的高壓直流電源。
2、為解決上述技術問題，本專利技術提出的技術方案為：
3、一種用于離子注入機的具有雙向能量控制特性的高壓直流電源，包括電壓源、電流源和限流單元；所述電流源與限流單元串聯后，整體再與電壓源并聯以對外輸出。
4、優選地，所述電流源為受控電流源或恒定電流源或程控電源。
5、優選地，所述電壓源為受控電壓源或恒定電壓源或程控電源。
6、優選地，所述限流單元為限流電阻器。
7、優選地，所述高壓直流電源對外連接至電阻性負載、電容性負載和電感性負載之一或者任意種類型
8、優選地，所述高壓直流電源對外連接的負載接地或不接地。
9、優選地，所述高壓直流電源對外連接至電極板。
10、優選地，所述電極板上施加有正電壓或負電壓。
11、與現有技術相比，本專利技術的優點在于：
12、本專利技術的具有雙向能量控制特性的高壓直流電源，能夠有效的通過電源內部的限流電阻設計，從而使得電源具有雙向電流輸出能力，能夠實現輸出能量和吸收能量的雙向功能特性；本專利技術可以靈活設定電流源電流或電壓源電壓；電流源可以根據需要外部受控調節電流；電壓源可以根據需要外部受控調節電壓；高壓電源可以是整體一個設備或多個由電流源、電壓源、限流電阻構成的多個設備的形式。
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1.一種用于離子注入機的具有雙向能量控制特性的高壓直流電源，其特征在于，包括電壓源、電流源和限流單元；所述電流源與限流單元串聯后，整體再與電壓源并聯以對外輸出。
2.根據權利要求1所述的用于離子注入機的具有雙向能量控制特性的高壓直流電源，其特征在于，所述電流源為受控電流源或恒定電流源或程控電源。
3.根據權利要求1所述的用于離子注入機的具有雙向能量控制特性的高壓直流電源，其特征在于，所述電壓源為受控電壓源或恒定電壓源或程控電源。
4.根據權利要求1或2或3所述的用于離子注入機的具有雙向能量控制特性的高壓直流電源，其特征在于，所述限流單元為限流電阻器。
5.根據權利要求1或2或3所述的用于離子注入機的具有雙向能量控制特性的高壓直流電源，其特征在于，所述高壓直流電源對外連接至電阻性負載、電容性負載和電感性負載之一或者任意種類型負載組合后的負載。
6.根據權利要求5所述的用于離子注入機的具有雙向能量控制特性的高壓直流電源，其特征在于，所述高壓直流電源對外連接的負載接地或不接地。
7.根據權利要求1或2或3所述的用于
8.根據權利要求7所述的用于離子注入機的具有雙向能量控制特性的高壓直流電源，其特征在于，所述電極板上施加有正電壓或負電壓。
...【技術特征摘要】
1.一種用于離子注入機的具有雙向能量控制特性的高壓直流電源，其特征在于，包括電壓源、電流源和限流單元；所述電流源與限流單元串聯后，整體再與電壓源并聯以對外輸出。
2.根據權利要求1所述的用于離子注入機的具有雙向能量控制特性的高壓直流電源，其特征在于，所述電流源為受控電流源或恒定電流源或程控電源。
3.根據權利要求1所述的用于離子注入機的具有雙向能量控制特性的高壓直流電源，其特征在于，所述電壓源為受控電壓源或恒定電壓源或程控電源。
4.根據權利要求1或2或3所述的用于離子注入機的具有雙向能量控制特性的高壓直流電源，其特征在于，所述限流單元為限流電阻器。
5.根...
【專利技術屬性】
技術研發人員：尹進峰，陳輝，林萍，高瑞松，李進，豐冠會，徐志華，郭曉杰，
申請(專利權)人：北京爍科中科信電子裝備有限公司，
類型：發明
國別省市：
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