【技術實現步驟摘要】
本申請涉及單晶硅生產設備，特別是涉及單晶爐。
技術介紹
1、單晶爐是多晶硅轉化為單晶硅工藝過程中的必備設備，而單晶硅又是光伏發電行業中的基礎原料。現有的單晶爐基本構成主要包括副室、閥倉和主室。在直拉法單晶生產中，當晶棒拉晶結束后在取段冷卻提升過程中或晶棒保壓過程中，晶棒往往因氬氣吹拂造成晶棒晃動或因籽晶問題造成掉棒。掉棒后會因晶體掉落時的沖擊力對翻板閥造成不同程度的損壞，輕則翻板閥變形凹坑，嚴重的如翻板閥密封處漏氣導致爐內氧化、成晶困難、吊多晶等異常，嚴重的會造成翻板閥夾層漏水，無法繼續拉晶，造成燜爐事故。
2、目前針對單晶副室內的掉棒發生后通常做法為，使用籽晶繩將晶棒纏繞捆綁，提升至副室后將晶棒取出，針對翻板閥變形的則一般等停爐后進行備件更換和維修，但是翻板閥密封性已經受到影響，嚴重影響后續的單晶拉制，甚至無法繼續拉晶，只能燜爐處理，損失嚴重。
技術實現思路
1、基于此，有必要針對掉棒后翻板閥變形需停爐維修，影響生產效率的問題，提供一種單晶爐。
2、本申請的實施例提出了一種單晶爐，包括：
3、副室；
4、第一閥倉，所述第一閥倉內設置有第一封閉閥，所述第一封閉閥用于啟閉所述第一閥倉；
5、第二閥倉，所述第二閥倉內設置有第二封閉閥，所述第二封閉閥用于啟閉所述第二閥倉；
6、主室，所述副室、所述第一閥倉、所述第二閥倉以及所述主室依次連接。
7、在其中一個實施例中，所述單晶爐還包括控制器，所述控制器與所述
8、在其中一個實施例中，所述第一閥倉內設置有第一夾持裝置，所述第一夾持裝置包括第一夾持件、第二夾持件以及第一夾持驅動件，所述第一夾持驅動件與所述第一夾持件、所述第二夾持件驅動連接，且驅動所述第一夾持件、所述第二夾持件向所述第一閥倉中心靠近以夾持晶棒。
9、在其中一個實施例中，所述控制器與所述第一夾持驅動件通信連接。
10、在其中一個實施例中，所述單晶爐還包括晶重監測器，所述晶重監測器設置于所述副室，所述晶重監測器用于連接晶棒，且監測所述晶棒重量；
11、所述晶重監測器與所述控制器通信連接。
12、在其中一個實施例中，所述第二閥倉內設置有第二夾持裝置，所述第二夾持裝置包括第三夾持件、第四夾持件以及第二夾持驅動件，所述第二夾持驅動件與所述第三夾持件、所述第四夾持件驅動連接，且驅動所述第三夾持件、所述第四夾持件向所述第二閥倉中心靠近以夾持晶棒。
13、在其中一個實施例中，所述控制器與所述第二夾持驅動件通信連接。
14、在其中一個實施例中，所述副室與所述第一閥倉之間設置有第一互鎖裝置；
15、所述第一閥倉和所述第二閥倉之間設置有第二互鎖裝置。
16、在其中一個實施例中，所述第一封閉閥配置為第一翻板閥；
17、所述第二封閉閥配置為第二翻板閥。
18、在其中一個實施例中，所述第一翻板閥包括第一板以及第一驅動件，所述第一驅動件與所述第一板驅動連接，驅動所述第一板翻轉以將所述第一閥倉啟閉；
19、所述第二翻板閥包括第二板以及第二驅動件，所述第二驅動件與所述第二板驅動連接，驅動所述第二板翻轉以將所述第二閥倉啟閉。
20、根據本申請實施例的單晶爐，通過設計第一閥倉和第二閥倉，正常取棒隔離時，只需關閉第一封閉閥，第二封閉閥保持常開狀態。在關閉第一封閉閥后，如果在保壓或取棒過程中晶棒掉落至第一封閉閥時，這時第二封閉閥才需要關閉。具體地，當晶棒掉落至第一封閉閥時，導致第一封閉閥產生凹坑、變形、漏氣、漏水等異常時，這時可緊急啟用第二封閉閥；當晶棒掉落至第一封閉閥時，無需以使用籽晶繩纏繞捆綁的方式取棒，而是在關閉第二封閉閥后，副室充常壓后通過第一封閉閥對晶棒的承重作用直接取下晶棒，可節約一根籽晶繩的成本，同時也消除了人員操作時的安全隱患；當晶棒掉落至第一封閉閥時后，第一封閉閥產生凹坑變形、漏氣、漏水時，可緊急啟用第二封閉閥。關閉第二封閉閥，將副室和第二閥倉充常壓后，保護主室爐內硅料和熱場不被氧化，使得主室爐內免受影響，還可繼續拉晶，可消除硅料燜爐產生的硅料損失和熱場氧化造成的熱場損失。
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1.一種單晶爐，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的單晶爐，其特征在于，所述單晶爐還包括控制器，所述控制器與所述第一封閉閥、第二封閉閥通信連接。
3.根據權利要求2所述的單晶爐，其特征在于，所述第一閥倉內設置有第一夾持裝置，所述第一夾持裝置包括第一夾持件、第二夾持件以及第一夾持驅動件，所述第一夾持驅動件與所述第一夾持件、所述第二夾持件驅動連接，且驅動所述第一夾持件、所述第二夾持件向所述第一閥倉中心靠近以夾持晶棒。
4.根據權利要求3所述的單晶爐，其特征在于，所述控制器與所述第一夾持驅動件通信連接。
5.根據權利要求4所述的單晶爐，其特征在于，所述單晶爐還包括晶重監測器，所述晶重監測器設置于所述副室，所述晶重監測器用于連接晶棒，且監測所述晶棒重量；
6.根據權利要求5所述的單晶爐，其特征在于，所述第二閥倉內設置有第二夾持裝置，所述第二夾持裝置包括第三夾持件、第四夾持件以及第二夾持驅動件，所述第二夾持驅動件與所述第三夾持件、所述第四夾持件驅動連接，且驅動所述第三夾持件、所述第四夾持件向所述第二閥倉中心靠近以夾持晶棒。
7.根據權利要求6所述的單晶爐，其特征在于，所述控制器與所述第二夾持驅動件通信連接。
8.根據權利要求1所述的單晶爐，其特征在于，所述副室與所述第一閥倉之間設置有第一互鎖裝置；
9.根據權利要求1所述的單晶爐，其特征在于，所述第一封閉閥配置為第一翻板閥；
10.根據權利要求9所述的單晶爐，其特征在于，所述第一翻板閥包括第一板以及第一驅動件，所述第一驅動件與所述第一板驅動連接，驅動所述第一板翻轉以將所述第一閥倉啟閉；
...【技術特征摘要】
1.一種單晶爐，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的單晶爐，其特征在于，所述單晶爐還包括控制器，所述控制器與所述第一封閉閥、第二封閉閥通信連接。
3.根據權利要求2所述的單晶爐，其特征在于，所述第一閥倉內設置有第一夾持裝置，所述第一夾持裝置包括第一夾持件、第二夾持件以及第一夾持驅動件，所述第一夾持驅動件與所述第一夾持件、所述第二夾持件驅動連接，且驅動所述第一夾持件、所述第二夾持件向所述第一閥倉中心靠近以夾持晶棒。
4.根據權利要求3所述的單晶爐，其特征在于，所述控制器與所述第一夾持驅動件通信連接。
5.根據權利要求4所述的單晶爐，其特征在于，所述單晶爐還包括晶重監測器，所述晶重監測器設置于所述副室，所述晶重監測器用于連接晶棒，且監測所述晶棒重量；
6.根據...
【專利技術屬性】
技術研發人員：李海峰，馬玉花，李增博，
申請(專利權)人：天合光能股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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