【技術實現步驟摘要】
本申請涉及噴射管加工領域，尤其是涉及一種取料刀具及取料設備。
技術介紹
1、高壓氣體噴射裝置在半導體制造中發揮著重要作用，高壓氣體噴射裝置在注入高壓氣體后，對高壓氣體進行加速，以形成高速氣流。然后利用高速氣流的動能及壓縮效應，對晶圓表面進行刻蝕或清洗或沉積等工藝。
2、噴射管是高壓氣體噴射裝置中的重要部件，噴射管由多晶硅制成，噴射管的原料為固定尺寸的硅棒，因此噴射管需要在硅棒上取料。噴射管內形成有噴射孔，在硅棒上取料后需要進一步加工噴射管內的噴射孔，因此現有噴射管的加工存在加工效率低的問題。
技術實現思路
1、本申請主要解決現有技術所存在的現有噴射管在取料后需要加工噴射管內的噴射孔，從而導致加工效率低下的技術問題。提供一種在取料的同時可以進一步加工噴射孔的取料刀具及取料設備。
2、為了解決上述技術問題本申請第一方面提供了一種取料刀具，其特征在于，所述取料刀具包括，
3、連接部，所述連接部內貫穿設置有第一轉動軸線，所述第一轉動軸線沿第一方向設置；
4、第一切割部，所述第一切割部包括第一切割本體及第一切割刃，所述第一切割本體沿所述第一方向設置，所述第一切割本體沿所述第一方向的第一端與所述連接部相連，所述第一切割部沿所述第一方向的第二端設置有所述第一切割刃；其中，
5、所述第一切割本體由周向圍繞所述第一轉動軸線設置的第一圍板形成，并形成位于所述第一切割本體內的第一切割腔體，所述第一切割腔體沿所述第一方向設置；
6、第
7、所述第二切割本體由周向圍繞所述第一轉動軸線設置的第二圍板形成，并形成位于所述第二切割本體內的第二切割腔體，所述第二切割腔體沿所述第一方向設置。
8、在一可實施方式中，所述第一切割部與所述第二切割部均為圓形筒狀結構，且所述第一切割本體與所述第二切割本體在所述第一方向的任一截面面積均保持一致，所述第一切割部內具有第一中心線，所述第二切割部內具有第二中心線，所述第一中心線、所述第二中心線及所述第一轉動軸線間重合設置。
9、在一可實施方式中，所述連接部包括沿所述第一方向間隔設置的第一表面及第二表面，所述連接部通過第二表面與所述第一切割本體及所述第二切割本體相連，所述連接部內沿所述第一方向設置有注液腔體，所述注液腔體在所述第一表面上具有開口，所述注液腔體與所述第一切割部及所述第二切割部間具有隔板，所述第二切割腔體向所述注液腔體延伸，且穿過所述隔板后與所述注液腔體連通。
10、在一可實施方式中，所述隔板內沿所述第一方向貫穿設置有第一連接孔，所述第一連接孔分別與所述第一切割腔體及所述注液腔體連通。
11、在一可實施方式中，所述取料刀具包括，
12、第一連接結構，所述第一連接結構位于所述連接部上，所述連接部通過第一連接結構與刀架固定連接。
13、在一可實施方式中，所述第一切割本體上形成有若干根導液槽，若干根所述導液槽繞所述第一轉動軸線周向間隔設置，所述導液槽由所述連接部延伸至所述第一切割刃。
14、在一可實施方式中，所述第一切割刃與所述第二切割刃均由若干塊切割片繞所述第一轉動軸線周向間隔設置形成，所述第一切割刃中的兩所述切割片間具備切割間隙，所述切割間隙與所述導液槽連通。
15、在一可實施方式中，所述取料刀具還包括，
16、退料部，所述退料部包括退料板及退料彈性件，所述退料板沿第二方向設置在所述第一切割腔體內，且所述退料板套設在所述第二切割本體外，所述退料板與所述第一切割本體及所述第二切割本體間均具備間隙，所述退料彈性件套設在所述第二切割本體外，且退料彈性件位于第一切割腔體內，所述退料彈性件沿所述第一方向的第一端與所述連接部相連，所述退料彈性件沿所述第一方向的第二端與所述退料板相連，所述退料彈性件始終給與所述退料板向所述第一切割刃運動的驅動力。
17、在一可實施方式中，所述退料板上沿所述第一方向貫穿設置有第二連接孔，所述第二連接孔與所述第一連接孔對應設置。
18、本申請的第二方面提供了一種取料設備，其特征在于，所述取料設備包括實施例1中所述的取料刀具，所述取料設備還包括，
19、刀架，所述刀架上設置有第二連接結構，所述取料刀具上的第一連接結構與所述刀架上的第二連接結構相連；
20、注液組件，所述注液組件用于注射冷卻液，所述注液組件與所述連接部的注液腔體相連。
21、相對于現有技術，本申請的取料刀具同時具備第一切割部及第二切割部，第一切割部與第二切割部同時與毛坯作用，以在完成取料的同時形成噴射管內的噴射孔，從而提升噴射管的加工效率。
22、因此，本申請具有結構合理，使用方便的特點。
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1.一種取料刀具，其特征在于，所述取料刀具包括，
2.根據權利要求1所述的取料刀具，其特征在于，所述第一切割部與所述第二切割部均為圓形筒狀結構，且所述第一切割本體與所述第二切割本體在所述第一方向的任一截面面積均保持一致，所述第一切割部內具有第一中心線，所述第二切割部內具有第二中心線，所述第一中心線、所述第二中心線及所述第一轉動軸線間重合設置。
3.根據權利要求1所述的取料刀具，其特征在于，所述連接部包括沿所述第一方向間隔設置的第一表面及第二表面，所述連接部通過第二表面與所述第一切割本體及所述第二切割本體相連，所述連接部內沿所述第一方向設置有注液腔體，所述注液腔體在所述第一表面上具有開口，所述注液腔體與所述第一切割部及所述第二切割部間具有隔板，所述第二切割腔體向所述注液腔體延伸，且穿過所述隔板后與所述注液腔體連通。
4.根據權利要求3所述的取料刀具，其特征在于，所述隔板內沿所述第一方向貫穿設置有第一連接孔，所述第一連接孔分別與所述第一切割腔體及所述注液腔體連通。
5.根據權利要求3所述的取料刀具，其特征在于，所述取料刀具包括，
...【技術特征摘要】
1.一種取料刀具，其特征在于，所述取料刀具包括，
2.根據權利要求1所述的取料刀具，其特征在于，所述第一切割部與所述第二切割部均為圓形筒狀結構，且所述第一切割本體與所述第二切割本體在所述第一方向的任一截面面積均保持一致，所述第一切割部內具有第一中心線，所述第二切割部內具有第二中心線，所述第一中心線、所述第二中心線及所述第一轉動軸線間重合設置。
3.根據權利要求1所述的取料刀具，其特征在于，所述連接部包括沿所述第一方向間隔設置的第一表面及第二表面，所述連接部通過第二表面與所述第一切割本體及所述第二切割本體相連，所述連接部內沿所述第一方向設置有注液腔體，所述注液腔體在所述第一表面上具有開口，所述注液腔體與所述第一切割部及所述第二切割部間具有隔板，所述第二切割腔體向所述注液腔體延伸，且穿過所述隔板后與所述注液腔體連通。
4.根據權利要求3所述的取料刀具，其特征在于，所述隔板內沿所述第一方向貫穿設置有第一連接孔，所述第一連接孔分別與所...
【專利技術屬性】
技術研發人員：俞凱鑫，葛自榮，王雙玉，密思，
申請(專利權)人：杭州盾源聚芯半導體科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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