【技術實現步驟摘要】
本技術涉及晶圓存儲，具體為一種支撐晶圓的泡沫結構。
技術介紹
1、晶圓是指制作硅半導體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。國內晶圓生產線以8英寸和12英寸為主。
2、現有的晶圓存儲設備有如下缺陷：
3、現有晶圓設備對晶圓存儲、轉運時，在外力的作用下，晶圓之間會出現移位，導致晶圓之間出現碰撞、磨損、損壞的問題。為此，需要給出解決方案。
技術實現思路
1、(一)解決的技術問題
2、針對現有技術的不足，本技術提供了一種支撐晶圓的泡沫結構，以解決上述
技術介紹
中提出的問題。
3、(二)技術方案
4、為實現以上目的，本技術通過以下技術方案予以實現：一種支撐晶圓的泡沫結構，包括裝置本體，所述裝置本體包括泡沫底座、存儲泡沫箱和密封頂蓋，所述泡沫底座與存儲泡沫箱為平滑過渡且一體加工成型結構，所述泡沫底座位于存儲泡沫箱底部，所述密封頂蓋安裝在存儲泡沫箱頂部；所述存儲泡沫箱呈矩形狀結構，所述存儲泡沫箱內部開設有存儲倉，所述存儲倉內開設有若干組呈橫向等距方式分布的晶圓存儲槽，所述晶圓存儲槽呈凹字狀結構，所述晶圓存儲槽內部為中空式結構，所述晶圓存儲槽內部下部分呈半圓狀結構。
5、優選的，所述存儲泡沫箱表面設有若干組泡沫加強筋，所述泡沫加強筋呈網狀結構。
6、優選的，所述泡沫底座呈矩形狀結構，所述泡沫底
7、優選的，所述密封頂蓋呈矩形狀結構，所述密封頂蓋底部為中空式結構，所述密封頂蓋底端內部設有若干組呈橫向等距方式分布的限位晶圓塊，所述限位晶圓塊呈括號狀結構，所述密封頂蓋頂部設有透明薄膜窗。
8、(三)有益效果
9、本技術提供了一種支撐晶圓的泡沫結構。具備以下有益效果：
10、該種支撐泡沫結構可以有效地對晶圓進行單獨限位存儲，從而防止了晶圓出現晃動而損壞的情況發生，大大提高了晶圓存儲、轉運時的安全性，且該種存儲裝置通過泡沫材質，泡沫材質比較柔軟，從而不會對晶圓進行磨損。
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1.一種支撐晶圓的泡沫結構，其特征在于：包括裝置本體(1)，所述裝置本體(1)包括泡沫底座(2)、存儲泡沫箱(3)和密封頂蓋(4)，所述泡沫底座(2)與存儲泡沫箱(3)為平滑過渡且一體加工成型結構，所述泡沫底座(2)位于存儲泡沫箱(3)底部，所述密封頂蓋(4)安裝在存儲泡沫箱(3)頂部；
2.根據權利要求1所述的一種支撐晶圓的泡沫結構，其特征在于：所述存儲泡沫箱(3)表面設有若干組泡沫加強筋(7)，所述泡沫加強筋(7)呈網狀結構。
3.根據權利要求1所述的一種支撐晶圓的泡沫結構，其特征在于：所述泡沫底座(2)呈矩形狀結構，所述泡沫底座(2)底部設有防滑安裝框(10)，所述防滑安裝框(10)呈凸出狀結構，所述防滑安裝框(10)內設有加強塊(11)，所述加強塊(11)呈十字狀結構，所述防滑安裝框(10)和加強塊(11)均為泡沫材質。
4.根據權利要求1所述的一種支撐晶圓的泡沫結構，其特征在于：所述密封頂蓋(4)呈矩形狀結構，所述密封頂蓋(4)底部為中空式結構，所述密封頂蓋(4)底端內部設有若干組呈橫向等距方式分布的限位晶圓塊(8)，所述限位晶圓塊(
...【技術特征摘要】
1.一種支撐晶圓的泡沫結構，其特征在于：包括裝置本體(1)，所述裝置本體(1)包括泡沫底座(2)、存儲泡沫箱(3)和密封頂蓋(4)，所述泡沫底座(2)與存儲泡沫箱(3)為平滑過渡且一體加工成型結構，所述泡沫底座(2)位于存儲泡沫箱(3)底部，所述密封頂蓋(4)安裝在存儲泡沫箱(3)頂部；
2.根據權利要求1所述的一種支撐晶圓的泡沫結構，其特征在于：所述存儲泡沫箱(3)表面設有若干組泡沫加強筋(7)，所述泡沫加強筋(7)呈網狀結構。
3.根據權利要求1所述的一種支撐晶圓的泡沫結構，其特征在于：所述泡沫...
【專利技術屬性】
技術研發人員：鞠文凱，
申請(專利權)人：晶測電子科技上海有限公司，
類型：新型
國別省市：
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