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    一種基于DDR裸片的RDL扇出結構制造技術

    技術編號:44448121 閱讀:6 留言:0更新日期:2025-02-28 18:53
    本發明專利技術公開了一種基于DDR裸片的RDL扇出結構,其包括:形成在DDR裸片上的EMC層130、形成在EMC層130上的焊盤110、形成在DDR裸片上方且與焊盤110電連接的電介質層DL2140、形成在電介質層DL2140上方且與焊盤110電連接的RDL層150、形成在RDL層150上方的電介質層DL1160、形成在電介質層DL1160上方且與RDL層150電連接的UBM層170,以及形成在UBM層170上方的BGA焊球180。本發明專利技術通過重布線技術實現三維集成互聯的解決方案,并創新性將位于DDR裸片中間的焊盤陣列為在芯片上平均排布的FC凸點,從而優化了電源分布和信號完整性。

    【技術實現步驟摘要】

    本專利技術屬于集成電路封裝,涉及一種基于ddr裸片的rdl扇出結構。


    技術介紹

    1、目前,隨著半導體工藝技術的進步,晶體管尺寸的不斷縮小,集成度大幅提高,裸片的尺寸也在減小,而功能卻更加復雜。這導致裸片上的i/o(輸入/輸出)數量大幅增加,對封裝技術提出了更高的要求。傳統的引線鍵合技術逐漸遇到了瓶頸,因為大量的引線會導致信號遲延和干擾問題。為了解決這些問題,開發了各種先進的封裝技術,如倒裝芯片(flip?chip)技術。

    2、隨著數據傳輸速率的提高,信號完整性問題變得更加突出,需要采用各種技術來保證信號的質量,例如使用差分信號對,控制信號的阻抗匹配等。隨著裸片功耗的增加,如何有效地為裸片提供穩定和充足的電源成為了一個挑戰。電源分布網絡(pdn)的設計變得尤為重要,需要考慮到電源噪聲、電壓調節、熱管理等諸多因素。有效的熱管理可以保證裸片的溫度保持在可接受的范圍內,避免由于過熱導致的性能下降或器件損壞。

    3、rdl(重布線)扇出技術是在這樣的技術背景下發展起來的。rdl是一種在封裝基板或中介層上形成的金屬互連結構,它可以將裸片上的信號和電源引腳重新分布到封裝的其他部分,如bga(球柵陣列)的下面。這種技術可以提供更短的信號路徑,減少信號延遲和干擾,提高信號完整性;同時也可以優化電源分布和熱管理,提高封裝的整體性能。


    技術實現思路

    1、(一)專利技術目的

    2、本專利技術的目的是:提供一種基于ddr裸片的rdl扇出結構,以解決ddr裸片的電連接點,重新陣列排布的問題。

    3、(二)技術方案

    4、為了解決上述技術問題,本專利技術提供一種基于ddr裸片的rdl扇出結構,其包括:形成在ddr裸片上的emc層130、形成在emc層130上的焊盤110、形成在ddr裸片上方且與焊盤110電連接的電介質層dl2140、形成在電介質層dl2140上方且與焊盤110電連接的rdl層150、形成在rdl層150上方的電介質層dl1160、形成在電介質層dl1160上方且與rdl層150電連接的ubm層170,以及形成在ubm層170上方的bga焊球180。

    5、其中,emc層130外圍還形成有密封環120。

    6、其中,焊盤110用于連接ddr裸片上的金屬化區域和外部電路的接觸點。

    7、其中,焊盤110由鋁、銅導電材料制成,位于ddr裸片表面。

    8、其中,密封環120為環形,位于芯片和封裝外殼之間,密封環的材料為金屬、塑料或橡膠中的一種。

    9、其中,emc層130使用熱固性樹脂材質。

    10、其中,電介質層dl2140和電介質層dl1160,用于絕緣不同的導電層;電介質層dl2140上有dl2開窗141,電介質層dl1160上有dl1開窗161;rdl層150通過dl2開窗141和焊盤110電連接,ubm層170通過dl1開窗161和rdl層150電連接。

    11、其中,rdl層150用于重新布線芯片上的電路,rdl層150和所述焊盤110形成電連接,所述rdl層150和所述ubm層170形成電連接。

    12、其中,ubm層170,電介質層dl1160上濺射一層ti/cu金屬層作為ubm層170,ubm層170形成所述bga焊球180和所述rdl層150之間的金屬化過渡。

    13、其中,bga焊球180陣列排布形成fc凸點,所述bga焊球180與所述ubm層170形成電連接。

    14、(三)有益效果

    15、上述技術方案所提供的基于ddr裸片的rdl扇出結構,通過重布線技術實現三維集成互聯的解決方案,并創新性將位于ddr裸片中間的焊盤陣列為在芯片上平均排布的fc凸點,從而優化了電源分布和信號完整性;擴展了rdl技術實現三維集成能力和技術水平,為同類產品設計或更復雜系統芯片集成提供有效技術支撐;該專利技術信號質量高,可靠性較好。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種基于DDR裸片的RDL扇出結構,其特征在于,包括:形成在DDR裸片上的EMC層(130)、形成在EMC層(130)上的焊盤(110)、形成在DDR裸片上方且與焊盤(110)電連接的電介質層DL2(140)、形成在電介質層DL2(140)上方且與焊盤(110)電連接的RDL層(150)、形成在RDL層(150)上方的電介質層DL1(160)、形成在電介質層DL1(160)上方且與RDL層(150)電連接的UBM層(170),以及形成在UBM層(170)上方的BGA焊球(180)。

    2.如權利要求1所述的基于DDR裸片的RDL扇出結構,其特征在于,EMC層(130)外圍還形成有密封環(120)。

    3.如權利要求2所述的基于DDR裸片的RDL扇出結構,其特征在于,焊盤(110)用于連接DDR裸片上的金屬化區域和外部電路的接觸點。

    4.如權利要求3所述的基于DDR裸片的RDL扇出結構,其特征在于,焊盤(110)由鋁、銅導電材料制成,位于DDR裸片表面。

    5.如權利要求4所述的基于DDR裸片的RDL扇出結構,其特征在于,密封環(120)為環形,位于芯片和封裝外殼之間,密封環的材料為金屬、塑料或橡膠中的一種。

    6.如權利要求5所述的基于DDR裸片的RDL扇出結構,其特征在于,EMC層(130)使用熱固性樹脂材質。

    7.如權利要求6所述的基于DDR裸片的RDL扇出結構,其特征在于,電介質層DL2(140)和電介質層DL1(160),用于絕緣不同的導電層;電介質層DL2(140)上有DL2開窗(141),電介質層DL1(160)上有DL1開窗(161);RDL層(150)通過DL2開窗(141)和焊盤(110)電連接,UBM層(170)通過DL1開窗(161)和RDL層(150)電連接。

    8.如權利要求7所述的基于DDR裸片的RDL扇出結構,其特征在于,RDL層(150)用于重新布線芯片上的電路,RDL層(150)和所述焊盤(110)形成電連接,所述RDL層(150)和所述UBM層(170)形成電連接。

    9.如權利要求8所述的基于DDR裸片的RDL扇出結構,其特征在于,UBM層(170),電介質層DL1(160)上濺射一層Ti/Cu金屬層作為UBM層(170),UBM層(170)形成所述BGA焊球(180)和所述RDL層(150)之間的金屬化過渡。

    10.如權利要求9所述的基于DDR裸片的RDL扇出結構,其特征在于,BGA焊球(180)陣列排布形成FC凸點,所述BGA焊球(180)與所述UBM層(170)形成電連接。

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    【技術特征摘要】

    1.一種基于ddr裸片的rdl扇出結構,其特征在于,包括:形成在ddr裸片上的emc層(130)、形成在emc層(130)上的焊盤(110)、形成在ddr裸片上方且與焊盤(110)電連接的電介質層dl2(140)、形成在電介質層dl2(140)上方且與焊盤(110)電連接的rdl層(150)、形成在rdl層(150)上方的電介質層dl1(160)、形成在電介質層dl1(160)上方且與rdl層(150)電連接的ubm層(170),以及形成在ubm層(170)上方的bga焊球(180)。

    2.如權利要求1所述的基于ddr裸片的rdl扇出結構,其特征在于,emc層(130)外圍還形成有密封環(120)。

    3.如權利要求2所述的基于ddr裸片的rdl扇出結構,其特征在于,焊盤(110)用于連接ddr裸片上的金屬化區域和外部電路的接觸點。

    4.如權利要求3所述的基于ddr裸片的rdl扇出結構,其特征在于,焊盤(110)由鋁、銅導電材料制成,位于ddr裸片表面。

    5.如權利要求4所述的基于ddr裸片的rdl扇出結構,其特征在于,密封環(120)為環形,位于芯片和封裝外殼之間,密封環的材料為金屬、塑料或橡膠中的一種。

    6.如權利要求5所述的基于ddr裸片的rdl扇...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:朱琳曾永紅朱天成張楠徐藝軒付月
    申請(專利權)人:天津津航計算技術研究所
    類型:發明
    國別省市:

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