【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本申請(qǐng)涉及單晶硅制備，特別是涉及一種單晶爐。
技術(shù)介紹
1、單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備。現(xiàn)有的單晶爐主要包括主爐室和副室，副室通常連接于主爐室的爐蓋上，在生產(chǎn)過程中，晶體提拉機(jī)構(gòu)穿過副室進(jìn)入主爐室中，對(duì)籽晶進(jìn)行提拉生成單晶硅棒，硅棒完成后，提拉至副室中，副室再以旋轉(zhuǎn)的方式從主爐室上方旋開，使副室的底部開放，然后晶體提拉機(jī)構(gòu)下降，將單晶硅棒逐漸下降，并放在取棒車上，實(shí)現(xiàn)取棒操作。
2、目前，在單晶爐生產(chǎn)過程中，為了滿足生產(chǎn)需要，副室需頻繁旋開到單晶爐側(cè)方的取晶口位置進(jìn)行加料、取晶棒、清理副室等動(dòng)作，由于操作臺(tái)一層和操作臺(tái)二層之間的層高較高一般為6米，而在操作臺(tái)一層的工作人員并不能及時(shí)了解操作臺(tái)二層單晶爐的工作狀態(tài)，如此時(shí)晶棒掉落、料塊掉落、或清理副室時(shí)將清理副室工裝放下操作臺(tái)一層，可能會(huì)對(duì)操作臺(tái)一層的工作人員造成傷害，有極大的安全隱患。
3、因此，亟需提供一種單晶爐來(lái)解決以上提出的技術(shù)問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、基于此，提供一種單晶爐，以不影響單晶爐運(yùn)行為前提，在單晶爐取晶棒、清理副室或者加料前，警示操作臺(tái)一層的人員遠(yuǎn)離，避免對(duì)人員造成傷害，杜絕此處的安全隱患，同時(shí)不影響單晶爐正常運(yùn)行，標(biāo)準(zhǔn)化作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)。
2、一方面，提供一種單晶爐，包括：主爐室；爐蓋，設(shè)置于所述主爐室的上端以啟閉所述主爐室；副室，設(shè)置于所述爐蓋的上方；報(bào)警模塊，所述報(bào)警模塊設(shè)置在操作臺(tái)一層的取晶口位置處，用于在所述副
3、進(jìn)一步地，還包括鎖定機(jī)構(gòu)，所述鎖定機(jī)構(gòu)用于鎖緊連接所述副室和所述爐蓋；在所述鎖定機(jī)構(gòu)斷開時(shí)，所述副室和所述爐蓋處于分離狀態(tài)；在所述鎖定機(jī)構(gòu)閉合時(shí)，所述副室和所述爐蓋處于連接狀態(tài)。
4、進(jìn)一步地，還包括切換線路，所述切換線路包括第一線路和位于所述第一線路上的第一開關(guān)、第二線路和位于所述第二線路上的第二開關(guān)，所述第一線路和所述第二線路的前端并聯(lián)連接后信號(hào)連接所述鎖定機(jī)構(gòu)的反饋模塊，所述報(bào)警模塊信號(hào)連接所述第一線路的后端；在所述鎖定機(jī)構(gòu)斷開時(shí)，所述反饋模塊觸發(fā)并生成第一信號(hào)，所述第一開關(guān)根據(jù)所述第一信號(hào)導(dǎo)通，所述報(bào)警模塊通電報(bào)警；在所述鎖定機(jī)構(gòu)閉合時(shí)，所述反饋模塊觸發(fā)并生成第二信號(hào)，所述第二開關(guān)根據(jù)所述第二信號(hào)導(dǎo)通，所述報(bào)警模塊斷電。
5、進(jìn)一步地，所述報(bào)警模塊包括報(bào)警燈和電源線；所述電源線的一端連接所述報(bào)警燈、另一端連接至所述第一線路的后端上。
6、進(jìn)一步地，所述報(bào)警燈和所述第一線路之間還設(shè)置有熔斷模塊。
7、進(jìn)一步地，所述報(bào)警燈包括警示燈主體和設(shè)置于所述警示燈主體內(nèi)的蜂鳴器。
8、進(jìn)一步地，所述警示燈主體內(nèi)可設(shè)置有多個(gè)用于顯示不同顏色的光源。
9、進(jìn)一步地，所述報(bào)警燈安裝在操作臺(tái)一層的取晶口正下方側(cè)面位置。
10、有益效果：
11、上述單晶爐，通過在操作臺(tái)一層的取晶口位置加裝報(bào)警模塊，在單晶爐取晶棒、清理副室或者加料前，通過報(bào)警模塊的警示作用，可以警示處于操作臺(tái)一層的人員遠(yuǎn)離，避免對(duì)人員造成傷害；并且在原有線路進(jìn)行改動(dòng)，最大程度保證線路穩(wěn)定性及美觀，即使單晶爐在正常運(yùn)行過程中此線路發(fā)生問題，也不會(huì)對(duì)單晶爐正常運(yùn)行造成任何影響，既保證單晶爐穩(wěn)定運(yùn)行，又對(duì)操作臺(tái)一層的附近人員起到安全警示作用，極大程度降低事故發(fā)生概率。
本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種單晶爐，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐，其特征在于，
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐，其特征在于，
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶爐，其特征在于，
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單晶爐，其特征在于，
6.根據(jù)權(quán)利要求4或者5所述的單晶爐，其特征在于，
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的單晶爐，其特征在于，
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單晶爐，其特征在于，
【技術(shù)特征摘要】
1.一種單晶爐，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐，其特征在于，
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐，其特征在于，
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶爐，其特征在于，
5...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：蘇傳軍，侯選樓，孫陽(yáng)，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：包頭晶澳太陽(yáng)能科技有限公司，
類型：新型
國(guó)別省市：
還沒有人留言評(píng)論。發(fā)表了對(duì)其他瀏覽者有用的留言會(huì)獲得科技券。