負(fù)壓偵測輸氣裝置、負(fù)壓偵測裝置及廢氣處理設(shè)備制造方法及圖紙

本申請(qǐng)涉及一種負(fù)壓偵測輸氣裝置、負(fù)壓偵測裝置及廢氣處理設(shè)備。負(fù)壓偵測輸氣裝置包括：輸氣管，設(shè)置有進(jìn)氣口、檢測口和熱氣進(jìn)口，檢測口和熱氣進(jìn)口位于輸氣管的側(cè)壁，熱氣進(jìn)口相對(duì)檢測口靠近進(jìn)氣口；偵測管，連通檢測口；氣體加熱器，包括熱氣管，熱氣管連通熱氣進(jìn)口，氣體加熱器用于向輸氣管內(nèi)輸送熱氣。本申請(qǐng)通過氣體加熱器向輸氣管中通入熱氣，在輸氣管中形成粉塵活躍區(qū)，以降低粉塵在檢測口堆積的可能性。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本申請(qǐng)涉及廢氣處理領(lǐng)域，尤其涉及一種負(fù)壓偵測輸氣裝置、負(fù)壓偵測裝置及廢氣處理設(shè)備。

技術(shù)介紹

1、半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中需要對(duì)廢氣進(jìn)行處理，在廢氣處理設(shè)備的進(jìn)氣口設(shè)置壓力檢測器，可以監(jiān)測廢氣輸送管路的堵塞程度。由于刻蝕工藝產(chǎn)生的廢氣含有大量的粉塵，會(huì)導(dǎo)致壓力檢測器的檢測口堵塞，而廢氣輸送管路并未堵塞，造成非預(yù)期的報(bào)警宕機(jī)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、基于上述問題，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N負(fù)壓偵測輸氣裝置、負(fù)壓偵測裝置及廢氣處理設(shè)備，降低檢測口的堵塞可能性，提高設(shè)備使用效率。

2、第一方面，本申請(qǐng)的一個(gè)實(shí)施例提供一種負(fù)壓偵測輸氣裝置，包括：

3、輸氣管，具有側(cè)壁，并設(shè)置有進(jìn)氣口、檢測口和熱氣進(jìn)口，所述檢測口和熱氣進(jìn)口位于所述輸氣管的側(cè)壁，所述熱氣進(jìn)口相對(duì)所述檢測口靠近所述進(jìn)氣口；

4、偵測管，連通所述檢測口；

5、氣體加熱器，包括熱氣管，所述熱氣管連通所述熱氣進(jìn)口，所述氣體加熱器用于向所述輸氣管內(nèi)輸送熱氣。

6、根據(jù)本申請(qǐng)的一些實(shí)施例，負(fù)壓偵測輸氣裝置還包括：

7、第一接頭，設(shè)置于所述檢測口，所述偵測管連接所述第一接頭；

8、第二接頭，設(shè)置于所述熱氣進(jìn)口，所述熱氣管連接所述第二接頭。

9、根據(jù)本申請(qǐng)的一些實(shí)施例，所述偵測管與所述第一接頭螺紋連接，所述熱氣管與所述第二接頭螺紋連接。

10、根據(jù)本申請(qǐng)的一些實(shí)施例，所述檢測口的軸線與所述熱氣進(jìn)口軸線之間的距離為50～200mm。

11、根據(jù)本申請(qǐng)的一些實(shí)施例，所述氣體加熱器輸送的氣體溫度為150℃～200℃。

12、根據(jù)本申請(qǐng)的一些實(shí)施例，負(fù)壓偵測輸氣裝置還包括過濾器，所述過濾器連接所述偵測管。

13、根據(jù)本申請(qǐng)的一些實(shí)施例，負(fù)壓偵測輸氣裝置還包括過濾器，還包括溫度檢測器，所述溫度檢測器用于檢測所述熱氣進(jìn)口處的氣體溫度。

14、根據(jù)本申請(qǐng)的一些實(shí)施例，所述偵測管和所述熱氣管的側(cè)壁均設(shè)置有六角凸緣。

15、第二方面，本申請(qǐng)的一個(gè)實(shí)施例提供一種負(fù)壓偵測裝置，包括：

16、如上所述的負(fù)壓偵測輸氣裝置；

17、壓力檢測器，連接所述偵測管。

18、第三方面，本申請(qǐng)的一個(gè)實(shí)施例提供一種廢氣處理設(shè)備，包括如上所述負(fù)壓偵測裝置。

19、本申請(qǐng)通過氣體加熱器向輸氣管中通入熱氣，在輸氣管中形成粉塵活躍區(qū)，粉塵活躍區(qū)覆蓋檢測口，以降低粉塵在檢測口堆積的可能性，提高設(shè)備使用效率。

本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

1.一種負(fù)壓偵測輸氣裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)壓偵測輸氣裝置，其特征在于，還包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的負(fù)壓偵測輸氣裝置，其特征在于，所述偵測管與所述第一接頭螺紋連接，所述熱氣管與所述第二接頭螺紋連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)壓偵測輸氣裝置，其特征在于，所述檢測口的軸線與所述熱氣進(jìn)口軸線之間的距離為50～200mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)壓偵測輸氣裝置，其特征在于，所述氣體加熱器輸送的氣體溫度為150℃～200℃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)壓偵測輸氣裝置，其特征在于，還包括過濾器，所述過濾器連接所述偵測管。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)壓偵測輸氣裝置，其特征在于，還包括溫度檢測器，所述溫度檢測器用于檢測所述熱氣進(jìn)口處的氣體溫度。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)壓偵測輸氣裝置，其特征在于，所述偵測管和所述熱氣管的側(cè)壁均設(shè)置有六角凸緣。

9.一種負(fù)壓偵測裝置，其特征在于，包括：

10.一種廢氣處理設(shè)備，其特征在于，包括權(quán)利要求9所述的負(fù)壓偵測裝置。

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【技術(shù)特征摘要】

1.一種負(fù)壓偵測輸氣裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)壓偵測輸氣裝置，其特征在于，還包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的負(fù)壓偵測輸氣裝置，其特征在于，所述偵測管與所述第一接頭螺紋連接，所述熱氣管與所述第二接頭螺紋連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)壓偵測輸氣裝置，其特征在于，所述檢測口的軸線與所述熱氣進(jìn)口軸線之間的距離為50～200mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)壓偵測輸氣裝置，其特征在于，所述氣體加熱器輸送的氣體溫度為150℃～20...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：喬偉超，張昱翀，許信，寧騰飛，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：北京京儀自動(dòng)化裝備技術(shù)股份有限公司，
類型：新型
國別省市：