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    影像感測裝置制造方法及圖紙

    技術(shù)編號:44448240 閱讀:4 留言:0更新日期:2025-02-28 18:53
    本技術(shù)實(shí)施例的各種實(shí)施例涉及影像感測裝置,其包括半導(dǎo)體主體內(nèi)的鍺傳感器和形成在半導(dǎo)體主體的背側(cè)中的超透鏡。超透鏡被構(gòu)造為將紅外光聚焦在鍺傳感器上,并且可能具有比等效微透鏡更低的輪廓。可選地,超透鏡與微透鏡組合以獲得所需的焦距。超透鏡或超透鏡與微透鏡的組合克服了制造過程對微透鏡焦距的限制,因此消除了對微透鏡和鍺傳感器之間的間隔件的需要,或減少了間隔件的厚度。消除間隔件或減小其厚度可改善影像感測裝置的角度響應(yīng)。

    【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

    本技術(shù)實(shí)施例涉及一種影像感測裝置


    技術(shù)介紹

    1、包含影像傳感器的集成電路(ic)廣泛用于相機(jī)和手機(jī)等現(xiàn)代電子裝置中。互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(cmos)影像傳感器(cis)已變得流行。與電荷耦合裝置(charge-coupleddevice,ccd)相比,cis由于功耗低、像素尺寸小、數(shù)據(jù)處理速度快和制造成本低而越來越受到青睞。隨著像素尺寸越來越小,制造變得越來越困難,限制像素之間的串?dāng)_也變得越來越困難。


    技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

    1、本技術(shù)實(shí)施例是涉及一種影像感測裝置,其包括:半導(dǎo)體主體,具有第一側(cè)和第二側(cè);光檢測區(qū)域,包括在所述半導(dǎo)體主體內(nèi)的感光結(jié)構(gòu);以及超透鏡,配置在所述第二側(cè)上或所述第二側(cè)處,其中所述超透鏡被配置為將電磁輻射聚焦在所述感光結(jié)構(gòu)上。

    2、本技術(shù)實(shí)施例是涉及一種影像感測裝置,其包括:半導(dǎo)體主體,包括第一側(cè)和第二側(cè),其中所述半導(dǎo)體主體具有第一折射率;光學(xué)材料,配置于所述第二側(cè)上,其中所述光學(xué)材料具有與所述第一折射率不同的第二折射率;光檢測區(qū)域,包括配置在所述半導(dǎo)體主體內(nèi)的感光結(jié)構(gòu);以及超透鏡,由所述光學(xué)材料和所述半導(dǎo)體主體形成,其中所述超透鏡被構(gòu)造為將近紅外光聚焦在所述感光結(jié)構(gòu)上。

    【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

    1.一種影像感測裝置,其特征在于,包括:

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的影像感測裝置,其特征在于,所述超透鏡包括形成在所述半導(dǎo)體主體的所述第二側(cè)中的納米結(jié)構(gòu)。

    3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的影像感測裝置,其特征在于,所述納米結(jié)構(gòu)是同心環(huán)。

    4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的影像感測裝置,其特征在于,所述納米結(jié)構(gòu)在所述第二側(cè)上突出到光學(xué)材料膜中。

    5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的影像感測裝置,其特征在于,所述納米結(jié)構(gòu)具有相對于所述感光結(jié)構(gòu)的中心的距離變化的間隔。

    6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的影像感測裝置,其特征在于,所述超透鏡包括從所述第二側(cè)突出到所述半導(dǎo)體主體中的光學(xué)材料柱的配置。

    7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的影像感測裝置,其特征在于,所述超透鏡包括納米結(jié)構(gòu),其高度隨著從所述感光結(jié)構(gòu)的中心的距離而系統(tǒng)關(guān)系變化。

    8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的影像感測裝置,其特征在于,所述超透鏡包括納米結(jié)構(gòu),所述納米結(jié)構(gòu)通過深度、間隔或尺寸中的兩個(gè)或更多個(gè)的變化來實(shí)現(xiàn)聚焦效果。

    9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的影像感測裝置,其特征在于,還包括在所述超透鏡上的微透鏡。

    10.一種影像感測裝置,其特征在于,包括:

    ...

    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種影像感測裝置,其特征在于,包括:

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的影像感測裝置,其特征在于,所述超透鏡包括形成在所述半導(dǎo)體主體的所述第二側(cè)中的納米結(jié)構(gòu)。

    3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的影像感測裝置,其特征在于,所述納米結(jié)構(gòu)是同心環(huán)。

    4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的影像感測裝置,其特征在于,所述納米結(jié)構(gòu)在所述第二側(cè)上突出到光學(xué)材料膜中。

    5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的影像感測裝置,其特征在于,所述納米結(jié)構(gòu)具有相對于所述感光結(jié)構(gòu)的中心的距離變化的間隔。

    6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的影像感測裝置...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:王苡璇黃正宇莊君豪周耕宇吳紋浩江偉杰張志光
    申請(專利權(quán))人:臺灣積體電路制造股份有限公司
    類型:新型
    國別省市:

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